-
Thông tin E-mail
inquire-china_lsca@agilent.com
- Điện thoại
-
Địa chỉ
Số 3 Wangjing North Road, Quận Triều Dương, Bắc Kinh
Về chúng tôi
Agilent Technologies (China) Co., Ltd
Máy quang phổ Agilent "động cơ quang học" cho phép kiểm tra hiệu suất của các thành phần quang học trong máy in quang
Ngày:2025-10-29Đọc:0
Khi các nút quy trình tiên tiến tiếp tục phát triển, máy khắc laser Excimer ArF 193nm ngày càng trở nên quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn. Bên trong nó chứa một số lượng lớn các thành phần quang học có độ chính xác cao, chẳng hạn như ống kính chiếu, mặt nạ, bộ phân cực, bộ giảm độ lệch, gương, v.v., hiệu suất quang học của các thành phần này trực tiếp quyết định độ phân giải, tính đồng nhất và tỷ lệ tốt của mô hình chip.
Làm thế nào để đánh giá chính xác độ truyền, độ phản xạ, phản ứng phân cực và độ phụ thuộc góc của các thành phần này trong quá trình nghiên cứu và sản xuất hàng loạt?Máy quang phổ hồng ngoại gần có thể nhìn thấy tia cực tím Agilent Cary4000/5000/6000i/7000 series là giải pháp lý tưởng cho thách thức này.
Dưới đây là các thành phần quang học phổ biến trong máy in thạch bản và nhu cầu thử nghiệm của chúng:
Kiểm tra tỷ lệ truyền qua ống kính, cửa sổ, mặt nạ, v.v.
Kiểm tra độ phản xạ 45 ° của gương
Kiểm tra tỷ lệ tuyệt chủng của bộ phân cực so với bộ lùi
Các mục và yêu cầu kiểm tra này đặt ra yêu cầu cao về khả năng kiểm tra của máy quang phổ, độ khó kiểm tra chủ yếu được phản ánh trong:
193 nm thuộc vùng cực tím sâu (DUV), những thay đổi môi trường nhỏ và ô nhiễm mẫu có thể ảnh hưởng đến sự hấp thụ ánh sáng trong dải này, do đó quá trình thử nghiệm đặt ra yêu cầu cao về độ ổn định của thiết bị.
Các lỗi nhỏ của các chỉ số như tốc độ truyền, độ phản xạ, tỷ lệ tuyệt chủng của các yếu tố in thạch bản có thể dẫn đến biến dạng mẫu hoặc thất bại quá trình, do đó đặt ra yêu cầu cao về độ chính xác và độ lặp lại của thiết bị phát hiện.
Thử nghiệm góc cao 193 nm yêu cầu giới thiệu bộ phân cực, nhưng vật liệu phân cực trong dải này đắt tiền, khó xử lý và dễ bị ô nhiễm.
Vùng cực tím Agilent Cary4000/5000/6000i/7000 sử dụng nguồn sáng đèn deuterium, có thể bao phủ dải bước sóng thấp tới 175 nm, được trang bị đầu dò ống nhân quang (PMT) đảm bảo đáp ứng độ nhạy cực cao trong dải tần thấp; Đồng thời, thiết bị sử dụng thiết kế chùm tia kép, có thể điều chỉnh dao động nguồn sáng và nhiễu môi trường trong thời gian thực, nâng cao hiệu quả độ lặp lại và độ chính xác của thử nghiệm; Ngoài ra, người dùng có thể tùy chỉnh các phụ kiện phân cực UV sâu với ứng dụng phụ kiện UMA để đạt được phép đo phản xạ và đo tỷ lệ tuyệt chủng dưới độ phân cực s/p góc lớn.
Trái: Agilent Cary4000/5000/6000i/7000
Ảnh: Agilent Cary7000
Khả năng thử nghiệm của máy quang phổ hồng ngoại nhìn thấy được tia cực tím dòng Agilent Cary trong dải tần thấp:
Máy chủ kiểm tra tấm thạch anh: 190-270 nm, tốc độ truyền 0 °, 10 phép đo lặp lại.
10 thử nghiệm ở 193 nm, cực kỳ khác biệt tối đa - tối thiểu là 0,02% T.
Máy chủ kiểm tra tấm thạch anh 0 ° Tốc độ truyền 10 lần lặp lại kết quả
Hoàn toàn tự động đa góc truyền và tuyệt đối phản xạ (UMA) phụ kiện với tùy chỉnh cực cực tím phân cực thử nghiệm nhôm mạ: 190-380 nm, 45 ° tuyệt đối phản xạ.
Rp và Rs có tỷ lệ tín hiệu tiếng ồn tốt ở 193 nm ở góc lớn.
Phụ kiện UMA Kiểm tra gương nhôm 45 ° Kết quả phản xạ tuyệt đối
Ngày nay, khi các quy trình tiên tiến tiếp tục phát triển, việc kiểm tra hiệu suất của các thành phần quang học đã chuyển từ "tùy chọn" sang "liên kết quan trọng".Máy quang phổ dòng Agilent Cary4000/5000/6000i/7000, với độ chính xác cao, hiệu quả cao và các đặc tính chức năng đầy đủ, hỗ trợ phát triển Photoclate, lựa chọn thành phần quang học, đánh giá lão hóa vật liệu, xác minh tính nhất quán của lớp phủ và các ứng dụng liên kết khác, đóng một vai trò quan trọng trong việc đo lường độ chính xác cao trong quá trình của nó, để giúp các kỹ sư nhanh chóng xác định vị trí các vấn đề, tối ưu hóa quy trình, nâng cao tỷ lệ và hỗ trợ quá trình in thạch bản để đạt được mức độ cao hơn.Khi công nghệ sản xuất chất bán dẫn tiếp tục phát triển, nhu cầu phân tích đo lường các thành phần quang học sẽ ngày càng tinh tế và dòng xe Agilent Cary sẽ tiếp tục cung cấp hỗ trợ kỹ thuật vững chắc cho quá trình này.