Nhật Bản HORIBASTEC-8440F8450 Bộ điều khiển lưu lượng chất lượng cao

Giới thiệu
Đồng hồ đo lưu lượng khối là một thiết bị được sử dụng để đo hoặc kiểm soát lưu lượng khí. Lưu lượng thường được chia thành lưu lượng thể tích và lưu lượng khối lượng, nhưng thể tích của khí dễ bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ và áp suất bên ngoài, nếu cần đo chính xác, cần liên tục thay đổi điều kiện đo để phù hợp với môi trường bên ngoài thay đổi. Và lưu lượng khối, được sử dụng để đo chất lượng của khí, và chất lượng không bị ảnh hưởng bởi môi trường bên ngoài, do đó có thể cung cấp phát hiện và kiểm soát dòng chảy chính xác cao, và được sử dụng rộng rãi trong quá trình sản xuất chất bán dẫn.
Tính năng
Nó được trang bị van áp điện, có thể được sử dụng trong môi trường nhiệt độ cao của bộ điều khiển lưu lượng khối.
1. Thích hợp cho nhiệt độ cao: có thể đáp ứng 150 ℃ nướng
2. Có các mô hình sản phẩm trong dòng sản phẩm có thể đáp ứng nhiệt độ sử dụng
3. Loại siêu sạch: tất cả các cấu trúc thép không gỉ của bộ phận khí nén
4. Thích hợp nhất để kiểm soát dòng chảy của vật liệu kim loại hữu cơ, vật liệu áp suất hơi thấp, khí ăn mòn cho MOCVD
Thông số

SEC-8340SL được trang bị lò sưởi chính
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 80~100 ℃

SEC-8340SM Thiết bị sưởi ấm cơ thể
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 100~120 ℃

Sản phẩm SEC-8440LSL
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 15~35 ℃

Sản phẩm SEC-8450LSL
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	10/20 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 15~35 ℃

Sản phẩm SEC-8455LSL
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	30/50 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 15~35 ℃

Sản phẩm SEC-8460LSL
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	50/100 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 15~35 ℃

Sản phẩm SEC-8440LSM
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 35~60 ℃

Sản phẩm SEC-8450LSM
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	10/20 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 35~60 ℃

Sản phẩm SEC-8455LSM
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	30/50 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 35~60 ℃

Sản phẩm SEC-8460LSM
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	50/100 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 35~60 ℃

Sản phẩm SEC-8440LSH
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 60~80 ℃

Sản phẩm SEC-8450LSH
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	10/20 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 60~80 ℃

Sản phẩm SEC-8455LSH
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	30/50 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 60~80 ℃

Sản phẩm SEC-8460LSH
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	50/100 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 60~80 ℃

Sản phẩm SEC-8440SL
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 80~100 ℃

Sản phẩm SEC-8450SL
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	3/5/10 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 80~100 ℃

Sản phẩm SEC-8455SL
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	10/20 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 80~100 ℃

Sản phẩm SEC-8460SL
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	20/30/50 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 80~100 ℃

Sản phẩm SEC-8440SM
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 100~120 ℃

Sản phẩm SEC-8450SM
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	3/5/10 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 100~120 ℃

Sản phẩm SEC-8455SM
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	10/20 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 100~120 ℃

Sản phẩm SEC-8460SM
Chất liệu của bộ phận tiếp xúc khí	Sản phẩm SUS-316L
Loại van	Không: khi không có điện: bật
Phạm vi lưu lượng tiêu chuẩn	20/30/50 SLM
Phạm vi kiểm soát dòng chảy	2~100% FS (phạm vi đầy đủ)
Độ chính xác dòng chảy	± 1,0% FS (phạm vi đầy đủ)   Nhiệt độ sử dụng: 100~120 ℃

Các bản vẽ liên quan đến sản phẩm và các bản vẽ khác