Máy đo độ dày siêu âm AG-190 phù hợp để đo độ dày của nhiều loại vật liệu dẫn siêu âm như kim loại, nhựa, gốm sứ, quy trình hoạt động ngắn gọn và dễ hiểu, sau đây là các bước sử dụng chi tiết và các biện pháp phòng ngừa liên quan, giúp người dùng nhanh chóng nắm bắt hoạt động của thiết bị.

I. Chuẩn bị trước khi sử dụng

(1) Kiểm tra thiết bị: Xác nhận cấu hình tiêu chuẩn hoàn chỉnh sau khi mở hộp, bao gồm máy chính, đầu dò 5MHz, khối hiệu chuẩn thép 4.0mm, chất ghép nối, 2 pin kiềm loại AA. Kiểm tra sự xuất hiện của máy chủ không bị hỏng, đầu dò không có vết bẩn, vết trầy xước, pin đầy đủ (thiết bị có chức năng chỉ báo lượng điện còn lại).

(2) Xác nhận môi trường: Môi trường hoạt động cần đáp ứng nhiệt độ - 20 ℃~+50 ℃, độ ẩm tương đối ≤ 90%, xung quanh không có rung động mạnh, từ trường, môi trường ăn mòn và bụi nghiêm trọng để tránh ảnh hưởng đến độ chính xác đo lường.

(3) Điều trị thử nghiệm: làm sạch bề mặt phôi được thử nghiệm, dầu bẩn, rỉ sét, lớp phủ và các tạp chất khác, đảm bảo bề mặt phẳng và khô, không có vết lõm hoặc vỡ rõ ràng, đảm bảo đầu dò và bề mặt phôi có thể phù hợp tốt.

(4) Cài đặt pin: Mở thùng pin chính, nạp đúng 2 pin kiềm 1.5V, chú ý đến hướng cực dương và tiêu cực, đóng nắp thùng pin.

II. Các bước hoạt động cơ bản

(I) Hiệu chuẩn dụng cụ

(1) Nhấn phím nguồn máy chính để bật nguồn, chọn giao diện hoạt động bằng tiếng Trung hoặc tiếng Anh thông qua chức năng chuyển đổi ngôn ngữ, thiết lập đơn vị đo lường (mm mét/inch tùy chọn).

(2) Chọn chức năng hiệu chuẩn, đặt khối hiệu chuẩn thép 4.0mm trên mặt bàn phẳng và áp dụng một lượng nhỏ chất ghép đồng đều trên bề mặt khối chuẩn của trường.

(3) Đầu dò cầm tay, làm cho đầu dò phù hợp theo chiều dọc khối hiệu chuẩn để áp dụng khu vực của tác nhân ghép nối, đảm bảo khớp nối tốt (dụng cụ sẽ có tín hiệu trạng thái khớp nối), hiệu chuẩn điểm 0 hoặc hiệu chuẩn hai điểm được hoàn thành sau khi giá trị ổn định. Sau khi hiệu chuẩn hoàn thành, dụng cụ sẽ tự động lưu các thông số hiệu chuẩn.

(ii) Cài đặt tham số

(1) Điều chỉnh tốc độ âm thanh: Theo loại vật liệu được thử nghiệm, đồng hồ đo tốc độ âm thanh vật liệu tích hợp (ví dụ: thép 5920m/s, nhôm 6340-6400m/s), thiết lập tốc độ âm thanh tương ứng trong phạm vi 1000~9999m/s; Nếu biết độ dày của vật liệu, độ chính xác có thể được tối ưu hóa bằng chức năng đo ngược tốc độ âm thanh.

(2) Thiết lập ngưỡng báo động: Theo nhu cầu đo lường, thiết lập giới hạn trên và giới hạn dưới của phép đo độ dày, khi kết quả đo vượt quá ngưỡng, thiết bị sẽ phát ra tín hiệu cảnh báo âm thanh và ánh sáng.

(3) Lựa chọn chế độ đo: Chọn chế độ quét khi đo liên tục nhanh (chu kỳ đo 20 lần/giây), chọn chế độ một điểm khi đo một điểm (chu kỳ đo 6 lần/giây).

(III) Đo độ dày

(1) Áp dụng một lượng thích hợp chất ghép nối trong khu vực đo phôi đang được thử nghiệm để đảm bảo loại trừ không khí giữa đầu dò và phôi.

(2) Đầu dò cầm tay được nhấn thẳng đứng trong khu vực đo, giữ đầu dò ổn định, tránh nghiêng hoặc di chuyển, đọc kết quả đo sau khi giá trị màn hình thiết bị ổn định.

(3) Nếu đo ống, bạn cần chọn đầu dò tương ứng theo thông số kỹ thuật ống: ống Φ20mm × 3.0mm phù hợp với đầu dò 5MHz, ống Φ15mm × 2.0mm phù hợp với đầu dò 7MHz.

(4) Nếu cần chụp giá trị độ dày, bật chức năng chụp giá trị độ dày của thiết bị, đo nhiều lần trong khu vực quan trọng của phôi, thiết bị sẽ tự động ghi lại giá trị số.

Xử lý dữ liệu và tắt máy

(1) Trong quá trình đo, thiết bị có thể tự động lưu trữ 3000 bộ dữ liệu đo độ dày (bao gồm giá trị đo, giá trị tốc độ âm thanh) và 3000 bộ dữ liệu tham số (bao gồm giá trị đo, cài đặt thiết bị, v.v.), thông qua giao diện giao tiếp USB có thể xuất dữ liệu sang máy tính.

(2) Sau khi đo xong, nhấn phím nguồn lâu để tắt nguồn; Nếu quên tắt máy, thiết bị có chức năng tự động ngủ đông và tắt máy tự động để tiết kiệm điện, có thể tránh lãng phí điện.

III. Lưu ý

(1) Đầu dò cần được lau sạch kịp thời sau khi sử dụng, để tránh dư lượng chất kết hợp ảnh hưởng đến các phép đo tiếp theo, để tránh va chạm, đùn khi lưu trữ.

(2) Nhiệt độ bề mặt của phôi được thử nghiệm cần trong phạm vi -10~60 ℃, ngoài phạm vi này sẽ dẫn đến lỗi đo tăng; Đo môi trường nhiệt độ cao cần chọn đầu dò nhiệt độ cao và chất kết hợp nhiệt độ cao.

(3) Tránh tiếp xúc lâu với các vật sắc nhọn trong khi đo và ngăn chặn thiệt hại cho wafer thăm dò; Khi thay thế đầu dò cần phải hiệu chỉnh lại.

(4) Nhiệt độ lưu trữ của thiết bị cần được kiểm soát ở -30 ℃~+70 ℃, nên tháo pin khi không sử dụng trong thời gian dài, tránh rò rỉ pin làm hỏng thiết bị.

(5) Nếu kết quả đo xuất hiện bất thường, bạn có thể kiểm tra trạng thái khớp nối, hiệu chuẩn đầu dò và cài đặt tốc độ âm thanh để thực hiện lại hoạt động hiệu chuẩn.