Bàn thăm dò hai mặt Semiprobe - Bàn thăm dò đo lường hai mặt

Bàn thăm dò hai mặt Semiprobe - Bàn thăm dò đo lường hai mặt Mô tả Sản phẩm:

Bàn thăm dò hai mặt Semiprobe - Bàn thăm dò hai mặt được sản xuất dựa trên thiết kế cấu trúc thích ứng của Hệ thống thăm dò được cấp bằng sáng chế của Semiprobe (PS4L), cung cấp tính linh hoạt và sức mạnh vô song. Hiện nay, ngày càng có nhiều ứng dụng yêu cầu khả năng phát hiện từ cả hai mặt của khuôn hoặc chip. Các giải pháp DSP của SemiProbe đáp ứng các nhu cầu sau:

• Đầu dò từ cả hai bên
• Đầu dò từ trên, đầu ra phát hiện từ dưới
• Đầu dò từ phía dưới, đầu ra phát hiện các yêu cầu kiểm tra hai mặt từ phía trên.

Bàn thăm dò hai mặt Semiprobe - Bàn thăm dò hai mặt không giống như các hệ thống thăm dò truyền thống, tất cả các mô-đun cơ bản của hệ thống này - bệ, giá đỡ mâm cặp, mâm cặp, giá đỡ kính hiển vi, chuyển động kính hiển vi, thành phần quang học, bộ điều khiển, v.v. đều được nâng cấp có thể thay thế. Điều này cho phép DSP cung cấp giải pháp hoàn hảo cho nhiều ứng dụng khác nhau. Thiết kế mô-đun độc đáo cho phép khách hàng có được hệ thống tùy chỉnh đáp ứng chính xác yêu cầu của họ. Hơn nữa, khi môi trường hoặc điều kiện thử nghiệm thay đổi, hệ thống đầu dò PS4L có thể dễ dàng được nâng cấp tại chỗ để đáp ứng các yêu cầu mới. So với thiết bị kiểm tra truyền thống, có thể giúp khách hàng tiết kiệm nhiều thời gian hơn, nhiều chi phí hơn.

Phát triển hệ thống thăm dò hai mặt (DSP):

Hệ thống thăm dò hai mặt (DSP) ban đầu được sử dụng cho hai ứng dụng: phân tích lỗi và thiết bị rời rạc. Việc áp dụng phân tích thất bại (FA) liên quan đến việc phát ra kính hiển vi đòi hỏi phải chạm vào đỉnh hoặc bề mặt chuyển động của wafer trong khi chụp ảnh từ phía bên kia bằng máy ảnh tăng cường hoặc hồng ngoại. Các wafer thường được gắn vào máy ảnh với mặt sau hướng lên trên, trong khi phần trên hướng xuống. Điều này đơn giản hóa quá trình tìm kiếm vị trí của sự cố và xác định nguyên nhân gốc rễ của sự cố. Một số công ty, bao gồm SemiProbe, có giải pháp cho ứng dụng này. Tùy thuộc vào loại kính hiển vi phát xạ và nhà sản xuất, một mặt của phát hiện có thể là mặt trên hoặc mặt dưới.

Loại hệ thống DSP thứ hai được sử dụng để phát hiện các thiết bị công suất cao riêng biệt, bao gồm thyristor, diode, chỉnh lưu, bộ ức chế điện áp, bóng bán dẫn công suất và/hoặc IGBT. Kết quả chính xác không thể đạt được bằng cách tiếp xúc mặt sau thông thường thông qua chuck bù đắp do công suất được sử dụng để kiểm tra các thiết bị này. Kết quả chính xác thu được bằng cách chạm vào mặt sau của DUT (thiết bị được thử nghiệm). Ngoài ra, nhiều đầu dò thường được yêu cầu do công suất được sử dụng trong các thử nghiệm này.

Khi ngành công nghiệp bán dẫn không ngừng phấn đấu để cải thiện hiệu suất của thiết bị trong khi giảm chi phí, các công nghệ mới đang trở thành xu hướng chính trong thiết kế và sản xuất sản phẩm đòi hỏi các giải pháp DSP - MEMS, quang điện tử, silicon thông qua lỗ và nhiều hơn nữa. Một ứng dụng DSP mới nổi khác liên quan đến các thiết bị gắn đầu mô phỏng năng lượng mặt trời trên hoặc dưới wafer để kích thích sự thiên vị ở phía bên kia. Trong công việc thiết kế và đặc tính, SemiProbe đã đi tiên phong trong một số giải pháp DSP sáng tạo để phát hiện các thiết bị này.

Thông số kỹ thuật của Semiprobe Double Sided Probe Probe - Double Sided Quantity Probe Table:

• Điện áp đầu vào: 110/220V 50/60Hz, 20A
• Không khí: Lưu lượng tối thiểu 100psi
• 真空： 23 Hg hoặc -0,8 bar
• Chuck theo dõi trục X-Y: điều khiển bằng tay hoặc lập trình
• Cú đánh: 205 * 205mm
• Chuck theo dõi trục Z: điều khiển bằng tay hoặc lập trình
• Đột quỵ: Lên đến 20mm
• θ chuyển động: hướng dẫn sử dụng (>30 °) hoặc điều khiển lập trình (± 4 °)
• Di chuyển bằng kính hiển vi: điều khiển bằng tay hoặc lập trình
• Cú đánh: 50x50mm-200x200mm
• Chuck Carrier: 75mm, 100mm, 150mm, 200mm
• Phần wafer
• Khay Chip
• Vật liệu tấm báo chí Nhôm với thép mạ niken
• Thành phần quang học:

1. Kính hiển vi: Hầu hết là zoom stereo, độ phóng đại 100x
2. Dưới cùng: Zoom kỹ thuật số
3. Máy ảnh: Cả hai thành phần quang học đều có camera CCTV được kết nối với màn hình bằng công tắc video

Phụ kiện tùy chọn:

Bao gồm bảng cách ly rung, hộp tối, thẻ thăm dò, bộ điều khiển, cánh tay phát hiện và đế, đầu dò, bộ phận quang học, hệ thống CCTV, các tàu sân bay wafer khác, v.v.