-
Thông tin E-mail
sem@primesci.com
-
Điện thoại
18621025556
-
Địa chỉ
Phòng 201, Tòa nhà số 8, 777 Đường Long Ngô
Thượng Hải Shujun Instrument Equipment Co, Ltd
sem@primesci.com
18621025556
Phòng 201, Tòa nhà số 8, 777 Đường Long Ngô
Bộ điều nhiệt quá trình nhiệt điện LAUDA-Noah POU được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn, cung cấp kiểm soát nhiệt độ từ -20 đến 90C
Đáp ứng quá trình xử lý đòi hỏi kiểm soát nhiệt độ và nhanh chóng
Hệ thống kiểm soát nhiệt độ sử dụng nhiệt điện trực tuyến (POU) cung cấp kiểm soát nhiệt độ ổn định cho quá trình khắc plasma. Hệ thống tự động kiểm soát nhiệt độ của mâm cặp tĩnh điện (ESC) và có thể được sử dụng trong bất kỳ quá trình khắc nào. Cơ sở cho thiết kế hệ thống điều khiển nhiệt độ nhiệt điện LAUDA-Noah POU dựa trên nguyên tắc thay đổi nhiệt độ của các thành phần Paltier. Những bản gốc này cho phép kiểm soát nhiệt độ nhanh và chính xác, đáp ứng các yêu cầu của các thiết bị sản xuất ngày càng nhỏ hơn.
Chức năng quan trọng
Hệ thống tiêu thụ năng lượng thấp mà không có máy nén và chất làm lạnh
Khu vực công nghiệp có diện tích sàn nhỏ, không có yêu cầu về không gian sàn nếu đặt dưới sàn
Lượng chất lỏng dẫn nhiệt rất thấp
Phụ kiện tiêu chuẩn
Bể chứa chất lỏng với bơm tay
Phụ kiện tùy chọn
Mô-đun truyền thông có thể được điều khiển từ xa (Giao thức truyền thông RS-485)
Hệ thống kiểm soát nhiệt độ sử dụng trực tuyến LAUDA-Noah POU (POU) có thể tiết kiệm tới 90% năng lượng so với hệ thống máy nén. Tùy chọn cài đặt tùy chọn dưới sàn làm cho dấu chân của hệ thống nhỏ, tiết kiệm không gian trong phòng sạch.