Dưới đây là quy trình cụ thể để mạ màng dẫn điện cho các mẫu gương quét bằng cách sử dụng máy phủ phún xạ RF Magnetron:

1. Chuẩn bị trước

Chọn mục tiêu phù hợp: theo tính chất của bộ phim mong muốn, chọn mục tiêu tương ứng, thường là vàng, bạch kim, hợp kim palladium vàng, bạc, chì, đồng, chrome, antimon, v.v. Các mục tiêu khác nhau có thể ảnh hưởng đến các đặc tính hiệu suất của màng dẫn điện cuối cùng được hình thành.

Chuẩn bị chất nền (mẫu): Đảm bảo bề mặt mẫu được tráng sạch sẽ và không bị ô nhiễm, và các hoạt động tiền xử lý như mài, đánh bóng hoặc rửa hóa chất có thể được thực hiện trên chúng nếu cần thiết để đảm bảo độ bám dính tốt và hiệu quả mạ.

2. Máy hút chân không RF Magnetron Sputtering Coater System

Khởi động các thiết bị liên quan đến thiết bị: bật nước tuần hoàn, bật nguồn điện tổng thể, sau đó khởi động "bơm cơ khí phòng mạ" và "bơm cơ khí phòng mẫu", sau đó mở hai van góc 35 đến vị trí tối đa. Đóng hai van góc 35 này khi máy đo chân không cặp nhiệt cho thấy áp suất dưới 10pa; Sau đó, mở "van giai đoạn trước buồng mạ" với "van giai đoạn trước buồng mẫu", khởi động bơm phân tử và nhấn phím "chạy" màu xanh lá cây. Cuối cùng mở van cổng phòng mạ và phòng mẫu đến trạng thái mở hoàn toàn (ngược chiều kim đồng hồ xuống đáy). Chờ tần số bơm phân tử đạt trạng thái ổn định, chẳng hạn như buồng mạ đạt 400Hz và buồng mẫu đạt 450Hz. Lúc này hãy xem chân không hiển thị tình hình thay đổi giá trị trong cửa sổ và tiếp tục các bước tiếp theo.

Giám sát chân không: Theo dõi sự gia tăng của chân không trong suốt quá trình cho đến khi đạt được mức chân không cao được xác định trước. Môi trường chân không cao giúp giảm sự can thiệp của tạp chất khí vào quá trình phún xạ, đảm bảo chất lượng và độ tinh khiết của bộ phim lắng đọng.

3. Điều chỉnh các thông số phún xạ

Thiết lập các thông số như công suất tần số vô tuyến, áp suất không khí làm việc, lưu lượng khí và thời gian lắng đọng: cài đặt cụ thể của các thông số này cần được xác định theo mục đích thí nghiệm và loại chất nền, cài đặt thông số hợp lý là yếu tố chính để đảm bảo tính đồng nhất và độ bám dính của màng. Ví dụ, kích thước năng lượng của mục tiêu bắn phá ion có thể được kiểm soát bằng cách điều chỉnh công suất tần số vô tuyến; Áp suất không khí làm việc và lưu lượng khí ảnh hưởng đến nồng độ và phân bố plasma; Thời gian lắng đọng xác định độ dày của bộ phim.

4. RF Magnetron Sputtering Coater bắt đầu quá trình phún xạ

Làm sạch bề mặt mục tiêu trước khi phún xạ: Trước khi phún xạ được thực hiện sau khi bật nguồn RF trong một khoảng thời gian (chẳng hạn như khoảng 10 phút), mục đích là làm sạch bề mặt mục tiêu của oxit hoặc các chất gây ô nhiễm khác có thể có, làm cho bộ phim thu được từ sự lắng đọng chính thức tiếp theo tinh khiết hơn.

Màng lắng đọng chính thức: Sau khi prephún xạ hoàn tất, bật bảng mẫu để điều khiển nguồn điện và nhấn nút "Start" để bảng mẫu bắt đầu quay. Đồng thời mở tấm chắn mục tiêu và công tắc tấm chắn mẫu, lúc này lớp phủ chính thức bắt đầu. Trong quá trình phún xạ, áp suất có thể được tinh chỉnh thứ cấp khi cần thiết để giữ nó trong phạm vi cài đặt để đảm bảo chất lượng ổn định của bộ phim.

5. Xử lý sau (tùy chọn)

Các hoạt động như xử lý nhiệt, xử lý laser hoặc sửa đổi hóa học theo yêu cầu: nếu có yêu cầu đặc biệt đối với bộ phim lắng đọng, chẳng hạn như cải thiện hiệu suất tinh thể, tăng cường một số đặc tính vật lý, v.v., quá trình xử lý sau tương ứng có thể được thực hiện sau khi phún xạ hoàn thành. Nhưng đây không phải là bước cần thiết, cần căn cứ vào nhu cầu ứng dụng cụ thể để quyết định có thực hiện hay không và thực hiện như thế nào.

6. RF Magnetron Sputtering Coater Kết thúc hoạt động

Đóng thiết bị: Sau khi thời gian phủ đạt đến giá trị cài đặt, trước tiên đóng vách ngăn (bao gồm vách ngăn bảng mẫu và vách ngăn mục tiêu), dừng xoay bảng mẫu và nhấn nút "Dừng" bảng mẫu. Sau đó tắt núm công suất của phần điều khiển dụng cụ đến mức tối thiểu, đối với nguồn điện tần số vô tuyến cần tắt bằng màu đỏ, sau đó tắt bằng màu vàng; Nguồn DC được tắt trực tiếp bằng cách nhấn màu đỏ. Sau đó tắt nguồn điều khiển lưu lượng khí Ar, điều chỉnh lưu lượng đến số hiển thị là 0, hoạt động "van điều khiển" đến trạng thái "tắt". Cuối cùng, lần lượt đóng các thiết bị và van liên quan khác để hoàn thành toàn bộ quá trình mạ.

7. Lấy mẫu ra

Lấy ra sau khi xác nhận cân bằng áp suất không khí: Trước khi tắt tất cả các thiết bị và khôi phục áp suất bình thường, hãy chắc chắn rằng buồng mạ phù hợp với áp suất không khí của buồng mẫu (cả hai đều là áp suất khí quyển hoặc chân không), sau đó bật đèn của cả hai buồng và cẩn thận lấy mẫu đã được mạ màng dẫn điện.