Kính hiển vi lực nguyên tử Parker NX20

Công cụ đo lường nano cao cấp giúp phân tích lỗi và nghiên cứu mẫu lớn

Là một kỹ sư phân tích khiếm khuyết, nhiệm vụ của bạn là cung cấp kết quả. Và dữ liệu mà thiết bị của bạn cung cấp không thể cho phép bất kỳ lỗi nào tồn tại. Park

NX20， Kính hiển vi lực nguyên tử mẫu lớn tinh vi nhất thế giới này được đánh giá cao trong ngành công nghiệp bán dẫn và ổ cứng nhờ độ chính xác dữ liệu tuyệt vời.

Giải pháp phân tích lỗi mạnh mẽ hơn

Park

NX20 được trang bị các tính năng độc đáo để dễ dàng tìm ra nguyên nhân gây ra lỗi thiết bị và giúp phát triển các giải pháp sáng tạo hơn. Độ chính xác mang lại cho bạn dữ liệu có độ phân giải cao, cho phép bạn tập trung hơn vào công việc. Trong khi đó, True

Non-Contact ™ Chế độ quét (thực sự không tiếp xúc) cho phép đầu dò ** sắc nét hơn và bền hơn mà không mất nhiều thời gian và ** để thay thế thường xuyên.

Hoạt động đơn giản, lợi ích của các kỹ sư cấp nhập cảnh

Với thiết kế thân thiện và giao diện tự động, Park NX20 cho phép bạn sử dụng nó mà không cần tốn nhiều thời gian và công sức, cũng như không cần giám sát các kỹ sư mới vào thời điểm này. Với bộ tính năng này, bạn có thể tập trung hơn vào việc giải quyết các vấn đề lớn hơn và cung cấp cho khách hàng phân tích lỗi kịp thời và sâu sắc.

Thông tin kỹ thuật:Đo tường bên cho nghiên cứu cấu trúc 3DCấu trúc ** của NX20 cho phép bạn phát hiện các bức tường bên và bề mặt của mẫu và đo góc. Nhiều tính năng và công dụng chỉ là những gì bạn cần cho nghiên cứu tình dục và cái nhìn sâu sắc.

Đo độ nhám bề mặt

-

Phương tiện và ma trận

Đo độ nhám bề mặt là một trong những ứng dụng chính của Park NX20, mang lại phân tích lỗi và đảm bảo chất lượng.

Chế độ quét điện độ phân giải cao* Kính hiển vi điện dung quét nhanh

Không có kính hiển vi lực nguyên tử dẫn điện ma sát bên

True Mẫu Topography ™ (

Quét mẫu thực), để lại creep áp điện không bị phát hiệnKính hiển vi lực nguyên tử của chúng tôi được trang bị đầu dò trục Z có tiếng ồn thấp hiệu quả, băng thông tiếng ồn rộng chỉ 0,02nm. Điều này có thể mang lại hình dạng mẫu siêu ** không bị ảnh hưởng bởi tác động dọc theo và không cần hiệu chuẩn. Đây chỉ là một trong những cách mà kính hiển vi năng lượng nguyên tử Park giúp bạn tiết kiệm thời gian và mang lại dữ liệu tốt hơn.

Đặc điểm kỹ thuật:

Máy quét hướng dẫn linh hoạt 2D, siêu lớn

100

Mm x 100 μm

Phạm vi quét

Máy quét trục XY có tính linh hoạt hai chiều đối xứng và xếp chồng áp điện cường độ cao, cho phép chuyển động trực giao cao cũng như độ phản hồi cao khi quét mẫu nano với ít chuyển động ngoài mặt phẳng * được duy trì.Cảm biến vị trí tiếng ồn thấpMáy dò trục Z tiếng ồn thấp vượt trội của ngành thay thế điện áp Z như tín hiệu hình dạng. Ngoài ra, quét vòng kín XY tiếng ồn thấp làm giảm khoảng cách quét chuyển tiếp và quét ngược xuống dưới 0,15% phạm vi quét.

