Kính hiển vi điện tử quét HITACHI FlexSEM 1000

Hitachi Hi-Tech đã phát hành kính hiển vi điện tử quét mới FlexSEM 1000 trên toàn thế giới vào ngày 15 tháng 4 năm 2016. Sản phẩm này có cấu trúc nhỏ gọn, diện tích sàn nhỏ, nhưng độ phân giải không thua gương điện lớn, đồng thời hoạt động cực kỳ dễ dàng, hầu như không cần đào tạo để hoạt động. Thiết kế nhỏ gọn với độ phân giải 4 nm.
Kính hiển vi điện tử quét có thể quan sát độ phóng đại cao bề mặt vật liệu và phân tích nguyên tố có độ chính xác cao, có nhiều ứng dụng trong công nghệ nano, khoa học đời sống, nghiên cứu phát triển thiết kế sản phẩm và phân tích lỗi. Trong những năm gần đây, nhu cầu về cấu trúc bề mặt tinh tế và phân tích các yếu tố đã tăng lên, và ngày càng có nhiều người dùng muốn sử dụng kính hiển vi điện tử quét trong các không gian hạn chế như dây chuyền sản xuất, dây chuyền kiểm tra và khu vực văn phòng. Do đó, kính hiển vi điện tử quét có kích thước nhỏ, dễ vận hành và độ phân giải cao được chú ý. Máy chủ FlexSEM 1000 rộng 450mm và dài 640mm, giảm 52% kích thước, 45% trọng lượng và 50% tiêu thụ điện năng so với model SU1510. Máy chính có thể được tách ra khỏi đơn vị cung cấp điện và cài đặt rất linh hoạt.
FlexSEM 1000 có hệ thống quang học điện tử được thiết kế mới nhất và máy dò độ nhạy cao, độ tin cậy cao với độ phân giải lên đến 4nm. FlexSEM 1000 có nhiều tính năng tự động hóa giúp thao tác dễ dàng và nhanh chóng tạo ra hình ảnh chất lượng cao ngay cả đối với người vận hành lần đầu. Ngoài ra, tính năng điều hướng mới được phát triển "SEM MAP" có thể được điều hướng bằng nhiều hình ảnh quang học hoặc hình ảnh gương điện, chuyển đổi nhanh chóng và chính xác sang trường nhìn có độ phóng đại cao chỉ bằng một cú nhấp chuột.

Tính năng:

a. Thông qua máy dò điện tử thứ cấp có độ nhạy cao, máy dò tán xạ ngược, máy dò chân không thấp (UVD)^*2), đạt được quan sát hình ảnh chất lượng cao ở điện áp tăng tốc thấp/chân không thấp

Hoạt động dễ dàng, ngay cả người mới cũng có thể chụp ảnh chất lượng cao

Chức năng điều hướng mới được phát triển "SEM MAP" để dễ dàng khóa tầm nhìn nhanh

d. Cửa sổ lớn (30 mm)²Hệ thống phổ năng lượng SDD để phân tích nhanh các thành phần nguyên tố^*2

* 1 Tách máy chính và hộp nguồn khi đặt trên máy tính để bàn

*2 Tùy chọn

Dự án		Nội dung
Năng lượng phân hủy*3		4.0 nm @ 20 kV (SE: Chế độ chân không cao) 15,0 nm @ 1 kV (SE: Chế độ chân không cao) 5.0 nm @ 20 kV (BSE: Chế độ chân không thấp)
Tăng tốc điện áp		0.3 kV ～ 20 kV
Độ phóng đại		6 × 300.000 × (độ phóng đại âm bản) 16 × 800.000 × (hiển thị bội số)
Chế độ chân không thấp		Phạm vi chân không: 6~100 Pa
Súng điện tử		Dây tóc vonfram trung bình
Bảng mẫu		3- Bàn động cơ tự động trục X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90°
Kích thước mẫu tối đa		Đường kính 80 mm
Chiều cao mẫu tối đa		40 mm
Kích thước		Máy chính: 450 (W) x 640 (D) x 670 (H) mm Đơn vị cung cấp: 450 (W) x 640 (D) x 450 (H) mm
Tùy chọn máy dò		Máy dò điện tử thứ cấp chân không có độ nhạy cao (UVD) Máy dò tia X phân tán năng lượng (EDS)