Nguồn điện tử phát xạ trường lạnh nổi tiếng của Hitachi và công nghệ điện áp tăng tốc 300 kV đã cùng nhau tạo ra hình ảnh có độ phân giải cực cao và phân tích độ nhạy cao. Công nghệ ba chiều lăng kính kép, quang phổ tổn thất năng lượng điện tử phân biệt không gian và công nghệ nhiễu xạ chùm tia điện tử nano song song có độ chính xác cao đã mở ra một con đường mới để phân tích mẫu có độ chính xác cao và hiệu quả cao.