Thụy Sĩ VAT cao chân không điều khiển áp lực con lắc Van 65.3 Series

Có thể đàm phánCập nhật vào05/13

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Thụy Sĩ VAT cao chân không điều khiển con lắc Van 65,3 Series $r$n tối ưu hóa bán dẫn thiết lập một tiêu chuẩn mới cho kiểm soát áp suất hạ lưu và cách ly $r$n65,3 điều khiển con lắc Van trong hệ thống hiển thị. Được thiết kế đặc biệt cho các hệ thống sản xuất chất bán dẫn và màn hình, dòng van con lắc điều khiển này cung cấp mức độ kiểm soát cao trong phạm vi hướng dẫn dòng chảy rộng hơn. Van điều khiển con lắc 65.3 được trang bị động cơ với điều khiển vị trí tích hợp để cung cấp các chức năng cải tiến.

Chi tiết sản phẩm

Thụy Sĩ VAT cao chân không điều khiển áp lực con lắc Van 65.3 Series

Van điều khiển con lắc 65.3 thiết lập một tiêu chuẩn mới về kiểm soát áp suất hạ lưu và cách ly. Được thiết kế đặc biệt cho các hệ thống sản xuất chất bán dẫn và màn hình, dòng van con lắc điều khiển này cung cấp mức độ kiểm soát cao trong phạm vi hướng dẫn dòng chảy rộng hơn. Van điều khiển con lắc 65.3 được trang bị động cơ với điều khiển vị trí tích hợp để cung cấp các chức năng cải tiến.

Bộ điều khiển ổ đĩa có khả năng xử lý dữ liệu 32 bit cao hơn để cung cấp khả năng điều khiển hoàn toàn mới. Điều này có nghĩa là các vị trí khác nhau của tấm van con lắc có thể được kiểm soát rất nhanh, tinh tế và chính xác, cho phép kiểm soát áp suất hạ lưu rất chính xác trong thời gian đáp ứng rất ngắn. Trình tự chuyển động đặt trước của van có thể được điều chỉnh cho tốc độ và tuyến đường theo các thông số quy trình thay đổi khác nhau. Van con lắc điều khiển 65.3 cũng ngăn chặn việc giải phóng hạt. Chuyển động giảm xóc tối ưu hóa của tấm van giúp tránh va đập và rung động phổ biến trong các van truyền thống. 65.3 Van con lắc điều khiển được đóng trơn tru và không bị cản trở, đóng và mở hầu như không được phát hiện. Các tấm van cung cấp hướng dẫn cơ học rất chính xác, đảm bảo kiểm soát luồng không khí không tiếp xúc trong chuyển động qua lại và đạt được niêm phong đồng đều trong tất cả các khu vực của chuyển động niêm phong.

Van con lắc điều khiển 65.3 đã được lắp đặt trong hàng trăm ứng dụng đòi hỏi trong các điều kiện quy trình khác nhau, chứng minh độ tin cậy và hiệu suất của nó. Van điều khiển áp suất 65,3 cũng là lựa chọn lý tưởng để cải tạo hệ thống hiện có.

Van con lắc điều khiển 65,3 có kích thước DN 100-350 mm (4'-14') và được làm bằng nhôm hoặc nhôm anodized cứng với kết nối mặt bích tiêu chuẩn ISO-F và JIS. Mặt bích tùy chỉnh có thể được tích hợp, cũng như tùy chọn cài đặt trực tiếp. Vật liệu niêm phong tiêu chuẩn là Viton và các vật liệu khác có thể được sử dụng theo yêu cầu.

Bộ điều khiển có thể sử dụng các thuật toán điều khiển đặc biệt (thích ứng, PID cố định, ngược dòng, bơm mềm). Các cổng kết thúc tiêu chuẩn khác nhau trên bộ điều khiển có thể dễ dàng truy cập thông qua máy tính cá nhân hoặc kết nối với Đơn vị kiểm soát quá trình (PCU). Phần mềm phân tích hiệu suất điều khiển (CPA) chuyên dụng giúp dễ dàng hiệu chỉnh van con lắc điều khiển 65.3 và đơn giản hóa lịch bảo trì

瑞士VAT高真空控压摆阀65.3系列

Tính năng:

Kiểm soát áp suất nhanh và chính xác
Hoạt động không tác động: Không tạo hạt
Cải thiện sự ổn định của quá trình: có thể kiểm soát tất cả các dòng chảy và áp suất
Bộ điều chỉnh áp suất tích hợp 32 bit (IC2) với Máy phân tích hiệu suất điều khiển (CPA)
Sửa đổi "Plug and Play": Không cần hiệu chuẩn hoặc phù hợp

Ưu điểm:

Độ tin cậy, độ chính xác và tốc độ
Mở rộng chu kỳ bảo trì
Chi phí vận hành thấp

kích thước		DN 100 (4'), DN 160 (6'), DN 200 (8'), DN 250 (10'), DN 320 (12'), DN 350 (14')
Lái xe		Động cơ bước với bộ điều khiển áp suất tích hợp
Vật liệu cơ thể		Nhôm: Nhôm hoặc nhôm anodized cứng
Thông qua thức ăn	Lái xe vòng đệm	Thông qua thức ăn quay Trục ăn thông qua
Mặt bích tiêu chuẩn		ISO-F, JIS
Rò rỉ tỷ lệ cơ thể	nhôm Nhôm anodized cứng	< 1 × 10-9mbar Ls-1 < 1 × 10-5mbar Ls-1
Tỷ lệ rò rỉ ghế	nhôm Nhôm anodized cứng	< 1 × 10-9mbar Ls-1 < 1 × 10-4mbar Ls-1
Phạm vi áp suất	nhôm Nhôm anodized cứng	1 × 10-8mbar to 1.2 bar (áp suất tuyệt đối) 1 × 10-6mbar to 1.2 bar (áp suất tuyệt đối)
Số lần chuyển đổi trước khi bảo trì1)	Kiểm soát áp suất Đóng/Mở	1 triệu lần 200.000 lần
Nhiệt độ	Thân máy bộ điều khiển	≤ 120 °C Tối đa 50 ℃ (Khuyến nghị ≤35 ℃)
vật liệu	Cơ thể, tấm van	EN AW-6061 (3.3211)
	vòng đệm	EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303), AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568)
	Các bộ phận khác	AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122), AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301)
Niêm phong	Nắp van, tấm van, Cơ thể ăn thông qua	Fluoroelastomer (chất đàn hồi có chứa fluoroelastomer)
Vị trí lắp đặt		Địa điểm

Thụy Sĩ VAT cao chân không điều khiển áp lực con lắc Van 65.3 Series

Mã sản phẩm 65350-JAUH Mã sản phẩm 65346-PHGK Mã sản phẩm 65350-JAUF Mã sản phẩm 65350-JAUH Mã sản phẩm 65350-PACE

Mã sản phẩm 65346-PHGN Mã sản phẩm 65340-JAGQ Mã sản phẩm 65340-JAGN

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị