Thiết bị nước siêu tinh khiết IC

Trong chất lượng nước siêu tinh khiết của mạch tích hợp quy mô lớn, các chỉ số chất lượng nước được ưu tiên chú ý là: điện trở suất, TOC、 Silicon, hạt, kim loại nặng, oxy hòa tan, kim loại kiềm và như vậy, các chất này sẽ hòa tan trong nước, và trong quá trình sản xuất chip mạch tích hợp, chất lượng nước được sử dụng trong thành phần ion càng nhiều, thì tác động của quá trình sản xuất sản phẩm càng lớn, do đó, mức tiêu thụ sản phẩm giảm.

Thiết bị nước siêu tinh khiết của mạch tích hợp thường được sử dụng để làm sạch nguyên liệu bán dẫn công nghiệp và các dụng cụ được sử dụng, sản xuất tấm mặt nạ in thạch bản và nguồn hơi nước cho quá trình oxy hóa tấm silicon, v.v. Ngoài ra, việc chế tác ống chân không, màng dày và mạch màng mỏng, linh kiện điện tử trạng thái rắn, mạch in cũng cần sử dụng nước siêu tinh khiết. Với sự phát triển liên tục của khoa học và công nghệ, tích hợp mạch tích hợp ngày càng tăng và các yêu cầu về chất lượng nước cũng tăng lên, do đó làm cho quá trình xử lý nước siêu tinh khiết và tính bền vững của sản phẩm, tính liên tục của sản xuất, tự động hóa thiết bị và đơn giản yêu cầu nghiêm ngặt hơn.

Quy trình công nghệ:

Nước thô → Bơm áp lực nước thô → Bộ lọc đa phương tiện → Bộ lọc than hoạt tính → Làm mềm nước → Bộ lọc chính xác → Giường lọc nhựa nam → Giường lọc nhựa nữ → Giường trộn nhựa Yin Yang → Bộ lọc vi mô → Điểm nước
Nước thô → Bơm áp lực nước thô → Bộ lọc đa phương tiện → Bộ lọc than hoạt tính → Làm mềm nước → Bộ lọc chính xác → Thẩm thấu ngược giai đoạn đầu → Điều chỉnh PH → Bể trung gian → Thẩm thấu ngược giai đoạn thứ hai (bề mặt màng thẩm thấu ngược có điện tích dương) → Bể nước tinh khiết → Bơm nước tinh khiết → Bộ lọc vi mô → Điểm nước
Nước thô → Bơm áp lực nước thô → Bộ lọc đa phương tiện → Bộ lọc than hoạt tính → Làm mềm nước → Bộ lọc chính xác → Máy thẩm thấu ngược giai đoạn đầu → Bể nước trung gian → Máy bơm nước trung gian → Hệ thống EDI → Bộ lọc vi mô → Điểm nước

Nguồn thấm nước tinh khiết kim cho mạch tích hợp sử dụng thiết bị nước siêu tinh khiết hiện nay thông qua thẩm thấu ngược hai giai đoạn hoàn toàn tự động+EDI khử muối điện+công nghệ xử lý máy trộn đánh bóng. Trong phần tiền xử lý phù hợp với xử lý thẩm thấu ngược, nó có thể loại bỏ hiệu quả tất cả các loại muối và tạp chất trong nước. Ngay sau đó sử dụng công nghệ máy trộn EDI khử muối điện và đánh bóng, nó có thể loại bỏ các ion hòa tan của chất lượng nước một cách hiệu quả và nâng cao hơn nữa chất lượng nước, để chất lượng nước đầu ra cuối cùng đạt được yêu cầu của quá trình sử dụng nước.

Tính năng thiết bị:

1. Áp dụng bơm tăng áp nhập khẩu, tiếng ồn thấp và hiệu quả cao, ổn định và đáng tin cậy
2. Chương trình điều khiển điện tử hoàn toàn tự động, cũng có tùy chọn với hoạt động màn hình cảm ứng, dễ sử dụng.
3. Sử dụng hệ thống tiền xử lý hoàn toàn tự động để đạt được hoạt động không có con người và giảm chi phí bảo trì thủ công.
4. Sử dụng màng thẩm thấu ngược nhập khẩu, tỷ lệ khử muối cao, tuổi thọ cao và chi phí vận hành thấp.
5. Thiết kế cá nhân phù hợp với chất lượng nước địa phương, đáp ứng nhu cầu toàn diện.
6. Giám sát và kiểm soát chất lượng nước trực tuyến, theo dõi sự thay đổi chất lượng nước trong thời gian thực và đảm bảo an toàn chất lượng nước.
Tiết kiệm nước tái chế và cơ sở xử lý nước thải tái chế, tỷ lệ sản xuất nước cao (lên tới 95%).
8. Không cần dự trữ axit và kiềm và phương tiện vận chuyển pha loãng axit và kiềm, sử dụng an toàn và đáng tin cậy, tránh tiếp xúc với axit và kiềm của công nhân.
9. Đơn giản hóa quá trình cài đặt và giảm dấu chân trang web.

Lĩnh vực ứng dụng:

1, nước siêu tinh khiết cho vật liệu bán dẫn, thiết bị, bảng mạch in và mạch tích hợp thành phẩm, bán thành phẩm.
2, sản xuất transistor chủ yếu được sử dụng để làm sạch tấm silicon, và một số lượng nhỏ khác được sử dụng để pha chế thuốc lỏng.
3. Vật liệu bán dẫn, sản xuất vật liệu tinh thể, chế biến, làm sạch.
4. Sản xuất mạch tích hợp có độ tinh khiết trung bình cao làm sạch silicon.
5. Sản xuất ống điện tử, bôi âm cực ống điện tử lên muối cacbon.
6. Sản phẩm quang điện, các sản phẩm tinh vi công nghệ cao khác.
7, nước tinh khiết cho sản xuất ống hình ảnh và ống tia cathode, thành phần.
8, tụ điện điện phân sản xuất lá nhôm và làm sạch các bộ phận làm việc.