Máy quét laser 3D tốc độ cao diện tích lớn

Có thể đàm phánCập nhật vào05/06

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Máy quét laser 3D tốc độ cao diện tích lớn NS-3500 là kính hiển vi quét laser đồng tiêu tốc độ cao (CLSM) đo lường ba chiều (3D) chính xác và đáng tin cậy. Hình ảnh hiển vi co-focus thời gian thực đạt được thông qua mô-đun quét quang học nhanh và thuật toán xử lý tín hiệu. Có các giải pháp * trong việc đo lường và phát hiện các cấu trúc ba chiều vi mô như chip bán dẫn, sản phẩm FPD, thiết bị MEMS, chất nền thủy tinh, bề mặt vật liệu, v.v.

Chi tiết sản phẩm

Sản phẩm NS-3500LMáy quét laser 3D tốc độ cao diện tích lớnLà một loại chính xác, đáng tin cậy.Máy quét laser 3D tốc độ cao diện tích lớn. Hình ảnh hiển vi co-focus thời gian thực đạt được thông qua mô-đun quét quang học nhanh và thuật toán xử lý tín hiệu. Có các giải pháp * trong việc đo lường và phát hiện các cấu trúc ba chiều vi mô như chip bán dẫn, sản phẩm FPD, thiết bị MEMS, chất nền thủy tinh, bề mặt vật liệu, v.v.

Features&Benefits (Hiệu suất&Lợi ích):

Độ phân giải cao Không có thiệt hại Quang 3D Đo lường Tự động Nghiêng Bồi thường

Chế độ phân tích dữ liệu đơn giản cho hình ảnh co-focus thời gian thực

Nhiều Zoom quang học Dual Z Scan

Phát hiện tính năng của chất nền mờ nối rộng

Hình ảnh trường mở CCD thời gian thực và hình ảnh co-focus không chuẩn bị mẫu

Tự động lấy nét

Lĩnh vực ứng dụng (Application field):

NS-3500 là một giải pháp đầy hứa hẹn để đo các vật liệu có chiều thấp.

có thể đo chiều cao, chiều rộng, góc, diện tích và khối lượng của cấu trúc micron và submicron, ví dụ

- Chất bán dẫn: đồ họa IC, chiều cao lồi, chiều cao cuộn dây, phát hiện lỗi, quy trình CMP

- Sản phẩm FPD: Phát hiện màn hình cảm ứng, mẫu ITO, chiều cao khoảng cách cột LCD

- Thiết bị MEMS: Cấu trúc 3D, độ nhám bề mặt, đồ họa MEMS

- Bề mặt kính: pin mặt trời màng mỏng, kết cấu pin mặt trời, mô hình laser

- Nghiên cứu vật liệu: phát hiện bề mặt khuôn, độ nhám, phân tích vết nứt

Specification (Thông số kỹ thuật):

Mô hình	Kính hiển vi NS-3500						Ghi chú
	Bộ điều khiển NS-3500E
Độ phóng đại mục tiêu		10 lần	20 lần	50 lần	100x	150x
Phạm vi quan sát/đo lường	Mức (H): μm	1400	700	280	140	93
	垂直 (V): μm	1050	525	210	105	70
Phạm vi làm việc: mm		16.5	3.1	0.54	0.3	0.2
Khẩu độ số (N.A.)		0.30	0.46	0.80	0.95	0.95
Zoom quang học		X1 đến X6
Tổng độ phóng đại		178x to 26700x
Hệ thống quang học quan sát/đo lường		Hệ thống quang học đồng tập trung Pinhole
Đo chiều cao	Đo phạm vi quét	Quét tốt: 400μm (và/hoặc) Quét dài: 10 mm [NS-3500-S]
		Quét dài: 10mm [NS-3500-T]
	Hiển thị độ phân giải	0,001 μm
	Tỷ lệ lặp lại σ	0,010 μm					Ghi chú 1
Đo chiều rộng	Hiển thị độ phân giải	0,001 μm
	Tỷ lệ lặp lại 3σ	0,02 μm					Ghi chú 2
Bộ nhớ khung	Điểm ảnh	1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96
	Ảnh đơn sắc	12 bit
	Ảnh màu	8-bit cho mỗi RGB
	Đo chiều cao	16 bit
Tốc độ khung	Quét bề mặt	20 Hz đến 160 Hz
	Quét dòng	~ 8 kHz
Chức năng tự động		Tự động tăng
Nguồn sáng đo co-focus laser	Bước sóng	Số lượng 405nm
	đầu ra	~ 2mW
	Lớp laser	Lớp 3b
Phần tử nhận laser		PMT (ống nhân quang)
Nguồn sáng quan sát quang học	đèn	Đèn LED 10W
Camera quan sát quang học	Yếu tố hình ảnh	Cảm biến CCD hình ảnh màu 1/2 "
	Độ phân giải ghi	640x480
	Điều chỉnh tự động	Tốc độ màn trập, White Balance
Đơn vị xử lý dữ liệu		máy tính
nguồn điện	điện áp nguồn	100 to 240 VAC, 50/60 Hz
	Tiêu thụ hiện tại	Tối đa 500 VA
trọng lượng	kính hiển vi	Khoảng ~50 kg (Đơn vị đầu đo: ~ 12 kg)
	bộ điều khiển	~ 8 kg

Lưu ý 1: 100 phép đo được thực hiện trên mẫu tiêu chuẩn (bước 1 μm) với mục tiêu 100 ×/0,95

CHÚ THÍCH 2: 100 phép đo được thực hiện trên mẫu tiêu chuẩn (khoảng cách 5 μm) với mục tiêu 100 × 0,95.

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị