Bộ điều khiển lưu lượng khí hydro

Máy đo lưu lượng/bộ điều khiển khối lượng khí MFC330 Series, cấu trúc của nó bao gồm cảm biến lưu lượng dạng cột mao mạch, hệ thống phân luồng bypass, van tỷ lệ chính xác cao và hệ thống điều khiển.

Sau khi khí được thử nghiệm đi vào, nó đi qua cảm biến và hệ thống chuyển hướng bỏ qua đầu tiên. Đo lưu lượng khí trong thời gian thực bằng cảm biến, phản ứng động của van tỷ lệ chính xác cao để điều chỉnh lưu lượng khí nhanh chóng đến giá trị đặt. Cấu trúc vòng kín để đo và điều chỉnh lưu lượng cho phép MFC330 duy trì kiểm soát dòng chảy ổn định ngay cả khi nhiệt độ môi trường thay đổi hoặc áp suất không khí dao động ở đầu vào và đầu ra.

Đặc điểm sản phẩm

Đo lường/kiểm soát lưu lượng chất lượng chính xác

Phản ứng nhanh, lặp lại cao

Không bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ và áp suất

Phạm vi chênh lệch áp suất làm việc lớn: 0-1MPa

Mất áp suất thấp tùy chọn

Van tỷ lệ kim loại đầy đủ tùy chọn

Màn hình tích hợp Tùy chọn

Giải pháp tiết kiệm chi phí

Thông số chính

Phương tiện truyền thông yêu cầu khí sạch và khô

Loại khí 98+Khí tùy chọn

Phạm vi 0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm

0-1, 2, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500slpm

Phạm vi đo 0,5% FS (1: 200)

Phạm vi kiểm soát 1% -1 00% FS. (1: 100)

Độ chính xác ± 1% FS

Độ chính xác lặp lại ± 0,2% FS

Độ tuyến tính ± 0,2% FS

Kiểm soát thời gian đáp ứng<3 giây

Thời gian khởi động 5 phút (T95), 30 phút

Van thường đóng