Van bướm chân không Thụy Sĩ VAT 61.3 - Van điều khiển bướm

61.3 Van điều khiển bướm chân không cao cung cấp hiệu suất kiểm soát áp suất tuyệt vời. Với bộ điều khiển hành động nhanh và chính xác (0,1 giây), van điều khiển bướm 61,3 là giải pháp lý tưởng để điều khiển tinh tế trong quá trình CVD và ALD. Tấm van có thể hoạt động như một yếu tố điều tiết, thay đổi đặc tính hướng dòng chảy của độ mở van. 61.3 Bộ điều khiển áp suất tích hợp của van điều khiển bướm có thể tính toán vị trí tấm van mong muốn để đạt được áp suất đặt càng sớm càng tốt.

Dòng sản phẩm này được thiết kế đặc biệt cho các quá trình hạ lưu khắc nghiệt với các hạt trong luồng không khí. Ngay cả khi tải trọng hạt cao và sự hiện diện của các mảnh vụn lắng đọng do thiết kế, van điều khiển bướm 61,3 vẫn có thể hoạt động bình thường.

Loạt 61.3 đã được cài đặt trong hàng ngàn ứng dụng đòi hỏi trong các điều kiện quy trình khác nhau, chứng minh độ tin cậy của nó. Với thiết kế chắc chắn, các tùy chọn cài đặt trực tiếp và bảo trì đơn giản và dễ dàng, dòng 61.3 hấp dẫn về mọi mặt.

Các tùy chọn thiết kế khác nhau về vật liệu thân van, xử lý bề mặt, chất đàn hồi, kết nối mặt bích, kích thước đặc biệt cũng như các thuật toán điều khiển đặc biệt (thích ứng, hạ lưu PI cố định/rút mềm) giúp đơn giản hóa việc tích hợp trong các ứng dụng chân không khác nhau.