Máy phân tích thông số bán dẫn FluxDancer E900

□ Chức năng đầy đủ của dòng điện - điện áp (IV), điện dung - điện áp (CV), kiểm tra xung IV;

□ Độ phân giải đo dòng điện zui cao 0,1 fA, độ chính xác kiểm tra 30 fA;

□ Chế độ thử IV-t, tốc độ lấy mẫu nhanh zui không thấp hơn 65 us/điểm;

□ Độ rộng xung ngắn nhất ở chế độ xung hỗ trợ là 10 ns;

□ Chức năng thử nghiệm: IV, IV-t, PIV (Pulse IV), Super PIV (10 ns sampling) CV, Trở kháng, 1/f (100 KHz), Super-1/f (1 MHz), Solar Cell, FET, BJT, EL, v.v.

□ Khả năng đo độ chính xác cao và độ phân giải cao;

□ Đo lường và phân tích nhanh, hỗ trợ nhiều chế độ đo lường;

□ Thiết kế mô-đun, dễ nâng cấp và mở rộng: Cấu hình>10 khe, hỗ trợ dòng hấp thụ lớn zui đến 4A;

□ Áp dụng các loại linh kiện điện tử như linh kiện, vật liệu, linh kiện chủ động/thụ động;

□ Giao diện người dùng trực quan, đơn giản hóa quy trình vận hành;

□ Hỗ trợ kiểm tra tự động và phân tích dữ liệu.

Ⅰ - Đơn vị đo nguồn I (SMU)

SMU công suất cao:

• Phạm vi điện áp: ± 100 V-200V

• Phạm vi hiện tại DC: ± 1A

• Phạm vi xung hiện tại: ± 2A ± 3A

• Độ phân giải hiện tại tối thiểu: 0.1fA

• Độ phân giải điện áp tối thiểu: 100nV

• Phạm vi đo hiện tại: 10fA

• Độ phân giải dải đo điện áp: 0,5uV

• Công suất DC: 20W hoặc 40W tùy chọn

• Công suất xung lớn zui: 480W (điện áp cao zui 160V, dòng điện cao zui 3A)

• Giới hạn xung Chiều rộng tối thiểu: 50 us, có thể kiểm tra xung 50us

• Hỗ trợ Quadrant Testing

• Hỗ trợ kiểm tra 2 dây hoặc 4 dây

• Hỗ trợ chế độ kiểm tra IV-T, tốc độ lấy mẫu nhanh zui 550ns mỗi điểm, điểm lưu trữ dữ liệu có thể được đặt thành 10K, 1M, 10M hoặc 100M

SMU DC công suất trung bình:

• Phạm vi điện áp: ± 40 - ± 50 V

• Phạm vi hiện tại: ± 1,5A

• Độ phân giải hiện tại tối thiểu: 400 pA

• Độ phân giải điện áp tối thiểu: 4uV

• Độ phân giải đo hiện tại: 10fA

• Độ phân giải đo điện áp: 0,5uV

• Hỗ trợ Quadrant Testing

• Hỗ trợ kiểm tra 2 dây hoặc 4 dây

SMU DC công suất nhỏ:

• Phạm vi điện áp: ± 14 V

• Phạm vi hiện tại: ± 40 mA

• Độ phân giải hiện tại tối thiểu: 200 nA

• Độ phân giải điện áp tối thiểu: 60 uV

• Độ phân giải đo hiện tại: 10fA

• Độ phân giải đo điện áp: 0,5uV

• Hỗ trợ Quadrant Testing

• Hỗ trợ kiểm tra 2 dây hoặc 4 dây

• Hỗ trợ Số lượng bảng nguồn: 1-5 tùy chọn

• Phóng to trước: Phóng to trước có thể được cấu hình, độ phân giải đo dòng SMU tăng lên 0.1fA

Bộ tụ điện đa tần số C-V (CVU)

• Các phép đo trở kháng AC là CV, C-f, C-t

• Dải rộng 1 kHz - 10 MHz, độ phân giải tần số tối thiểu 1 mHz

• Độ chính xác kiểm tra điện dung (mất điện môi D): @ 1MHz ± 0,3%, 10pF@1MHz ±0.15%, 10pF@100kHz ±0.2%

• ± 30 V (60Vpp), phạm vi bù DC tích hợp có thể được mở rộng đến ± 210V (chênh lệch 420V)

• Với CV, CV tự động kiểm tra và đo lường chức năng

• Hỗ trợ bên quét điện dung CV, C-t

Bộ đo xung siêu nhanh I-V (PMU)

• Hai nguồn IV xung tốc độ cao độc lập và kênh đo

• 200 MSa/s, 5 ns khoảng cách điểm giống nhau

• ±40 V(80V p-p), ±800 mA

• Chế độ chụp dạng sóng thoáng qua

• Máy phát dạng sóng tùy ý, độ phân giải lập trình 10 ns

Bộ phát xung điện áp cao (PGU)

• Hai kênh nguồn điện áp xung tốc độ cao

• ±40 V(80V p-p), ±800 mA

• Máy phát dạng sóng tùy ý, độ phân giải lập trình 10 ns

Mô-đun chuyển mạch đa kênh I-V/C-V (CVIV)

• Chuyển đổi giữa nguồn IV và CV mà không cần nâng đầu dò

• Bất kỳ tài nguyên CV đo lường mà không cần nâng đầu dò

• Hỗ trợ ± 210 V DC Offset

Mô-đun kiểm tra tiếng ồn 1n (FNU)

• Tốc độ 8~10s/bias

• Băng thông 1Hz~100kHz

• Tiếng ồn cơ sở:< 120uA@2Hz

• Độ lệch đo 2% ở băng thông đầy đủ