LAwaveNó là một dụng cụ đo lường chính xác dựa trên nguyên lý sóng âm laser để đo lớp phủ và bề mặt.
Lĩnh vực ứng dụng:
Khuôn cứng, vật liệu bán dẫn, màng polymer mỏng, màng cảm biến, màng phun plasma
Dữ liệu đo lường:
Đo mô đun đàn hồi của các vật liệu sau
Cứng và siêu cứng, phim kim loại, phim polymer mỏng, thấpKphim sol
Mô đun đàn hồi cho số lượng lớn vật liệu
Độ dày màng
Mức độ thiệt hại của vật liệu bán dẫn
Tính năng: Không phát hiện thiệt hại
Siêu cứng siêu mỏng đều có thể phát hiện
Kiểm tra toàn bộ bề mặt, không phải một điểm
Phạm vi rộng của màng có thể đo được: từ nano đến mm
Nhanh chóng và đáng tin cậy
Mẫu không cần xử lý đặc biệt
Không cần chỉnh sửa
Tác dụng:
Kiểm soát quá trình lắng đọng phim, phun sơn và bề mặt vật liệu hoàn thành
Đo lường chính xác các thông số cơ học của phim và lớp phủ
Đánh giá không phá hủy các cấu trúc vi mô trên vật liệu màng (ví dụ: tình trạng liên kết, độ xốp và thành phần)
Đo gradient đàn hồi và mật độ vuông góc với bề mặt