Domentic Potential Technology Capacitive Metal Film Máy đo chân không

Domentic Potential Technology Capacitive Metal Film Máy đo chân không(Loại nhiệt độ cao)

Nhiệt độ cao loại tụ kim loại màng chân không mét thông qua một bên hai điện cực khác biệt điện dung thiết kế. Các vật liệu tiếp xúc với khí quá trình là tất cảInconel / IncoloyHợp kim, mạch phía trước siêu nhạy cảm và * thuật toán, đảm bảo độ nhạy cao và độ chính xác đo lường dưới áp suất làm việc, phản ứng nhanh, hiệu suất ổn định, chống ăn mòn mạnh, cung cấp150℃Đến200℃Hai phiên bản nhiệt độ cao cải thiện đáng kể ảnh hưởng của các chất lắng đọng trên màng điện dung, cung cấp1 ThácĐến1000 tấnPhạm vi quy mô đầy đủ với hiệu suất tuyệt vời cho chất bán dẫn đòi hỏi khắt khe、PlasmavàThanh lọc vật liệu có nguy cơ cao, vvLĩnh vực, phảiLý tưởng cho việc đo lường và kiểm soát tổng áp suất chính xác.

ưu điểm

1.Nhiệt độ cao loại kim loại phim vi sai điện dung cảm biến áp suất tuyệt đối

LĐộ nhạy cao

LĐộ chính xác cao và lặp lại

LĐộ ổn định lâu dài cao

2.Tất cả các cảm biến đều mạnh mẽ và chống ăn mònInconel合金

LKhông phụ thuộc vào khí, kết quả đo không liên quan đến thành phần khí

LĐược phép sử dụng với khí ăn mòn hoặc bẩn

LVật liệu đo chân không không gây ô nhiễm quá trình

3.Tín hiệu đầu ra phong phú

LDễ dàng tích hợp, giao diện phong phú, đáp ứng các nhu cầu tích hợp hệ thống khác nhau

Lđộc lậpLoại CChẩn đoán, gỡ lỗi, cấu hình giao diện

4.Chức năng đầu ra lỗi/Chức năng đầu ra kích hoạt áp suất

LĐầu ra qua rơle: lỗi nhiệt độ không đổi và lỗi thiết bị/Tín hiệu kích hoạt áp suất

Domentic Potential Technology Capacitive Metal Film Máy đo chân không(Loại nhiệt độ cao)

Thông số kỹ thuật

Chỉ số	Thông số kỹ thuật
Phạm vi quy mô đầy đủ	1Torr、10Torr、100Torr、1000Torr，定制
Độ chính xác	± 0,5% số đọc
Độ phân giải	0,001% FS
Phạm vi đọc đề xuất	0,005V đến 10V@FS
Đề nghị kiểm soát phạm vi áp suất	0,05V đến 10V@FS
Tùy chọn nhiệt độ bên trong thiết bị	150℃，200℃
Thời gian khởi động	4 giờ
Nhiệt độ môi trường	15 đến50℃
Chức năng kích hoạt	Tùy chọn, hai cách công cụ đơn và công tắc kép, phân phối có thể được thiết lập0,1%~100% FS áp suất tùy ý, công suất rơle 0.6A@30VDC
Chức năng đầu ra lỗi	Tùy chọn, lỗi nhiệt độ không đổi đầu ra và lỗi thiết bị thông qua rơle
đầu ra	Đầu ra tương tự 0-10VDC,>10K ohms; Đầu ra RS422 (tùy chọn RS485)
Đầu nối điện	D-Sub， 15 chân, ổ cắm kim; M8 cắm biển, 5 chân, ổ cắm lỗ
Nguồn điện đầu vào	± 15VDC (± 5%), 24VDC (± 5%) hoặc 20~26VDC; Đỉnh50W@150℃，70W@200℃
Giới hạn quá áp	45Psia
Vật liệu tiếp xúc với khí quá trình	Ống lấy mẫu làVật liệu 316L, phần còn lại là hợp kim Inconel và Incoloy
Thời gian đáp ứng cảm biến	50 ms
Định hướng hiệu chuẩn	Hiệu chuẩn dọc mặc định, hiệu chuẩn ngang là tùy chọn
Khối lượng bên trong	5.1ml (không bao gồm giao diện mẫu)

Hàng Châu Domjing Công nghệ Công ty TNHHTập trung vào việc cung cấp các dịch vụ và giải pháp kỹ thuật liên quan đến lưu lượng, áp suất, phát hiện chân không và kiểm soát cho khách hàng công nghiệp và nghiên cứu khoa học, công ty đại lý phân phối tại Hoa KỳALICAT、 Thụy Sĩ Vogtlin, Mỹ MKS, Nhật Bản EBARA và các thương hiệu khác, kết hợp với các sản phẩm của đại lý để cung cấp cho khách hàng các giải pháp giám sát lưu lượng và áp suất chất lượng cao, nhằm nâng cao hiệu quả nghiên cứu và sản xuất của khách hàng, cải thiện quy trình sản xuất của khách hàng, thúc đẩy tiến độ nghiên cứu và đổi mới của khách hàng.