Máy đo hình dạng không tiếp xúc Taylor Hobson

TAYLOR HOBSON: Máy đo hình dạng không tiếp xúc CCI Lite sử dụng nguyên tắc giao thoa CCI (Thuật toán liên quan đến kết hợp của công nghệ Briony), có thể đo hình dạng bề mặt, độ nhám bề mặt, kích thước ba chiều và hai chiều với độ chính xác cao, phân tích phát hiện khuyết tật bề mặt và tạo báo cáo thống kê

Hình dạng không tiếp xúc Taylor Hobson của Vương quốc Anh: Hình dạng không tiếp xúc CCI Lite sử dụng nguyên tắc giao thoa CCI (thuật toán liên quan đến kết hợp của công nghệ Briony), có thể đo hình dạng bề mặt, độ nhám bề mặt, kích thước ba chiều và hai chiều, phân tích phát hiện khuyết tật bề mặt và tạo báo cáo thống kê với độ chính xác cao;

Hình dạng không tiếp xúc Taylor Hobson:

1. Cơ sở giảm xóc và cột:

Cơ sở nhôm đúc: Kết hợp hấp thụ sốc nổi để cải thiện độ ổn định và độ chính xác lặp lại của phép đo

Cột kết cấu thép: Cải thiện độ bền và ổn định của vòng đo và giảm tác động rung bên ngoài

2. Thông số hệ thống

(1)Loại giao thoa:CCIGiao thoa, Tyler Hopson Thuật toán liên quan đến kết hợp Brick

(2)Phạm vi đo:2.2mm(Tiêu chuẩn),>10mm là sử dụng nối dữ liệu

(3)Độ phân giải:0.1 A

(4) RMSĐộ lặp lại:<0.02nm

(5)Tốc độ quét dọc: 7 um/s

(6)Số điểm đo:1 1024 x 1024Ma trận điểm

(7) X YPhạm vi đo trục đơn: 0,36 - 7,2 mm

(8) X YĐộ phân giải trục:0.4-0.6um（

(9)Độ lặp lại của chiều cao bước:>0,1%

(10)Tiếng ồn hệ thống:<0.08nm

(11)Thời gian đo: Mẫu điển hình 5-20 giây

(12) Phản xạ của các bộ phận được thử nghiệm:0.3 –100%