Bộ điều khiển lưu lượng số Horibastec-Z512MGX Nhật Bản

Giới thiệu
Đồng hồ đo lưu lượng khối là một thành phần rất quan trọng trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn. Sự ổn định trong công việc của nó thường trở thành yếu tố then chốt cho sự thành công hay thất bại của quá trình sản xuất chất bán dẫn.
HORIBA STEC, Là nhà sản xuất đồng hồ đo lưu lượng với thị phần toàn cầu trên 35% * 1, từ lâu đã liên tục cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, linh hoạt cho ngành công nghiệp bán dẫn. Giờ đây, với công nghệ hoàn toàn mới, HORIBA STEC đang quảng bá một bộ điều khiển lưu lượng chất lượng mới trên toàn thế giới: Dòng Z500.
So với các mô hình cũ, dòng Z500X mang lại một bước đột phá hoàn toàn mới và được định sẵn để thay đổi tương lai của công nghệ kiểm soát dòng chảy. Trong khi cung cấp tất cả các chức năng kiểm soát dòng chảy theo yêu cầu của khách hàng, việc chuyển đổi khí composite, dòng chảy composite đã được thực hiện. Khách hàng có thể dễ dàng thay đổi loại khí đo lưu lượng và phạm vi * 2 theo yêu cầu của quy trình sản xuất.
Ngoài ra, với sự đổi mới công nghệ trong vật liệu sản phẩm, dòng Z500 đáp ứng đầy đủ các yêu cầu thiết kế của các sản phẩm xanh RoHS, nâng cao giá trị sản phẩm cho khách hàng.
Đồng hồ đo lưu lượng dòng Z500 hiệu suất cao sẽ mang lại cho bạn nhiều bất ngờ hơn. Thế giới đang chứng kiến sự ra đời của đồng hồ đo lưu lượng khối lượng mới sắp thay đổi toàn bộ ngành công nghiệp bán dẫn.
*1 Tham khảo báo cáo nghiên cứu VLSI 2007.
* 2 Khí composite, chức năng lưu lượng composite.
Tính năng
Độ chính xác cao: Đặt giá trị lưu lượng ± 1,0%.
Độ chính xác tuyến tính của MFC được bù đắp bằng các đường cong xấp xỉ đa thức, công nghệ này đảm bảo độ chính xác điều khiển cao trong mỗi phạm vi điều khiển. Để cải thiện độ chính xác của việc kiểm soát các loại khí thực tế khác nhau, HORIBA STEC đã phát triển hệ thống đo khí tiêu chuẩn và thu thập dữ liệu hiệu chuẩn cho các loại khí quy trình khác nhau trên cơ sở nhiều thí nghiệm.
Phản hồi tốc độ cao
SEC-Z500X sử dụng hệ thống "PID có thể thay đổi" được phát triển mới nhất để đảm bảo rằng bất kỳ thay đổi nào giữa hai điểm lưu lượng thiết lập nào được thực hiện trong vòng 1 giây khi thiết lập lưu lượng khác nhau, dữ liệu PID sẽ được điều chỉnh tự động, ngay cả sau khi loại khí và phạm vi lưu lượng thay đổi, dữ liệu PID có thể được tối ưu hóa tự động để đáp ứng tốc độ cao.
Khí tổng hợp, sơ đồ lưu lượng hỗn hợp
Các sản phẩm mới của HORIBA STEC cho phép khách hàng dễ dàng thay đổi các loại khí và lưu lượng tại chỗ. Phần mềm cài đặt Z500 của chúng tôi rất đơn giản và dễ sử dụng. Thậm chí tốt hơn, việc hoàn thành những thay đổi này thậm chí không yêu cầu MFC phải tháo rời khỏi hệ thống. Bằng cách này, bạn có thể giảm đáng kể số lượng sản phẩm dự phòng của khách hàng, đồng thời tiết kiệm thời gian và chi phí.
Các bản vẽ liên quan đến sản phẩm và các bản vẽ khác