Tự động quét bước

Với bàn mẫu điện, chế độ quét bước cho phép người dùng tự lập trình hình ảnh đa vùng. Trong quá trình chụp ảnh lặp đi lặp lại, tính năng tự động này làm giảm công việc của người dùng, dẫn đến năng suất cao hơn.

Trượt kết nối Ultra Radiant Light Diode

(SLD)24Tự động tải và dỡ ống kính

Thiết kế theo dõi kiểu đuôi én để dễ dàng thay thế ống kính hiển vi lực nguyên tử. Thiết kế này tự động khóa ống kính vào một vị trí được sắp xếp sẵn và kết nối nó với một linh kiện điện tử điều khiển với độ chính xác định vị lặp đi lặp lại chỉ vài micron. Với khả năng kết hợp thấp của điốt phát quang siêu bức xạ (SLD), kính hiển vi có thể chụp ảnh bề mặt phản chiếu cao và đo chính xác quang phổ lực pico-Newton. Ngoài ra, bước sóng của điốt phát quang siêu bức xạ cũng giải quyết được vấn đề nhiễu, cho phép người dùng sử dụng kính hiển vi lực nguyên tử trong các thí nghiệm phổ nhìn thấy được theo ý muốn.^{Chế độ kính hiển vi đầu dò quét cao cấp và khe mở rộng tùy chọn}Chỉ cần cắm mô-đun tùy chọn vào khe mở rộng và bạn có thể kích hoạt chế độ kính hiển vi đầu dò quét cao cấp. Khả năng tương thích của các dòng sản phẩm của nó được cải thiện đáng kể nhờ thiết kế mô-đun của kính hiển vi lực nguyên tử dòng NX.

cao tốcBộ điều khiển điện tử bitTất cả các kính hiển vi lực nguyên tử của dòng NX đều được điều khiển và xử lý bởi cùng một bộ điều khiển điện tử NX. Bộ điều khiển này là một thiết bị điện tử tốc độ cao 24 bit, kỹ thuật số hoàn toàn, có khả năng đảm bảo ParkTrue Non-Contact24TM

Độ chính xác và tốc độ hình ảnh trong chế độ. Với thiết kế tiếng ồn thấp và bộ xử lý tốc độ cao, bộ điều khiển này là lựa chọn tốt nhất cho hình ảnh nano và đo dòng điện áp *. Xử lý tín hiệu kỹ thuật số nhúng cho kính hiển vi lực nguyên tử mang lại chức năng phong phú hơn, nâng cao hơn nữa tỷ lệ giá cả, là lựa chọn tốt nhất cho các nhà nghiên cứu hàng đầu.

XY

và

Z

Máy dò trục

Giải pháp tín hiệu bit

Trục XY (50)

Độ phân giải (μm) là 0,003

nmĐộ phân giải 0,001 cho trục Z (15μm)nmChức năng xử lý tín hiệu kỹ thuật số nhúng

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

Kiểm soát Q kỹ thuật sốCổng tín hiệu tích hợpCổng đầu vào/đầu ra tín hiệu lập trình chuyên dụng

7 cổng đầu vào và 3 cổng đầu ra

cao tốc

Z

Máy quét trục, phạm vi quét15 μmVới sự trợ giúp của xếp chồng áp điện cường độ cao và cấu trúc linh hoạt, máy quét trục Z tiêu chuẩn có tần số cộng hưởng lên đến hơn 9 kHz (thường là 10,5)

kHz) và tốc độ di chuyển trục Z của đầu dò không thấp hơn 48

mm/giây, để phản hồi thông tin chính xác hơn. * Phạm vi quét trục Z lớn có thể được mở rộng từ tiêu chuẩn 15μm đến 40μm (tùy chọn khoảng cách máy quét trục Z).điện độngXY

Bàn mẫu trục, bộ mã hóa tùy chọn