Tăng cường lắng đọng pha khí PECVD Plasma tại Timetime Thượng Hải

Có thể đàm phánCập nhật vào12/30

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

PECVD Plasma Enhanced Vapor Phase Deposition là một 1200 ℃ Plasma Enhanced Hybrid Physical Chemistry Vapor Phase Deposition (HPCVD) nhiệt độ kép khu vực quay trở lại nguồn hệ thống (với chức năng tự động phù hợp), thượng nguồn tại chỗ bốc hơi thuyền, 4 kênh hệ thống điều khiển lưu lượng kế proton và thành phần bơm chân không với hiệu suất tuyệt vời. Điều này được sử dụng để xử lý nhiệt bột hỗn hợp vô cơ và phủ đồng đều bề mặt bột (ví dụ: chuẩn bị lớp phủ dẫn điện cho bột cathode của pin lithium ion, v.v.).

Chi tiết sản phẩm

PECVD Plasma Tăng cường lắng đọng hơi hóa họcLà một kỹ thuật CVD sử dụng plasma để thúc đẩy phản ứng khí. Các tính năng của nó bao gồm:

1, lắng đọng nhiệt độ thấp: PECVD có thể được thực hiện ở nhiệt độ cơ sở thấp hơn, vì năng lượng được cung cấp bởi plasma có thể thúc đẩy phản ứng khí và giảm nhu cầu về nhiệt độ lắng đọng.

2, tốc độ lắng đọng cao: plasma tăng cường tốc độ phản ứng khí, do đó tăng tốc độ lắng đọng màng.

3, Chất lượng phim tốt: Màng lắng đọng PECVD thường có tính đồng nhất tốt hơn và mật độ khuyết tật thấp hơn, phù hợp cho các ứng dụng đòi hỏi màng chất lượng cao.

4, Khả năng thích ứng mạnh mẽ: nhiều loại vật liệu có thể được lắng đọng, bao gồm oxit, nitride và florua, v.v., được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực như chất bán dẫn, thiết bị quang điện và lớp phủ bảo vệ.

5, kiểm soát tốt: bằng cách điều chỉnh các thông số của plasma (chẳng hạn như công suất, lưu lượng khí và áp suất), thành phần và tính chất của bộ phim có thể được kiểm soát chính xác.

Thông số lò sưởi

▪ Nhiệt độ tối đa: 1200 ºC (<30 phút), nhiệt độ làm việc liên tục: 1100 ° C;

▪ Hai bộ điều khiển nhiệt độ PID và hệ thống điều khiển nhiệt độ lập trình 30 phần;

▪ Công suất đầu vào: 208-240V, một pha, công suất tối đa: 2.5KW;

▪ Độ tinh khiết cao nhôm oxit sợi cách nhiệt có thể giảm thiểu tiêu thụ năng lượng;

▪ Tốc độ quay trở lại: 2-10rpm;

▪ Thiết kế kiểu mở lò để đạt được nhiệt độ nhanh cho mẫu, thuận tiện thay đổi ống lò.

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị