Kính hiển vi đồng tập trung Sensofar

Cốt lõi của kính hiển vi đồng tập trung Sensofar dựa trên nguyên tắc đồng tập trung, cho phép nó đạt được độ phân giải theo chiều dọc và khả năng ức chế nhiễu loạn. Sensofar có thể xác định chính xác chiều cao trục Z tại mỗi điểm đo, cuối cùng tái tạo lại hình dạng ba chiều thực sự của bề mặt mẫu.

Vị trí trung tâm của kính hiển vi đồng tập trung Sensofar là máy đo bề mặt quang học 3D không tiếp xúc. Nó không chỉ là một kính hiển vi, mà còn là một dụng cụ đo lường có độ chính xác cao. Tính năng nổi bật của nó là tích hợp nhiều công nghệ đo quang học trong một, người dùng có thể chuyển đổi liền mạch chế độ đo phù hợp nhất trên cùng một thiết bị dựa trên các đặc điểm mẫu để có được dữ liệu chính xác. Kính hiển vi đồng tập trung Sensofar mới S neox vượt trội hơn các máy đo quang học 3D hiện có về hiệu suất, chức năng, hiệu quả và thiết kế và là một hệ thống đo lường kính hiển vi đồng tập trung thế hệ mới.

Tốc độ đo đáng kinh ngạc

Đạt được tốc độ đo đáng kinh ngạc bằng cách áp dụng các thuật toán thông minh và sở hữu mới cũng như các loại máy ảnh mới. Tốc độ thu thập dữ liệu lên tới 180 fps. Tốc độ thu thập đo lường tiêu chuẩn nhanh hơn 5 lần so với trước đây. Kính hiển vi đồng tập trung Sensofar S neox trở thành hệ thống đo bề mặt cực nhanh trên thị trường.

Dễ sử dụng

Sensofar cam kết mang đến cho khách hàng những trải nghiệm đáng kinh ngạc nhất. Với sự ra đời của hệ thống kính hiển vi đồng tập trung S neox thế hệ thứ năm, mục tiêu của chúng tôi là làm cho nó dễ sử dụng, trực quan và nhanh hơn. Ngay cả đối với người mới bắt đầu, đo lường có thể được vận hành chỉ với một cú nhấp chuột. Phần mềm được thiết kế theo mô-đun cho phép hệ thống thích ứng với nhu cầu đa dạng của người dùng.

Quản lý chất lượng

Mô-đun tự động hóa phong phú cho chất lượng dễ dàng

Kiểm soát lượng. Báo cáo phân tích có thể được tạo tự động từ kiểm soát truy cập của người vận hành, lưu trữ chương trình đo lường, khả năng tương thích đến đầu đọc mã vạch/QR và các plugin tùy chỉnh trong phần mềm SensoPRO độc quyền của chúng tôi. Các giải pháp tối ưu hóa của chúng tôi hoạt động trong môi trường QC với giao diện linh hoạt và dễ sử dụng, có thể lập trình và hoạt động 24 giờ.

nghiên c cứu và phát triển

Phương pháp 3 trong 1 của Sensofar - chỉ với một cú nhấp chuột, hệ thống có thể chuyển sang chế độ quét phù hợp với nhiệm vụ đo lường hiện tại. Cấu hình ba công nghệ đo lường trong đầu cảm biến S neox - đồng tập trung, giao thoa, chồng chéo đa tiêu cự Ai - tất cả đều đóng góp quan trọng vào tính linh hoạt của hệ thống và giúp giảm nhiễu trong thu thập dữ liệu rất hiệu quả. S neox là lý tưởng cho tất cả các môi trường phòng thí nghiệm và có phạm vi ứng dụng rộng.

Ai đa tiêu cự lớp phủ NEW!

Active Illumination Multi-focus Overlay là một kỹ thuật quang học được phát triển để đo hình dạng bề mặt gồ ghề lớn. Công nghệ này dựa trên chuyên môn sâu rộng của Sensofar trong lĩnh vực đồng tập trung và đo lường giao thoa 3D và được thiết kế đặc biệt để bổ sung cho các phép đo ở độ phóng đại thấp. Điều này đã được cải thiện bằng cách sử dụng ánh sáng chủ động cho phép dữ liệu đo lường đáng tin cậy hơn ngay cả trên bề mặt nhẵn quang học. Điểm nổi bật của công nghệ này bao gồm các bề mặt có độ dốc cao (lên đến 86º), tốc độ nhanh hơn (mm/s) và các phép đo phạm vi dọc lớn hơn.

Đồng tập trung

Đồng tập trung hồ sơ được phát triển để đo chiều cao bề mặt từ bề mặt nhẵn đến bề mặt rất gồ ghề. Các đường viền co-focus cung cấp độ phân giải bên tốt hơn lên đến độ phân giải ngang 0,14 μm và lấy mẫu không gian có thể được giảm xuống 0,01 μm, lý tưởng cho các phép đo kích thước chính. Mục tiêu lên đến NA (0,95) và độ phóng đại (150X) có thể được sử dụng để đo bề mặt nhẵn với độ dốc cục bộ trên 70 °. Đối với bề mặt gồ ghề, 86 ° có thể được cho phép. Các thuật toán đồng tập trung riêng cung cấp khả năng lặp lại theo chiều dọc ở quy mô nano.

Giao thoa

Giao thoa quang học là việc sử dụng hiện tượng giao thoa giữa hai chùm ánh sáng phản xạ được tạo ra trên gương tham chiếu và mẫu ở khoảng cách bằng không để tạo ra một bản đồ giao thoa ba chiều (giao thoa đồ), chứa thông tin về hình dạng bề mặt của mẫu. Các biến thể khác nhau trong cách này có thể được sử dụng cho các ứng dụng cụ thể khác nhau.

phim

Công nghệ đo màng đo độ dày của lớp trong suốt quang học một cách nhanh chóng, chính xác và không phá hủy và không cần chuẩn bị mẫu. Hệ thống lấy phổ phản xạ của mẫu trong phạm vi ánh sáng nhìn thấy và so sánh với phổ tương tự được tính toán bởi phần mềm để tìm độ dày phù hợp. Màng trong suốt từ 50nm đến 1,5μm có thể được đo trong vòng chưa đầy một giây. Các phép đo điểm phụ thuộc vào độ phóng đại của mục tiêu và dao động từ 0,5 μm đến 40 μm.

Ưu điểm của nguồn sáng LED

Dùng đèn LED làm nguồn sáng có lợi thế hơn dùng laser. Trước hết, nguồn sáng LED có thể tránh được hiện tượng tán xạ của nguồn sáng laser. Thứ hai, tuổi thọ của nguồn sáng LED là khoảng 50.000 giờ (khoảng 25 lần so với laser). Quan trọng nhất là nhiều đèn LED có nghĩa là bạn có thể chọn bước sóng phù hợp để đo theo nhu cầu của mẫu.

Mỗi SNEOX được thiết kế để đo lường chính xác và truy xuất nguồn gốc. Thiết bị của chúng tôi được sửa chữa bằng cách sử dụng các khối tiêu chuẩn truy xuất nguồn gốc đáp ứng các tiêu chuẩn Part 700 và Part 600 trong ISO25178. Tất cả các chỉ số, bao gồm độ cao và độ chính xác ngang, độ lệch độ phẳng, độ phân giải hệ thống, v.v., được thu được bằng cách đo các khối tiêu chuẩn như vậy. Chúng tôi nhấn mạnh rằng tất cả các thiết bị đo lường được thực hiện theo tiêu chuẩn này.

SNEOX được điều chỉnh bằng cách sử dụng các khối tiêu chuẩn đo lường và có thể truy xuất nguồn gốc trước khi rời khỏi nhà máy và xác nhận tuân thủ các tiêu chuẩn. SENSOFAR cũng bao gồm các báo cáo kiểm tra độ chính xác và độ lặp lại của phép đo với thiết bị.

Tiêu chuẩn ISO

Độ phân giải cao

Độ phân giải dọc bị giới hạn bởi tiếng ồn của thiết bị, được cố định cho giao thoa đo, nhưng khẩu độ số phụ thuộc vào phép đo co-focus. Các thuật toán độc quyền của Sensofar cung cấp tiếng ồn hệ thống ở cấp độ nano cho công nghệ đo lường với độ phân giải ngang tốt hơn cho các dụng cụ quang học. Hình dạng được hiển thị là lớp nguyên tử subnanomet (0,3 nm). Được cung cấp bởi PTB.

Quan sát DIC

Giao thoa vi phân (DIC) được sử dụng để nhấn mạnh các đặc điểm chiều cao rất nhỏ không có độ tương phản trong quan sát bình thường. Bằng cách sử dụng lăng kính Nomarski, hình ảnh giao thoa được tạo ra, giải quyết các cấu trúc cấp độ subnanomet không thể nhìn thấy trong trường sáng hoặc hình ảnh đồng tập trung.

Kính hiển vi đồng tập trung Sensoafar S neox Hệ thống phần mềm SENSOSCAN

Hệ thống khởi động

Sử dụng SensoSCAN

Phần mềm điều khiển hệ thống thông qua giao diện rõ ràng, trực quan và thân thiện với người dùng.

Người dùng sẽ được hướng dẫn qua môi trường 3D để có trải nghiệm người dùng tuyệt vời.

Điều hướng mẫu

Công cụ tổng quan giúp người dùng kiểm tra mẫu trong quá trình chuẩn bị khảo sát, kiểm tra vị trí khảo sát trước khi lấy và hỗ trợ thực hiện các quy trình tự động. Cho phép bạn nắm bắt tiến độ kiểm tra mọi lúc và làm cho việc đo lường độ phóng đại cao trở nên dễ dàng hơn.

Chức năng 3D tự động

Chọn chức năng 3D Auto, phần mềm SensoSCAN

Ánh sáng chính xác và phạm vi đo phù hợp sẽ được xác định tự động,

Sau đó thực hiện loại đo lường đã chọn. Vì vậy, bạn có thể nhận được kết quả chất lượng cao trong vài giây.

Phân tích&Báo cáo

Các mẫu phân tích cũng có thể được tạo để áp dụng các cấu hình bộ lọc và người vận hành được xác định trước cho các phép đo lặp đi lặp lại.

Cuối cùng, tạo báo cáo rõ ràng và có cấu trúc tốt cho mỗi phép đo, bao gồm dữ liệu 3D, phác thảo 2D và tất cả các thông số ISO.

Mô đun chương trình tự động

Mô-đun đo lường tự động giúp khách hàng dễ dàng thực hiện lập trình tùy chỉnh để hoàn thành các mục tiêu quản lý và phát hiện chất lượng. Đặt tọa độ điểm đo bằng tay hoặc nhập tệp tọa độ, đặt chương trình đo lường khối lượng cho từng tọa độ hoặc hàng loạt, sau đó đặt vị trí nhận dạng hình ảnh tự động, cuối cùng xác định phạm vi dung sai và định dạng đầu ra báo cáo đã hoàn thành tất cả các công việc lập trình.

Đo lường lập trình đa điểm

SNEOX đã thiết kế một cách hoàn toàn mới để lập trình. Đó là, bằng cách tự động xác định cùng một cấu trúc hoặc loại sản phẩm, chương trình sao chép các điểm đo và chương trình ở cùng một vị trí. Điều này sẽ làm tăng đáng kể hiệu quả lập trình và tiết kiệm thời gian cho nhân viên lập trình.

Tự động xác định vị trí cặp

Thông qua hình ảnh tự động xác định vị trí và tự động bổ sung vị trí, từ đó thực hiện đo lường hoàn toàn tự động mà không cần can thiệp. Làm cho máy tính để bàn kiểm tra thủ công ban đầu biến thành thiết bị kiểm tra bán tự động có thể tự động đo lường và đưa ra báo cáo chỉ cần đặt miếng bằng tay. Chức năng nhận dạng vị trí tự động cũng là khả năng mà thiết bị kiểm tra rút thăm ngoại tuyến phải có để hướng tới công nghiệp 4.0.

Lên đến

500 Mpx

Mô-đun đo mở rộng

Mô-đun đo lường mở rộng của SensoSCAN cho phép người dùng dễ dàng xác định bố cục đo lường trên bề mặt với hình ảnh tổng quan. Khu vực khảo sát có thể được cắt tự động thành các khu vực hình chữ nhật, tròn hoặc vòng cần thiết. Thích hợp cho các phép đo diện tích lớn lên đến 500 megapixel. Cung cấp nhiều chiến lược quét, chẳng hạn như lấy nét tự động cho từng trường nhìn hoặc theo dõi tập trung để giảm thiểu phạm vi quét dọc.

Phần mềm phân tích mạnh mẽ

Chế độ xem tương tác 3D và 2D cung cấp nhiều tùy chọn tỷ lệ, hiển thị và hiển thị. Bộ dụng cụ đầy đủ có sẵn để kiểm tra và phân tích ban đầu các phép đo 3D hoặc 2D. Đo kích thước quan trọng, góc, khoảng cách, đường kính và sử dụng công cụ chú thích mới để làm nổi bật các tính năng.

Kiểm soát chất lượng nhanh

Thực hiện kiểm soát chất lượng nhanh trên dây chuyền sản xuất chưa bao giờ dễ dàng hơn thế. Nhờ SensoPRO, người vận hành dây chuyền sản xuất chỉ cần tải mẫu và làm theo hướng dẫn có hướng dẫn. Thuật toán phân tích dữ liệu dựa trên plugin cung cấp mức độ linh hoạt cao. Các mô-đun hoàn toàn mới có sẵn để dễ dàng tùy chỉnh để phù hợp với nhu cầu của các ngành công nghiệp khác.

Phần mềm phân tích nâng cao

SensoMAP là một công cụ phân tích và báo cáo mạnh mẽ được phát triển dựa trên công nghệ Mountains của Digital Surf. Phần mềm SensoMAP đã được mô-đun hóa để phù hợp với nhu cầu của khách hàng. SensoMAP cung cấp hai cấp độ (tiêu chuẩn và nâng cao) và nhiều mô-đun (mô-đun 2D, 3D hoặc 4D, hồ sơ nâng cao, hạt và hạt, thống kê và nối).