Máy đo nhiệt độ LPE EX-S-3FP

Có thể đàm phánCập nhật vào05/07

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Máy đo nhiệt độ LPE EX-S-3FP Dòng BASF EXACTUS Dòng sản phẩm nhiệt kế, được sử dụng rất nhiều trên các loại máy LPE (loại khoang phản ứng nửa mặt trăng), là thành phần cốt lõi được sử dụng trong hệ thống đo nhiệt độ cơ sở lò mở rộng SIC.

Chi tiết sản phẩm

đặc điểm chính

Đo nhiệt độ thấp bằng sóng ngắn	Độ chính xác cao, độ phân giải lên đến 0,01 ºC, độ chính xác đo nhiệt độ 1,5 ºC
Độ lặp lại nhiệt độ 0,1ºC, độ trôi nhiệt độ không cao hơn 0,1ºC/năm	Tốc độ đo 1.000 giá trị/giây
Đầu ra kỹ thuật số/hoặc analog, dễ dàng tích hợp vào hệ thống điều khiển

Mô tả chi tiết

Máy đo nhiệt độ LPE EX-S-3FPSản phẩm BASF EXACTUS Series BASF Exactus ® Công nghệ hồng ngoại ban đầu có nhiều lợi thế trong việc kiểm soát sự đồng nhất của nhiệt độ và độ dày màng giữa các wafer: điện tử nhạy cảm cao và công nghệ quang học tuyệt vời có nghĩa là năng lượng bức xạ có thể được đo bằng máy dò bước sóng ngắn hơn, điều này làm giảm sai số do truyền wafer và độ phát xạ. Ngoài ra, đo tốc độ cao và độ phân giải cao đảm bảo hiệu suất tuyệt vời của việc kiểm soát nhiệt độ và ức chế tiếng ồn, do đó cung cấp giám sát nhiệt độ wafer tốt hơn và quy trình sản xuất.

BASF Exactus ® Loạt thiết bị đo nhiệt độ đã được sử dụng rộng rãi trong các quy trình bán dẫn như ủ nhanh, oxy hóa nhanh, lắng đọng màng và được tích hợp trên nhiều thiết bị MOCVD cũng như các thiết bị RTP khác như AIXTRON, LPE, Premtek, v.v. Ngoài ra, do độ chính xác và ổn định nhiệt độ cao, nó cũng được sử dụng bởi một số nhà sản xuất lò nung đen nhiệt độ cao như bộ tiêu chuẩn nhiệt độ, chẳng hạn như Thermogauge.

Máy đo nhiệt độ LPE EX-S-3FPToàn bộ cấu hình bao gồm cảm biến EI110, sợi quang, mô-đun kỹ thuật số IFD5, mô-đun tương tự IFA5, bút kích thích màu xanh lá cây, cáp hỗ trợ và giá đỡ gắn tương ứng. Độ chính xác lên đến 1,5 ℃, độ lặp lại 0,1 ℃.

Ứng dụng tiêu biểu

Kiểm soát nhiệt độ RTP	MOCVD Kiểm soát nhiệt độ
Kiểm soát nhiệt độ MBE	Tiêu chuẩn nhiệt độ

Thông số kỹ thuật

Thông số đo lường
Phạm vi nhiệt độ:	130 – 2200℃
Bước sóng làm việc:	700 - 1650 nm
Độ chính xác đo:	Tốt hơn 1,5 ℃ hoặc 0,15% đo lường
Độ phân giải:	最高0.01℃
Độ chính xác lặp lại:	0.1℃
Độ trôi nhiệt độ:	Tối đa 0,10 ℃/năm Môi trường: 0,05 ℃/℃ @ 20-45 ℃, 0,10 ℃/℃ @ nhiệt độ khác
Tỷ lệ đo:	Tối đa 1000 phép đo/giây, thời gian đáp ứng 1ms
Ống kính	Độ dài tiêu cự cố định, đường dẫn ánh sáng có thể được tùy chỉnh.

Thông số vật lý
Cung cấp điện:	12-28 VDC, 3W
Nhiệt độ lưu trữ:	-20 đến 70 ℃
Nhiệt độ môi trường:	Thiết bị điện tử: 0 - 60 ℃ Ống kính chuyên dụng trong môi trường khắc nghiệt: 0 - 250 ℃ Sợi nhiệt độ cao: 0 - 250 ℃
Vật liệu vỏ:	Cảm biến và vỏ ống kính, thép không gỉ 304/nhôm; Vỏ khí thổi, nhôm; Ống kính đặc biệt cho môi trường khắc nghiệt: thép không gỉ 304;
trọng lượng	Nhiệt kế tiêu chuẩn, 0,510 kg (1,125 lbs.) Cảm biến sợi quang, 0,198 kg (7 oz.)

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị