Thụy Sĩ VAT61.6 - Van điều khiển và cách ly chân không cao

Có thể đàm phánCập nhật vào05/11

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Thụy Sĩ VAT61.6 - Van điều khiển bướm chân không cao và van cách ly $r$n61.6 HV Van bướm điều khiển cung cấp kiểm soát áp suất tuyệt vời và hiệu suất cách ly. Kiểm soát căng thẳng và cách ly tuyệt vời trong mọi điều kiện

Chi tiết sản phẩm

Thụy Sĩ VAT61.6 - Van điều khiển và cách ly chân không cao

Kiểm soát căng thẳng và cách ly tuyệt vời trong mọi điều kiện

Van bướm điều khiển 61,6 HV cung cấp kiểm soát áp suất tuyệt vời và hiệu suất cách ly. Với bộ điều khiển hành động nhanh và chính xác (0,45 giây), đây là giải pháp để kiểm soát và cách ly tinh tế trong quy trình CVD. Tấm bướm hoạt động như một yếu tố tiết lưu, thay đổi tính dẫn của cổng van. Bộ điều khiển áp suất tích hợp 61.6 tính toán vị trí mảng mong muốn để đạt được áp suất thiết lập nhanh nhất có thể.

Chức năng cách ly của dòng 61.6 được thiết kế đặc biệt để tránh hao mòn niêm phong cao hơn của van bướm. Thông qua trục tấm ngoài trung tâm của nó và hình dạng hình học đặc biệt của thân van và ghế kín, ma sát niêm phong giảm xuống thấp và hiệu suất niêm phong được cải thiện.

Series 61.6 đã được cài đặt trong hàng ngàn ứng dụng đòi hỏi khắt khe trong các điều kiện xử lý khác nhau và đã chứng minh độ tin cậy tuyệt vời của nó. Với thiết kế chắc chắn và các tùy chọn cài đặt trực tiếp, cũng như bảo trì giảm và thuận tiện, dòng 61.6 vượt trội trong tất cả các khía cạnh.

Các tùy chọn thiết kế khác nhau về vật liệu cơ thể, xử lý bề mặt, chất đàn hồi, kết nối mặt bích, vật liệu niêm phong, kích thước đặc biệt và các thuật toán điều khiển đặc biệt (máy bơm mềm/PI cố định) giúp đơn giản hóa việc tích hợp dòng 61.6 với các ứng dụng chân không khác nhau.

Van bướm điều khiển 61,6 HV có sẵn trong vật liệu nhôm anodized cứng hoặc thép không gỉ và đi kèm với các khớp mặt bích tiêu chuẩn ISO-KF và ISO-F. Mặt bích tùy chỉnh của khách hàng có thể được tích hợp, cũng như các tính năng đặc biệt như tích hợp lò sưởi với cách nhiệt. Chất đàn hồi FFKM/FKM có sẵn theo yêu cầu (FKM là tiêu chuẩn).

61.6 Các tính năng chính của điều khiển bướm áp suất cao và van cách ly

Tính năng:

Kiểm soát áp suất và cách ly
Chạy rất nhanh
Phần mềm trên bo mạch để chạy cục bộ
Hoạt động đáng tin cậy có thể đạt được trong điều kiện công nghệ khắc nghiệt

Ưu điểm:

Kiểm soát quá trình tốt hơn
Thời gian hoạt động dài/Hiệu suất không giới hạn
Chi phí vận hành thấp

Thụy Sĩ VAT61.6 - Van điều khiển và cách ly chân không cao

kích thước		DN 40 ('), DN 50 (2'), DN 63 ('), DN 80 (3'), DN 100 (4')
Lái xe		Bộ điều khiển tích hợp với động cơ bước, điều khiển theo định hướng hiện trường (foc)
Vật liệu cơ thể		Nhôm anodized cứng hoặc thép không gỉ
Mặt bích tiêu chuẩn		ISO-KF, ISO-F
Tỷ lệ rò rỉ: Thân van	Nhôm anodized cứng thép không gỉ	< 1 × 10-5mbar Ls-1 < 1 × 10-9mbar Ls-1
Tỷ lệ rò rỉ: Ghế van	Nhôm anodized cứng thép không gỉ	< 1 × 10-4mbar Ls-1 < 1 × 10-9mbar Ls-1
Phạm vi áp suất	Nhôm anodized cứng thép không gỉ	< 1 × 10-6mbar 至 1.2 thanh (abs) < 1 × 10-8mbar 至 1.2 thanh (abs)
Số lần chuyển đổi trước khi bảo trì1)	Kiểm soát áp suất Cách ly	2 triệu lần 250.000 lần (DN 40-50) 100.000 lần (DN 63-100)
Nhiệt độ	Thân máy bộ điều khiển	≤ 120 °C Tối đa 50 ℃ (Khuyến nghị ≤35 ℃)
vật liệu	Thân nhôm/tấm van Thép không gỉ Body/Shaft	EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L (1.4404 hoặc 1.4435)
Niêm phong	Van tấm Thông qua thức ăn	Cao su Viton Cao su Viton
Thông qua thức ăn		Thông qua thức ăn quay
Vị trí lắp đặt		Ghế ngồi đối diện cabin

瑞士VAT61.6 - 高真空蝶形控制和隔离阀

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị