Kính hiển vi điện tử quét siêu phân giải cao Regulus Series

Có thể đàm phánCập nhật vào05/20

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Các model hiện tại là SU8240, SU8230, SU8220 và SU8010 được tái hợp thành Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 và Regulus 8100. "Dòng Regulus" kế thừa hiệu suất quan sát và phân tích của các mẫu máy hiện có, được trang bị súng điện tử bắn từ trường lạnh tiếng ồn thấp * 1 của dòng SU8200, cho phép dòng tia ổn định cao. Bằng cách tối ưu hóa hệ thống quang học điện tử, Regulus8240/8230/8220 tăng độ phân giải lên 0,7 nm trong điều kiện 1 kV và Regulus8100 lên 0,8 nm. Ngoài ra, để phát huy tối đa khả năng phân giải cực cao, độ phóng đại cũng tăng từ 1 triệu lần trước lên 2 triệu lần * 1. Regulus8240/8230/8220/8100 cũng hoàn thiện chức năng hỗ trợ người dùng, thông qua đó người dùng dễ dàng hiểu các nguyên tắc phát hiện tín hiệu phức tạp khác nhau, giúp người dùng phát huy tối đa hiệu suất của thiết bị. *1 Chỉ Regulus8240/8230/8220

Chi tiết sản phẩm

Kính hiển vi điện tử quét siêu phân giải cao Regulus Series

Tư vấn
In ấn

超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

Các model hiện tại là SU8240, SU8230, SU8220 và SU8010 được tái hợp thành Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 và Regulus 8100.

Dòng Regulus thừa hưởng hiệu suất quan sát và phân tích của các mẫu máy hiện có, được trang bị súng điện bắn từ trường lạnh có độ ồn thấp của dòng SU8200.^*1Có thể đạt được dòng chảy ổn định cao.

Bằng cách tối ưu hóa hệ thống quang học điện tử, Regulus8240/8230/8220 tăng độ phân giải lên 0,7 nm ở điều kiện 1 kV và Regulus8100 lên 0,8 nm.

Ngoài ra, để phát huy đầy đủ khả năng phân biệt siêu cao, độ phóng đại cũng tăng từ 1 triệu lần trước lên 2 triệu lần.^*1。
Regulus8240/8230/8220/8100 cũng hoàn thiện chức năng hỗ trợ người dùng, thông qua đó người dùng dễ dàng hiểu các nguyên tắc phát hiện tín hiệu phức tạp khác nhau, giúp người dùng phát huy tối đa hiệu suất của thiết bị.

*1: Chỉ Regulus8240/8230/8220

Tính năng
Thông số

Tính năng

Tiếp tục sử dụng súng trường lạnh của dòng SU8200^*2
Việc sử dụng các khu vực ổn định độ sáng cao xuất hiện bởi chùm electron sau khi Flashing làm khoảng quan sát ổn định, cho phép hiệu suất tối ưu của cả quan sát và phân tích độ phân giải cao trong điều kiện điện áp gia tốc thấp
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
Áp dụng ô nhiễm nhỏ, thùng mẫu chân không cao
Sử dụng bộ lọc năng lượng (tùy chọn), có thể quan sát nhiều thành phần tương phản^*2

Quan sát độ phân giải cao ở điện áp hạ cánh rất thấp

极低着陆电压下高分辨观察
Mẫu: Hạt vàng
Điện áp hạ cánh: 10 V

Quan sát độ phân giải siêu cao

超高分辨观察
Mẫu: Pt Catalyst
Điện áp tăng tốc: 30 kV

Phân tích EDX độ phân giải cao ở điện áp tăng tốc thấp

低加速电压下高分辨EDX分析
Mẫu: Sn Ball
Điện áp hạ cánh: 1,5 kV

*2: Chỉ Regulus8240/8230/8220

Thông số

Dự án			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
Độ phân giải điện tử bậc hai			0.7 nm (Điện áp tăng tốc 15 kV) 0.8 nm (Điện áp hạ cánh 1 kV)^*3	0,6 nm (điện áp tăng tốc 15 kV) 0,7 nm (điện áp hạ cánh 1 kV)^*3
Điện áp hạ cánh			0.1～2 kV	0.01～20 kV
Độ phóng đại			20-1.000.000 lần^*4	20 – 2.000.000 lần^*4
Bảng mẫu	Kiểm soát bảng mẫu		Bàn động cơ 3 trục (bàn động cơ 5 trục tùy chọn)	Động cơ 5 trục
	Phạm vi di chuyển	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
		Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
		R	360°
		T	-5～70°
		Z	1.5～30 mm		1.5～40 mm
	Tái tạo		-	-	-	Dưới ± 0,5 µm Bao gồm ± 0,5 µm

*3: Xem ở chế độ giảm tốc
*4: Độ phóng đại theo tiêu chuẩn 127 mm × 95 mm

Phân loại sản phẩm liên quan

Hệ thống chùm ion tập trung (FIB/FIB-SEM)
Thiết bị xử lý mẫu TEM/SEM

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị