Máy đo áp suất điện dung chân không

1. Mô tả

Sản phẩm PT124B-212KMáy đo áp suất điện dung chân khôngSử dụng các thành phần nhạy cảm với điện dung ổn định cao, khả năng chống quá áp tuyệt vời và ổn định lâu dài tuyệt vời, phù hợp với các phép đo chân không chính xác cần thiết để kiểm soát quá trình trong thị trường quang điện, chất bán dẫn và công nghiệp. Công nghệ và quy trình sản xuất tiên tiến, đảm bảo khả năng lặp lại trong kịch bản ứng dụng, điện áp hoạt động của máy đo áp suất này là 24V DC, với tín hiệu đầu ra tương tự (0~10) V DC tiêu chuẩn, đo quy mô đầy đủ, phạm vi có sẵn từ 1Torre (133Pa) đến 10Torre (1,33kPa).

2. Ứng dụng

Lò chân không Bao bì chân không Máy tiệt trùng plasma đông khô Máy chưng cất chân không Công nghiệp hóa dầu Thiết bị xử lý PECVD/ALD Thiết bị xử lý cắt plasma cho ngành công nghiệp bán dẫn.

3. Các tính năng chính

Khớp nối tiêu chuẩn công nghiệp

Độ chính xác cao: Tiêu chuẩn ± 0,5% đọc, tùy chọn ± 0,25% đọc

Màng chính xác đảm bảo hiệu suất tuyệt vời

Phạm vi bù nhiệt độ hoạt động rộng

Tiếng ồn mạch thấp, phản ứng nhanh

Không dễ bị ảnh hưởng bởi những thay đổi trong điều kiện môi trường

Thiết kế chống quá áp tuyệt vời.

4. Hồ sơ sản phẩm

5. Xếp hạng áp suất quá tải và nổ

5.2 Định nghĩa dây

6. Hướng dẫn vận hành tiêu chuẩn

6.1 Chuẩn bị tiêu chuẩn

6.1.1 Tháo khóa bảo vệ cửa sổ điều chỉnh 0.5T, 5T, 10T tương ứng;

Chuẩn bị một cái tua vít nhỏ.

6.2 Hoạt động tiêu chuẩn

6.2.1 Điều chỉnh áp suất không khí bên ngoài đến 0.5T, sau khi chờ áp suất không khí 1 phút ổn định, sử dụng tuốc nơ vít nhỏ một chữ trước tiên theo chiều kim đồng hồ để xoay nửa vòng chiết 0.5T và sau đó quay lại nửa vòng chiết 0.5T;

6.2.2 Điều chỉnh áp suất không khí bên ngoài đến 5T, chờ 1 phút sau khi áp suất không khí ổn định, sử dụng tuốc nơ vít nhỏ một chữ để đẩy nút 5T;

6.2.3 Điều chỉnh áp suất không khí bên ngoài đến 10T, sau khi chờ áp suất không khí 1 phút ổn định, sử dụng tuốc nơ vít một chữ để xoay một nửa vòng theo chiều kim đồng hồ, sau đó quay lại một nửa vòng 10T chiết;

6.2.4 Đánh dấu hoàn thành sau khi hoàn thành ba bước trên.

6.3 Các biện pháp phòng ngừa hoạt động tiêu chuẩn

6.3.1 Trong quá trình đánh dấu phải đợi 1 phút áp suất không khí bên ngoài hoàn toàn ổn định sau đó mới có thể xoay bộ chiết 0.5T và 10T hoặc quay phím 5T, sau khi đánh dấu 10T hoàn thành, máy phát tự động lưu dữ liệu ghi lại.

6.3.2 Nếu cần đánh dấu lại điểm áp suất 0.5T hoặc 5T, áp suất 10T cũng cần được đánh dấu lại (bộ chiết 10T cũng đóng vai trò bảo quản).

7. Ghi chú và yêu cầu cài đặt

7.1 Thận trọng

7.1.1 Nguồn điện được lựa chọn phải phù hợp vớiMáy đo áp suất điện dung chân khôngNguồn điện đầu vào phù hợp;

7.1.2 Lớp che chắn của cáp che chắn phải được kết nối với nguồn điện chung của nguồn điện;

7.1.3 Loạt dây điện áp kế điện dung chân không này nên được kết nối theo sơ đồ dây điện, xác nhận rằng không có lỗi có thể được cấp nguồn!

7.1.4 Cấm cắm và rút phích cắm khi bật nguồn;

7.1.5 Sau khi sử dụng sản phẩm, nên rút phích cắm điện.

7.2 Yêu cầu cài đặt

7.2.1 Máy đo áp suất điện dung chân không nên được lắp đặt theo chiều dọc lên trên;

7.2.2 Trong quá trình tháo dỡ và lắp ráp máy đo áp suất điện dung chân không nên chú ý đến việc đặt nhẹ và cẩn thận, hãy nhớ va chạm để tránh gây ra lỗi thiết bị, nếu không cần hiệu chuẩn lại để sử dụng;

7.2.3 Máy đo áp suất điện dung chân không không thể được lắp đặt ở vị trí rung, nếu phải lắp đặt ở vị trí rung, vui lòng kết nối bằng ống chân không để hoạt động như tránh sốc.

8. Bảo trì và khắc phục sự cố

8.1 Bảo trì hàng ngày

Nếu dụng cụ bị bẩn, hãy lau bằng vải mềm và không sử dụng các dụng cụ làm sạch như xăng, chất pha loãng sơn.

8.2 Xử lý sự cố chung

9. Danh sách đóng gói

Máy đo áp suất chân không 1 bộ DP9 Dòng cổng nối tiếp 1 chiếc Hướng dẫn sử dụng 1 chiếc Giấy chứng nhận hợp lệ 1 chiếc