-
Thông tin E-mail
317399383@qq.com
-
Điện thoại
15955179814
-
Địa chỉ
Số 9996 đường Túc Tùng, huyện Kinh Khai, Hợp Phì, tỉnh An Huy
Danh mục sản phẩm
Công ty TNHH Công nghệ Điện tử Hợp Phì Weiguang
Máy khử keo hoàn toàn tự động
Có thể đàm phánCập nhật vào02/09
- Mô hình
- Thiên nhiên của nhà sản xuất
- Nhà sản xuất
- Danh mục sản phẩm
- Nơi xuất xứ
Tổng quan
Máy khử keo tự động Giơi thiệu sản phẩm: $n1 Tên thiết bị: Máy khử keo khô tự động $n2 Mô hình thiết bị: CGST3100$n3 Nguyên tắc thiết bị: ICP$n4 Kích thước wafer Wafer size: 8 inch (tương thích với 4 hoặc 6 inch) $n5 Vật liệu wafer Wafer material: Si base (nếu cần viết cho các vật liệu khác)
Chi tiết sản phẩm
Máy khử keo hoàn toàn tự độngGiới thiệu sản phẩm:
1 Tên thiết bị: Máy khử keo khô hoàn toàn tự động
2 Mô hình thiết bị: CGST3100
3 Nguyên tắc thiết bị: ICP
Kích thước wafer: 8 inch (tương thích 4 hoặc 6 inch)
B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)
Máy khử keo hoàn toàn tự độngTham số:
| Thân thiết bị | |
| Kích thước thiết bị | L1300 × W1190 × H1847mm |
| Trọng lượng thiết bị | 800kg |
| Nguồn điện thiết bị | AC220V，3P,50/60Hz， 5 dòng, 16A |
| Phần mềm Hosting | Cửa sổ 10 |
| Bản tin máy chủ | SECS / GEM |
| Ổ cứng máy chủ | Đơn/đôi |
| khoang quá trình | ICP， Buồng đơn |
| Loại hộp nguyên liệu | Kiểu mở (Open Cassette) |
| Công suất xử lý đơn wafer | một mảnh |
| Tay máy | 3 trục (tùy chọn đơn/cánh tay) |
| Tay máy | Mapping (tùy chọn) |
| Khối lượng viên mỗi giờ (WPH) | 35 viên/giờ (công thức chuẩn 1 phút) |
| Đĩa sưởi | Hợp kim nhôm, kiểm soát nhiệt độ: 50-250 ℃ |
| Hệ thống Plasma Generation | |
| Loại nguồn điện | Tần số vô tuyến |
| Nguồn điện | 0 ~ 1000W |
| Tần số nguồn | 13,56 MHz |
| Bộ khớp | Tự động khớp |
| Hệ thống hút chân không | |
| khoang quá trình | hợp kim nhôm |
| Cửa khoang | Van cửa, khí nén |
| 真空管路 | Tất cả các đường ống thép không gỉ, cũng như ống chân không cường độ cao |
| Van bướm | Độ chính xác điều khiển áp suất: ± 50 mtorr |
| Công tắc dòng chân không | Van góc, khí nén |
| Bơm chân không | Bơm khô: 600m3/h |
| Máy đo chân không | 0,001-10 Thác |
| Công tắc chân không buồng | 750 tấn |
| Chuyển đổi chân không ống giai đoạn trước | 100 triệu Torres |
| Hệ thống gas | |
| Hệ thống khí quá trình | Tủ khí, Modular (GAS BOX) |
| Chất liệu hộp khí | thép không gỉ |
| Tủ khí xả | Áp suất âm, hàng axit |
| Cấu hình tủ khí | Bộ lọc, van tay, đồng hồ đo lưu lượng, van khí nén, đồng hồ đo áp suất, van điều chỉnh tốc độ, công tắc chuỗi |
| Đường gas | |
| Đường khí 1 | O2 5SLM |
| Đường khí 2 | N2 1SLM |
| Đường khí 3 | Sản phẩm CF4 100SCCM |
| Đường khí 4 | 4% H2 / N2 1SLM |
| Đường khí 5 | N2 Phá chân không chậm/nhanh |
Nhiều nhu cầu hơn có thể liên lạc bằng điện.
