Van chân không VAT Thụy Sĩ - Thiết bị đa van chân không

Có thể đàm phánCập nhật vào05/11

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Van chân không VAT Thụy Sĩ - Thiết bị đa van chân không $r $n Van kết hợp và nhóm van cung cấp sự kết hợp của các chức năng van khác nhau trong một đơn vị. Ưu điểm: giảm số lượng vòng đệm, do đó giảm các điểm rò rỉ tiềm năng, thiết kế rất nhỏ gọn, tiết kiệm không gian, lắp ráp nhanh hơn và dễ dàng hơn so với lắp ráp van riêng lẻ.

Chi tiết sản phẩm

Van chân không VAT Thụy Sĩ - Thiết bị đa van chân không

Thụy Sĩ VAT là nhà sản xuất van chân không, tập trung vào thiết kế và sản xuất van chân không chính xác cao, các sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong chất bán dẫn, quang điện, màn hình phẳng, nghiên cứu khoa học và các lĩnh vực khác, được phân biệt bởi độ tin cậy cao, tuổi thọ dài và hiệu suất niêm phong.

1. Bối cảnh công ty

2. Dòng sản phẩm cốt lõi

(1) Sản phẩm van đơn

Dòng mô hình：

Van góc(Ví dụ: VAT 54 Series): Thích hợp cho môi trường chân không cao (HV) và chân không cực cao (UHV).
Thông qua Van(Ví dụ: Dòng VAT 47): Thiết kế kháng dòng chảy thấp, phù hợp để hút chân không nhanh.
Van cổng(chẳng hạn như VAT 19 series): con dấu kim loại, chịu nhiệt độ cao (lên đến 450 ° C), được sử dụng trong buồng quá trình bán dẫn.
Van điều chỉnh: Kiểm soát chính xác lưu lượng khí để điều chỉnh áp suất quá trình.

Thông số kỹ thuật：

Tỷ lệ rò rỉ:<10⁻⁹ mbar · l/s (con dấu kim loại).
Chất liệu: thép không gỉ, hợp kim nhôm, mạ niken hoặc đánh bóng điện phân trên bề mặt.
Chế độ lái xe: khí nén, điện hoặc bằng tay.

Hệ thống đa van (Multi-valve systems)

Tính năng thiết kế：

Tích hợp nhiều van (chẳng hạn như van cách ly, van bên, van bơm chính) trong một mô-đun duy nhất, đơn giản hóa bố trí hệ thống chân không.
Thiết kế mô-đun, hỗ trợ các kết hợp tùy chỉnh như VAT Lockfast ® loạt).
Phản ứng nhanh (thời gian chuyển đổi có thể thấp đến 50ms).

Ứng dụng tiêu biểu：

Cách ly đa buồng của thiết bị khắc/lắng đọng bán dẫn.
Chuyển đổi đường chân không của hệ thống mạ quang điện.

3. Lợi thế công nghệ cốt lõi

Công nghệ niêm phong：

Con dấu kim loại (vật liệu không đàn hồi) thích hợp cho môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn.
Con dấu đàn hồi (như Viton) được sử dụng cho các ứng dụng kinh tế.