MEMS và công nghệ nano

MEMS và công nghệ nano

Hệ thống cơ điện nhỏ (MEMS) ngày nay được sử dụng trong nhiều lĩnh vực ứng dụng, bao gồm cảm biến áp suất và gia tốc, thiết bị hiển thị ống kính vi tinh thể và máy bơm chất lỏng nhỏ. Các thiết bị MEMS tận dụng tối đa các kỹ thuật sản xuất được sử dụng trong ngành công nghiệp mạch tích hợp để tạo ra các thành phần cơ học như bánh răng, màng ngăn và dầm kết hợp. Đo lường chính xác tất cả các thành phần này là rất quan trọng để đáp ứng các yêu cầu sản xuất hàng loạt của các đơn vị MEMS với chi phí thấp và chất lượng cao.

Đo lường

Độ nhám
Bằng cách đo chính xác độ nhám bên trong thiết bị MEMS, các tương tác của bề mặt có thể được kiểm soát - cho dù đó là tương tác giữa chất rắn và chất rắn trong một hệ thống bánh răng nhỏ hoặc giữa chất rắn và chất lỏng trong một máy bơm chất lỏng nhỏ.

Chiều cao bước
Giám sát chiều cao bước của thiết bị MEMS là một chỉ số hiệu suất quan trọng. Chiều cao bước, cùng với thông tin kích thước bên, có thể cung cấp một xấp xỉ khối lượng hiệu quả, có thể ảnh hưởng đến tần số dao động cơ bản của từng phần tử trong thiết bị.

Kích thước ngang
Kích thước ngang đặc biệt quan trọng khi nói đến chất lượng của các thiết bị thu nhỏ và hệ thống chất lỏng. Các phép đo chính xác về khối lượng và diện tích bề mặt, cũng như các kích thước quan trọng như chiều rộng chùm tia, giúp kiểm soát hiệu suất của * thiết bị cuối cùng.