Van điều khiển chân không cao Thụy Sĩ VAT 65,5 Series

Có thể đàm phánCập nhật vào05/13

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Thụy Sĩ VAT cao chân không điều khiển con lắc van 65,5 loạt $r$n áp suất quá trình cao, dòng chảy thấp ăn mòn khắc ứng dụng lý tưởng $r$n65,5 cao chân không điều khiển con lắc van cung cấp cao kiểm soát dòng chảy phổ. Do chuyển động mở và đóng trơn tru của nó, số lượng hạt và mức độ tạo hạt cực kỳ thấp, cũng là đặc điểm chính của nó. Van này được thiết kế đặc biệt cho các quy trình khắc nghiệt, chẳng hạn như các ứng dụng ăn mòn và làm sạch trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, nơi phổ dòng chảy có kiểm soát cao được yêu cầu khi độ dẫn dòng có kiểm soát ban đầu thấp.

Chi tiết sản phẩm

Van điều khiển chân không cao Thụy Sĩ VAT 65,5 Series

Van con lắc điều khiển chân không cao 65,5 cung cấp phổ dẫn hướng dòng chảy có kiểm soát cao. Do chuyển động mở và đóng trơn tru của nó, số lượng hạt và mức độ tạo hạt cực kỳ thấp, cũng là đặc điểm chính của nó.

Van được thiết kế đặc biệt cho các quy trình khắc nghiệt, chẳng hạn như các ứng dụng ăn mòn và làm sạch trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, nơi cần có hướng dẫn dòng chảy có kiểm soát cao khi hướng dẫn dòng chảy có kiểm soát ban đầu thấp.

Van điều khiển chân không cao 65,5 có DN 250 mm (10') và có thể điều khiển hướng dẫn dòng chảy tối thiểu chỉ 2 ls-1. Do khả năng xử lý dữ liệu tuyệt vời của bộ điều khiển ổ đĩa 32 bit, điều khiển tăng hướng dẫn dòng đến một mức độ rất tinh tế. Ngoài ra, ổ đĩa nhanh hơn cũng có sẵn vì cảm biến và lệnh điều khiển được xử lý nhanh hơn so với bộ điều khiển 16 bit tương đương. Các cổng kết nối tiêu chuẩn khác nhau trên bộ điều khiển có thể dễ dàng truy cập thông qua máy tính cá nhân hoặc kết nối với bộ điều khiển quá trình.

Cơ chế tấm con lắc được thiết kế cực kỳ chắc chắn để đảm bảo nó có thể chống lại bất kỳ sản phẩm phụ nào của quá trình. Để giảm hao mòn niêm phong và tránh sự sản xuất và tạo hạt, chuyển động mở và đóng là tách biệt. Hướng dẫn giai đoạn đầu tiên được thực hiện bằng chuyển động thẳng đứng ra khỏi ghế van và sau đó được tăng lên bằng cách di chuyển tấm van con lắc trong chuyển động ngang. Do khả năng điều khiển chuyển động tốt của tấm van, thứ tự chuyển động đặt trước có thể được điều chỉnh chính xác theo yêu cầu công nghệ. Để đảm bảo niêm phong được đóng lại, thanh áp suất đặc biệt đi qua nhấn tấm van lên ghế. Điều này đảm bảo rằng áp suất niêm phong của tất cả các khu vực của tấm van được phân phối đều.

Với các tùy chọn thiết kế nhỏ gọn và cài đặt trực tiếp cũng như một loạt các tùy chọn thiết kế khác, dòng 65.5 dễ dàng tích hợp vào một loạt các quy trình chân không.

Van điều khiển chân không cao 65,5 sử dụng nhôm hoặc nhôm anodized cứng với đầu nối mặt bích tiêu chuẩn ISO-F và JIS. Mặt bích được chỉ định của khách hàng có thể được tích hợp, cũng có thể được sử dụng làm lò sưởi cho van có nhiệt độ hoạt động lên đến 120 ℃.

1. Van
2. Trục điều khiển
3. Trình điều khiển trục đôi
4. Con dấu thức ăn cho người lái xe
5. Khóa niêm phong

Tính năng:

Cung cấp sự cô lập đáng tin cậy trong môi trường quá trình khắc nghiệt
Hoạt động tác động thấp, sản xuất hạt thấp
Quá trình trơ - phát thải dư rất thấp (máy phân tích khí dư)
Chạy nhanh, có thể điều chỉnh
Bộ điều khiển áp suất trên thiết bị
Nguồn cảm biến tùy chọn Chỉ cần một nguồn điện

Ưu điểm:

Hiệu suất kiểm soát áp suất
Chạy nhanh, hầu như không có hạt
Có thể được điều chỉnh theo yêu cầu của quy trình

Thông số kỹ thuật

kích thước		DN 250 (10')
Lái xe		Bộ điều khiển áp suất tích hợp với trình điều khiển servo
Vật liệu cơ thể		Nhôm hoặc nhôm anodized cứng
Thông qua thức ăn		Thông qua thức ăn quay
Mặt bích tiêu chuẩn		ISO-F, JIS
Rò rỉ tỷ lệ cơ thể	nhôm Nhôm anodized cứng	< 1 × 10-9mbar Ls-1 < 1 × 10-5mbar Ls-1
Tỷ lệ rò rỉ ghế	nhôm Nhôm anodized cứng	< 1 × 10-9mbar Ls-1 < 1 × 10-4mbar Ls-1
Phạm vi áp suất	nhôm Nhôm anodized cứng	1 × 10-8mbar to 1.2 bar (áp suất tuyệt đối) 1 × 10-6mbar to 1.2 bar (áp suất tuyệt đối)
Số lần chuyển đổi trước khi bảo trì1)	Kiểm soát áp suất Đóng/Mở	2 triệu lần 50.000 lần
Nhiệt độ	Thân máy bộ điều khiển	≤ 120 °C Tối đa 50 ℃ (Khuyến nghị ≤35℃）
vật liệu	Cơ thể, tấm van	EN AW-6061 (3.2311) T651
	Các bộ phận khác	AISI 316L (1.4404, 1.4435)
	Vít kết nối trên tấm van	SST A4-80、Ni-PTFE、 Trang chủ
Niêm phong	Bonnet, tấm van, cơ thể, bộ phận nạp	Cao su Viton
Vị trí lắp đặt		Địa điểm

Van điều khiển chân không cao Thụy Sĩ VAT 65,5 Series

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị