Dòng thăm dò điện tử

The Grand EPMA ra đời Mang theo hệ thống quang học điện tử tiên tiến nhất. Hiệu suất phân tích EPMA Shimazu tối đa Hệ thống quang học điện tử phát ra trường tiên tiến với độ phân giải không gian vượt trội trong nhiều điều kiện luồng chùm khác nhau, từ điều kiện quan sát SEM đến thang đo 1μA. Kết hợp với máy quang phổ tia X hiệu suất cao truyền thống của Shimazu, hiệu suất phân tích được phát huy tối đa. "The Grand EPMA", một EPMA đẳng cấp cao nhất đã ra đời.

Độ phân giải không gian vượt trội

Tự hào về độ phân giải hình ảnh điện tử thứ cấp của No.1 bằng cách sử dụng luồng chùm có điều kiện phân tích. (Khi điện áp tăng 10 kV, 20nm@10nA // 50nm@100nA / 150nm@1 μA）。 So sánh với kết quả của súng điện tử ban đầu (CeB6, dây tóc vonfram) trong nháy mắt.

Do dòng tia lớn hơn có thể thu được hình ảnh có độ phân giải tương tự như súng điện tử ban đầu, nên có thể tiến hành phân tích tia X có độ nhạy cực cao. Đáng chú ý hơn là hình ảnh SEM với luồng chùm 1 μA. Có thể thu được nhiều hơn 1μA luồng chùm và có thể được nén xuống chỉ EPMA-8050G.

So sánh đặc điểm của các loại súng điện tử khác nhau tạo ra chùm tia điện tử (điện áp gia tốc 10kV)

Phân tích độ nhạy siêu cao của dòng chảy bó lớn

Loại phát xạ trường SEM, EPMA có thể đạt được luồng chùm lớn mà các thiết bị khác không thể đạt được (tối đa 3μA ở điện áp tăng tốc 30kV). Một bước nhảy vọt về chất đã được thực hiện trong độ nhạy phát hiện của các nguyên tố siêu vi, hình dung sự phân bố thành phần của các nguyên tố siêu vi khi phân tích bề mặt các nguyên tố trở thành hiện thực. Hơn nữa, trong phạm vi tất cả các chùm tia không cần thay thế vật kính, hoàn toàn không cần lo lắng về hợp trục, thực hiện phân tích tự động hóa cao độ.

3 hình ảnh của bề mặt là kết quả của phân tích bề mặt của khoảng 1% Si trong thép không gỉ. Luồng bó càng lớn, độ lệch càng nhỏ, càng có thể xác nhận rõ ràng phạm vi chứa Si.

※ Điều kiện phân tích: điện áp tăng tốc 10kV, thời gian tích hợp 50msec. Phân tích mất khoảng 1 giờ.

Lên đến 5 kênh hiệu suất cao 4 inch X quang phổ kế có thể được mang cùng một lúc

Góc chụp X-quang quyết định hiệu suất phân tích, tốt hơn 52,5 °

Càng ít hấp thụ tia X, độ nhạy càng cao.	Tia X cao lấy góc ra, có thể làm giảm tác động của sự hấp thụ, có thể tiến hành phân tích đối với đáy lỗ sâu, vật lạ trong lỗ.

Ví dụ phân tích các vật thể nước ngoài trong lỗ sâu. Phân phối sắt (Fe) ở phía dưới bên trái và titan (Ti) ở phía dưới bên phải. Với góc lấy ra cao của EPMA-8050G, phân tích độ chính xác cao có thể được thực hiện ngay cả đối với các mẫu có bề mặt lồi và lồi khác nhau.

Tinh thể quang phổ sử dụng tinh thể loại Johnson tập trung đầy đủ.

Tuân theo kinh nghiệm nghiên cứu và phát triển của Shimazu trong quá trình chế biến tinh thể, đảm bảo cung cấp tinh thể quang phổ với độ nhạy cao · Độ phân giải cao. Tinh thể quang phổ Johanson (Johnson) là tinh thể tập trung hoàn toàn, không có quang sai.

Nhiều nhất có thể đồng thời chở 5 kênh chiếu cố độ nhạy cảm cao, độ phân giải cao 4 inch.

Đường kính vòng tròn Roland là một trong những yếu tố quan trọng ảnh hưởng đến hiệu suất phân tích EPMA. Độ nhạy phát hiện giảm hơn 30% cho mỗi 1 inch tăng bán kính vòng tròn Roland. EPMA tối đa

Tất cả các hoạt động phân tích đơn giản và dễ hiểu

Tất cả các thao tác chỉ cần một con chuột là có thể đạt được khả năng thao tác tiên tiến, theo đuổi "dễ hiểu" giao diện người dùng nhân văn, cài đặt chế độ điều hướng và nhiều chức năng mới khác, sẽ "thao tác đơn giản và dễ hiểu" trở thành hiện thực. Bất kể là người mới học hay là người dùng cấp chuyên gia đều có thể tiến hành phân tích thao tác thuận buồm xuôi gió.

● Dễ vận hành từ nhập khẩu mẫu để tạo báo cáo phân tích.
● Ngay cả lần sử dụng đầu tiên cũng có thể dễ dàng quan sát SEM vị trí mẫu.
● Khả năng xử lý vô song, cải thiện đáng kể hiệu quả của việc chuẩn bị phân tích.
● Trực quan theo đuổi giao diện người dùng "dễ hiểu".
● Chế độ điều hướng, hướng dẫn tự động cho đến khi tạo báo cáo phân tích.