Thanh Đảo làm sạch dự án

Thanh ĐảoKỹ thuật làm sạchĐiều này đề cập đến việc kiểm soát các sản phẩm (như chip silicon, v.v.) tiếp xúc với độ sạch của khí quyển và nhiệt độ và độ ẩm, để sản phẩm có thể được sản xuất và sản xuất trong một không gian môi trường tốt. Quá trình xây dựng thiết kế không gian môi trường này có thể được gọi là công trình làm sạch.

Thanh ĐảoKỹ thuật làm sạchPhân chiaPhòng sạch dòng chảy lộn xộn và phòng sạch dòng chảy một chiều

Tính năng chính của phòng sạch lộn xộn là phần lưu thông của luồng không khí không bao giờ chảy giữa dòng chảy ra (từ lỗ thông gió đến lỗ thông gió) thay đổi, và phần phòng sạch lớn hơn nhiều so với phần đầu thông gió, do đó không thể hình thành một luồng không khí tốc độ đồng đều trong toàn bộ phần phòng hoặc trong toàn bộ phần khu vực làm việc của phòng. Vì vậy, dòng chảy sau lỗ thông gió có góc kẹp rất lớn hoặc càng lúc càng lớn với nhau, bán kính cong rất nhỏ, luồng không khí trong nhà không thể chảy theo một hướng, sẽ va chạm với nhau, sẽ có dòng chảy ngược, xoáy tạo ra. Điều này quyết định chất lỏng của phòng sạch sẽ là: dòng đột biến; Dòng chảy không đồng đều.

Điều này chính xác và toàn diện hơn so với việc sử dụng rối loạn để mô tả một phòng sạch lộn xộn. Dòng chảy rối loạn chủ yếu được xác định bởi số Reynolds, có nghĩa là nó chủ yếu bị ảnh hưởng bởi tốc độ dòng chảy, nhưng nếu một bộ lọc được cung cấp trên đầu trang của hình thức cung cấp gió, sau đó ngay cả khi tốc độ dòng chảy rất thấp, để tạo ra các kết quả khác nhau ở trên, đó là bởi vì nó là một dòng chảy đột biến và dòng chảy không đồng đều. Bởi vậy trong tình huống này không chỉ có sự trộn lẫn giữa các tầng lưu thông bởi vì dòng chảy hỗn loạn mà phát sinh, mà còn có sự trộn lẫn của dòng chảy lớn, xoáy nước trong phạm vi toàn bộ phòng.

Phòng sạch dòng chảy một chiều

Phòng sạch dòng chảy một chiều thường có hai loại, đó là dòng chảy ngang và dòng chảy dọc. Trong một hệ thống dòng chảy ngang, luồng không khí là dòng chảy từ tường này sang tường khác. Trong một hệ thống dòng chảy thẳng đứng, luồng không khí là dòng chảy từ trần nhà xuống mặt đất. Đối với những trường hợp yêu cầu nồng độ hạt lơ lửng trong phòng sạch hoặc nồng độ vi sinh vật thấp hơn, luồng không khí một chiều được sử dụng. Trước đây, loại phòng sạch này được gọi là phòng sạch "Laminar Flow". Tên của dòng chảy một chiều và dòng chảy tầng mô tả tình trạng của dòng chảy của nó: dòng chảy theo một hướng (hoặc theo chiều dọc hoặc chiều ngang) và đi qua toàn bộ không gian với tốc độ trung bình từ 0,3 m/s đến 0,5 m/s (60 ft/phút đến 100 ft/phút). Đưa gió vào phòng bằng bộ lọc từ trần nhà bằng vải sạch. Luồng không khí, giống như một piston không khí, chảy xuống bên trong, mang theo các chất ô nhiễm và sau đó thoát ra khỏi mặt đất. Lại sau khi trộn lẫn với một ít không khí trong lành bên ngoài, tái tuần hoàn đến bộ lọc. Ô nhiễm lơ lửng do con người và quy trình tạo ra có thể được loại bỏ ngay lập tức bằng không khí này, trong khi hệ thống thông gió hỗn loạn sử dụng nguyên tắc trộn và pha loãng. Trong một căn phòng trống không có chướng ngại vật, dòng chảy một chiều sử dụng tốc độ gió thấp hơn nhiều so với những gì đã đề cập trước đó có thể nhanh chóng loại bỏ các chất gây ô nhiễm. Nhưng trong một thao tác, máy móc và nhân viên đi lại xung quanh máy móc, sẽ tạo thành chướng ngại vật đối với luồng không khí. Các chướng ngại vật có thể biến dòng chảy một chiều thành hỗn loạn, do đó tạo thành một khối không khí xung quanh chướng ngại vật. Hoạt động của con người cũng có thể biến dòng chảy một chiều thành dòng chảy hỗn loạn. Trong những rối loạn này, không khí ít pha loãng hơn do tốc độ gió thấp hơn, do đó làm cho nồng độ ô nhiễm cao hơn. Do đó, tốc độ gió phải được duy trì trong khoảng từ 0,3 m/s đến 0,5 m/s (60 ft/phút đến 100 ft/phút) để dòng chảy một chiều bị gián đoạn có thể nhanh chóng phục hồi, pha loãng đầy đủ ô nhiễm từ các khu vực hỗn loạn xung quanh chướng ngại vật. Sử dụng tốc độ gió có thể biểu thị chính xác dòng chảy một chiều, bởi vì tốc độ gió càng cao thì bên trong càng sạch sẽ. Và số lần thay đổi không khí mỗi giờ có liên quan đến thể tích của căn phòng, chẳng hạn như độ cao và độ cao của trần nhà, vì vậy nó không thích hợp để biểu thị dòng chảy một chiều. Lượng không khí được cung cấp trong buồng một chiều cao gấp nhiều lần (10 đến 100 lần) so với buồng rối loạn.