Bộ điều khiển lưu lượng khí chia nhiệt độ cao và đồng hồ đo lưu lượng cho thiết bị lắng đọng

Có thể đàm phánCập nhật vào12/17

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Bộ điều khiển lưu lượng khí chia nhiệt độ cao và đồng hồ đo lưu lượng cho thiết bị lắng đọng, sử dụng van điều khiển tỷ lệ tốc độ cao tùy chỉnh, có thể đo lưu lượng khối của khí nhiệt độ cao một cách nhanh chóng và chính xác. Giá trị lưu lượng có thể được hiển thị bằng đơn vị khối lượng hoặc đơn vị khối lượng với độ chính xác 0,5% FS.

Chi tiết sản phẩm

Một,Tổng quan sản phẩm：Bộ điều khiển lưu lượng khí chia nhiệt độ cao và đồng hồ đo lưu lượng cho thiết bị lắng đọng

uLưu lượng thể tích của khí nhiệt độ cao có thể được đo nhanh và chính xác/Lưu lượng chất lượng

uÁp dụng van điều khiển tỷ lệ tốc độ cao tùy chỉnh để lưu lượng khối lượng trung bình/Lưu lượng chất lượng để kiểm soát chính xác

uMàn hình cảm ứng cực lớn, dễ vận hành đồng thời mở đầu ra analog vàSản phẩm RS-485Bản tin kỹ thuật số

uKhông có thành phần di chuyển và các yếu tố nhiệt bên trong, vượt qua thử nghiệm chống rung, không nhạy cảm với hướng lắp đặt

uÁp dụng công nghệ chênh lệch áp suất laminate loại bồi thường nội bộ, làm cho chất lỏng trong phạm vi dòng chảy lớn vẫn duy trì chuyển động laminate

ucung cấpHỗ trợ người dùng, bao gồm tư vấn kỹ thuật, dịch vụ hiệu chuẩn thiết bị nhanh chóng và bảo hành chất lượng trọn đời có điều kiện.

II. Ứng dụng sản phẩm:

- Đã được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực quy trình lắng đọng, chẳng hạn như quy trình gốm sứ, chất bán dẫn, sợi quang và các ngành công nghiệp khác sử dụng thiết bị lắng đọng khí nhiệt độ cao.

- Đo lường đa biến và tỷ lệ điều chỉnh phạm vi 50: 1 cho phép thay thế hiệu quả của nhiều thiết bị chỉ bằng một bộ điều khiển lưu lượng khí chia nhiệt độ cao và đồng hồ đo lưu lượng.

--Độ chính xác0,5% FSTính lặp lại.0.5%Và không.200Kiểm soát thời gian đáp ứng mili giây để đảm bảo quá trình khí ở nhiệt độ cao có thể hoạt động trơn tru.

Ba,Thông số kỹ thuật：Bộ điều khiển lưu lượng khí chia nhiệt độ cao và đồng hồ đo lưu lượng cho thiết bị lắng đọng

Công nghệ Chỉ số	Bộ điều khiển lưu lượng chất lượng		Đồng hồ đo lưu lượng khối
	Phạm vi phạm vi	2SCCM ~ 300SLM
	Độ chính xác (Điều kiện tiêu chuẩn sau khi zero)	±0,5% F·S(Toàn bộ phạm vi)
	Lặp lại chính xác	±0,5% F·S
	Tỷ lệ kiểm soát dòng chảy /Phạm vi đo	2% ~ 100% F·Số S/50：1	1% ~ 100% F·Số S/100：1
	Nhiệt độ hoạt động	Phần overflow:(90~150℃), phần điều khiển:0~70℃
	Tỷ lệ rò rỉ	＜2×10-9 Pa M³/ S
Máy móc Thành phần	Áp suất làm việc tối đa	3 MPa / 10 MPa
	Vật liệu niêm phong	Viton, PFE, niêm phong kim loại
	Cấp bảo vệ	Hệ thống IP40
	Vật liệu cơ sở	thép không gỉ
	Khớp nối đường khí	φ6，φ8，φ10，φ12Bao cao su.VCRđợi
Điện Hiệu suất	Màu đơnMàn hình LCDHiển thị	Hiển thị lưu lượng thời gian thực, thiết lập lưu lượng cùng một lúc
	Bản tin kỹ thuật số	Tùy chọn:Sản phẩm RS232/485，ModbusThỏa thuận,Sản phẩm ProfibusThỏa thuận,Thiết bị Netthỏa thuận
	Tín hiệu đầu vào đầu ra analog	0 ~ 5VDC / 4 ~ 20mA
	Giao diện tín hiệu điện	B9LỗRJ11, 5,5 × 2,1Nguồn cắm nhanh
	Điện áp cung cấp	±15VDC，24VDC

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị