Hệ thống kiểm tra thông số bán dẫn FS-Pro

Hệ thống kiểm tra thông số bán dẫn FS-ProGiới thiệu sản phẩm

Sản phẩm FS-ProHệ thống kiểm tra thông số bán dẫn là một thiết bị phân tích đặc tính điện tử với chức năng toàn diện và cấu hình linh hoạt, nhận ra điện áp hiện tại trong một hệ thống(IV)Kiểm tra, điện áp điện dung(CV)Kiểm tra, loại xungIVKiểm tra, phát sinh và đo lường dạng sóng tuyến tính tùy ý, thu thập tín hiệu miền thời gian tốc độ cao và khả năng kiểm tra tiếng ồn tần số thấp. Đặc tính tần số thấp của hầu hết các thiết bị bán dẫn có thể được mô tả trongSản phẩm FS-ProHoàn thành trong hệ thống kiểm tra. Khả năng kiểm tra và phân tích thông số toàn diện và * của nó đã tăng tốc đáng kể quá trình nghiên cứu, phát triển và đánh giá các thiết bị và quy trình bán dẫn và có thể liên kết với 9812 Hệ thống kiểm tra tiếng ồn tích hợp liền mạch, nhanh chóngDCKhả năng kiểm tra được nâng cao hơn nữa. 9812 Hiệu quả kiểm tra tiếng ồn của một loạt các sản phẩm.

Hệ thống kiểm tra thông số bán dẫn FS-ProLà một thiết bị phân tích đặc điện học của thiết bị bán dẫn có chức năng toàn diện, cấu hình linh hoạt.

• Kiểm tra điện áp hiện tại (IV), kiểm tra điện áp điện dung (CV), kiểm tra xung IV, phát triển và đo lường dạng sóng tuyến tính tùy ý, phát triển và thu nhận dạng sóng tốc độ cao và khả năng kiểm tra tiếng ồn tần số thấp đã được thực hiện trong một hệ thống duy nhất và đặc tính tần số thấp của hầu hết các thiết bị bán dẫn có thể được thực hiện trong hệ thống kiểm tra FS-Pro.

• Khả năng kiểm tra và phân tích thông số toàn diện và * tăng tốc đáng kể quá trình nghiên cứu, phát triển và đánh giá các thiết bị bán dẫn và quy trình, và có thể tích hợp liền mạch với hệ thống kiểm tra tiếng ồn Shunlen 9812 Series.

• Áp dụng kiến trúc phần cứng mô-đun PXI phổ biến trong công nghiệp, cấu hình hệ thống linh hoạt và khả năng mở rộng mạnh mẽ.

• Phần mềm kiểm tra chuyên nghiệp tích hợp LabExpress cung cấp các cài đặt thử nghiệm phong phú và * khả năng xử lý dữ liệu.

• Phần mềm LabExpress hỗ trợ cả đo lường tự động và đo lường song song để tăng hiệu quả kiểm tra hơn nữa.

• Nó được sử dụng rộng rãi trong tất cả các loại thiết bị bán dẫn, vật liệu LED, thiết bị vật liệu hai chiều, vật liệu kim loại, vật liệu mới và thử nghiệm thiết bị, độ tin cậy của thiết bị và các lĩnh vực nghiên cứu khác.

• Ứng dụng sản phẩm

• Kiểm tra vật liệu và thiết bị mới

• Kiểm tra độ tin cậy của thiết bị bán dẫn

• Thiết bị bán dẫn Kiểm tra xung siêu ngắn

• Thiết bị bán dẫn NDT và thử nghiệm

• Kiểm tra hệ thống máy quang điện tử và vi điện tử

• Kiểm tra khu vực tiếng ồn tần số cực thấp cho thiết bị bán dẫn

Thông số kỹ thuật chính:

• Dải rộng: Điện áp 200V, dòng điện 1A DC
• Độ chính xác cao: Độ chính xác 30fA, độ nhạy 0.1fA
• Băng thông kiểm tra tiếng ồn: độ chính xác cao zui cao 100kHz, tần số cực thấp zui cao 40Hz
• Tốc độ kiểm tra tiếng ồn:<10s/bias (độ phân giải tần số lớn hơn 0,5Hz)
• Kiểm tra xung tích hợp: Điện áp 200V, dòng xung 3A, chiều rộng xung tối thiểu 50μs
• Kiểm tra CV tích hợp: 200V/10kHz, zui thấp đến 20fF
• Mô-đun kiểm tra CV bên ngoài: 40V/2MHz (loại chính xác cao); 40V/10MHz (Loại băng thông cao)
• Thu thập tín hiệu miền thời gian tốc độ cao: Thời gian lấy mẫu tối thiểu<1μs, 100.000 điểm dữ liệu
• Kiểm tra tiếng ồn Trở kháng tối thiểu: 500Ω
• Kiểm tra độ phân giải tiếng ồn: zui thấp 2e-28A²/Hz
• Độ phân giải tần số kiểm tra tiếng ồn: độ chính xác cao 0,1Hz, tần số cực thấp 0,001Hz
• Bộ đo lường và phát triển dạng sóng nhanh chính xác cao
• 2 kênh, giao diện SMA
• Kiểm tra IV nhanh: ± 10V điện áp, zui lớn 10mA hiện tại
• SMU thông qua: ± 25V điện áp đầu vào, zui lớn 100mA hiện tại
• Tốc độ lấy mẫu 100MSa/s, chiều rộng xung tối thiểu được đề nghị lên tới 130ns

  
  

Chức năng phần mềm

FS-Pro Series được xây dựng trong phần mềm đo lường LabExpress có * kiểm tra và điểm

Phân tích chức năng, phần mềm này cung cấp một giao diện người dùng đồ họa thân thiện và thiết lập linh hoạt

Xác định, có các chức năng chính sau đây:

Hỗ trợ đầy đủ DC, xung, thoáng qua, điện dung, kiểm tra tiếng ồn, dạng sóng tùy ý

Chức năng xảy ra và đo lường

Hỗ trợ kiểm tra Stress dài, và HCI, BTI, TDDB, GOI (V-Ramp,

J-Ramp) Kiểm tra độ tin cậy

Cài đặt thử nghiệm thiết bị chung tích hợp có thể cải thiện đáng kể hiệu quả thiết lập thử nghiệm, giúp

Nhà điều hành mới hoàn thành bài kiểm tra nhanh chóng

* Chức năng thiết lập tùy chỉnh có thể chỉnh sửa tín hiệu điện linh hoạt

Tích hợp * Khả năng xử lý dữ liệu có thể được kiểm tra trực tiếp sau khi phân tích đặc tính thiết bị

Một phương thức lưu trữ dữ liệu, xuất dữ liệu có thể cung cấp cho nghiên cứu phân tích tiếp theo của người dùng cũng có thể trực tiếp

Nhập phần mềm mô hình BSIMProPlus và MeQLab để trích xuất mô hình

Phân tích đặc tính

LabExpress Professional hỗ trợ kiểm soát các thiết bị thăm dò và ma trận chính thống.

Chế độ, hỗ trợ ánh xạ wafer, kiểm tra song song để thực hiện chức năng kiểm tra tự động, tiến bộ

Nâng cao hiệu quả kiểm tra