Hệ thống đánh bóng mài chính xác

Dòng DL là LogitechVớiGiải pháp gia công sáng tạo, là hệ thống chuẩn bị mẫu thông minh tự động hóa cao mới nhất. Hệ thống này cung cấp khả năng kiểm soát tải động của các kẹp khí nén thông minh của Logitech, cho phép kết quả nhanh chóng, đáng tin cậy và chính xác cao trong một loạt các ứng dụng bán dẫn.

* Tự động hóa làm giảm đáng kể thời gian thiết lập và dọn dẹp, trong khi phần mềm tích hợp cung cấp một nền tảng thân thiện với người dùng với các chức năng gia công chính xác, có kiểm soát. Kẹp khí nén thông minh của Logitech sử dụng áp suất không khí để áp dụng áp suất xuống đến 40 kg lên collets và có thể đạt tốc độ quay lên đến 100 vòng/phút, đảm bảo hiệu quả tải mẫu tuyệt vời trong suốt quá trình. Những tính năng này có thể đáp ứng nhu cầu của ngay cả những ứng dụng đòi hỏi khắt khe nhất.

Có sẵn trong hai cấu hình: mô hình DL81 với một trạm làm việc duy nhất; Mô hình DL82 với hai trạm làm việc. Hệ thống độc lập với các tấm có đường kính 600/700 mm. Tối đa hai kẹp khí nén chính xác có thể được chạy đồng thời để xử lý một mẫu lớn hoặc nhiều mẫu nhỏ hơn. Kích thước tối đa cho các mẫu cố định kẹp có thể đạt 8 inch/200 mm hoặc 12 inch/300 mm cho các mẫu mài tự do.

Kẹp mài điện, có khả năng đạt được độ chính xác hình học cao và duy trì vòng quay ổn định của mẫu trong suốt quá trình, dẫn đến tính đồng nhất wafer tuyệt vời và có thể lặp lại.

Các kẹp khí nén chính xác có hệ thống hiệu chuẩn áp suất dưới chuck tích hợp và cánh tay nâng kẹp tự động có thể gắn kẹp vào và ra khỏi tấm và lật nó để chuck quay mặt lên để người vận hành có thể xử lý mẫu. Kẹp này có thể được lập trình để tự động nâng lên khi đạt được số lượng loại bỏ mục tiêu - cho phép hoạt động tự động và ngăn chặn quá mức. Tỷ lệ loại bỏ vật liệu (MRR) có thể được theo dõi và kiểm soát đến mức độ chính xác micron. Màn hình độ dày tấm tại chỗ sẽ đánh giá và kiểm soát trạng thái của bảng. Đang xử lý. Giao thức EtherCAT được quốc tế công nhận được sử dụng để cho phép giao tiếp với các đơn vị truyền động chính để xác định các thông số hữu ích cho việc giám sát và chẩn đoán máy, trong khi đèn hiệu giao thông công nghiệp cung cấp cảnh báo trạng thái máy. Có thể chứa tối đa bốn xi lanh để xử lý nhiều giai đoạn. Một xi lanh tăng công suất 3,8 lít có nghĩa là một quá trình gia công dài hơn, không bị gián đoạn, có thể được sử dụng để nghiền và đánh bóng bùn. Đơn vị cấp liệu mài mòn được đo bằng máy bơm nhu động, cho phép người vận hành thiết lập dòng chảy từ 5 đến 100 ml mỗi phút. Điều này làm tăng đáng kể chất lượng và độ chính xác của kết quả, đồng thời giảm lãng phí và chi phí vận hành. Hệ thốnglàĐóng kín và kín với một ống xả (đường kính 150 mm), cho phép lắp đặt các kết nối chiết xuất để xử lý các vật liệu nguy hiểm như gallium arsenide (GaAs) hoặc indium phosphate (InP). Được trang bị cần cẩu bảo trì để mang các tấm mài và đánh bóng một cách an toàn và dễ dàng. Nó có thể được nâng từ mặt đất lên khu vực làm việc với trọng lượng nâng tối đa lên đến 200 kg và khoảng cách kéo dài 380 mm. Các thông số quá trình được phân tích và kiểm soát theo thời gian thực, bao gồm cả nguồn cấp dữ liệu mài mòn, thông qua giao diện người dùng đồ họa (GUI) của hệ thống. Màn hình hiển thị 15 inch và giao diện người dùng màn hình cảm ứng. Chế độ này cho phép người vận hành tạo, lưu và gọi các công thức quy trình nhiều giai đoạn, đảm bảo mỗi quy trình quy trình có thể được lặp lại, ngay cả dưới các hoạt động khác nhau của người vận hành. Hệ thống Logiwaste tích hợp này có thể xử lý chất thải bùn một cách hiệu quả. Bể lắng nặng được kết nối kín với đĩa nhỏ giọt để ngăn khí thoát ra và được kết nối theo cách dễ dàng tháo rời và loại bỏ để xử lý. Bể lắng nặng được kết nối với bể lắng trung gian và bể chứa chất lỏng.