Máy phân tích ozone quá trình Thiết bị làm sạch khô bán dẫn đặc biệt

Máy phân tích ozone quá trình Thiết bị làm sạch khô bán dẫn đặc biệtLà một mô-đun phát hiện khí để đo nồng độ ozone cao, được sử dụng để phát hiện nồng độ ozone trong khí trong các quy trình công nghiệp. Thiết kế dựa trên nguyên tắc hấp thụ quang phổ UV, sử dụng khí ozone cho các lực hấp thụ UV cụ thể có kích thước khác nhau để đạt được mục đích phát hiện nồng độ ozone, sử dụng cấu trúc buồng phát hiện chịu áp lực cao và thiết kế điều khiển nhiệt độ không đổi, có độ chính xác và độ tin cậy.

Lĩnh vực ứng dụng

Dụng cụ này chủ yếu được sử dụng để đo nồng độ ozone khí được tạo ra trong quá trình sản xuất chip bán dẫn, xử lý nước và nghiên cứu ozone, v.v. Phạm vi đo có thể đạt được0-400mg / L。

Sản phẩm TĐiểm
①Độ ổn định cao;

②Áp dụng hệ thống điều khiển tự động;

③Thiết kế vật liệu tiếp xúc có độ tinh khiết cao;

④Nhiệt độ, áp suất、nguồn sángThời gian thựcbồi thườngDữ liệu ổn định và chính xác trong các môi trường khác nhau;

⑤Thiết kế đường dẫn khí, làm cho việc lắp đặt sản phẩm thuận tiện hơn;

⑥Vòng đệm được làm bằng vật liệu perfluoroether, chống ăn mòn ozone hơn.

Máy phân tích ozone quá trình Thiết bị làm sạch khô bán dẫn đặc biệtCông nghệtham số
Số lượng Trình:0-400 mg / L
tinh độ：1% FS
nặng Phục hồiTình dục：1% FS

không trôi Chuyển:1% FS/tháng
Thời gian đáp ứng：2 giây đến 95%

Lưu lượng khí:0,5-25L / phút

Phạm vi áp suất:0-115psi
Đầu ra analog：0-5V

Thông tin liên lạc:RS485， Tốc độ truyền 9600bps

Đầu vào nguồn:15V

Nhận 口：Đầu nối thép không gỉ 316L 1/4VCR

Thời gian khởi động:15 phút

Nhiệt độ làm việc:5～45℃

Nhiệt độ tiêu chuẩn:0℃
thước Thốn:170*55*134.9mm
nặng Số lượng:1.1k