Thông số của máy photocopy để bàn: 1. Khu vực phơi sáng tối đa: 160mm * 160mm. ⒉. Độ phân giải phơi sáng: 1um (gel với độ dày keo ≤ 0,5um). Độ chính xác căn chỉnh: 1um (tấm đánh bóng wafer tiêu chuẩn). 4. Cường độ nguồn sáng: 35mW/cm2. 5. Bước sóng phơi sáng: Nguồn sáng LED (hạt đèn nhập khẩu, tuổi thọ 10.000 giờ)
Máy photocopy để bànTham số:
1. Khu vực phơi sáng tối đa: 160mm * 160mm
⒉. Độ phân giải phơi sáng: 1u m (gel với độ dày keo ≤0,5um)
3. Độ chính xác căn chỉnh: ± 1um (tấm đánh bóng wafer tiêu chuẩn)
4. cường độ nguồn sáng: 35mW/cm2
5. Bước sóng phơi sáng: Nguồn sáng LED (hạt đèn nhập khẩu, tuổi thọ>10.000 giờ)
6. Chế độ phơi sáng: Thời gian (Chế độ đếm ngược)
7. Phạm vi chuyển động tương đối của mẫu mặt nạ: X: tốt hơn ± 5mm;
8. Y: tốt hơn ± 5mm; 0: tốt hơn ± 6 °
9. Kích thước mặt nạ: 7 inch, đặc điểm kỹ thuật mẫu: 6 inch (wafer)
10. Khoảng cách căn chỉnh cài đặt kỹ thuật số và khoảng cách phơi sáng
11. Mặt nạ mẫu tách khoảng cách: 6=O-500um liên tục điều chỉnh
12. Phương pháp căn chỉnh: căn chỉnh tự động, có thể theo nhu cầu của khách hàng, tăng loại dấu căn chỉnh, tích lũy không quá 4 nhóm
13. Truyền tự động: truyền tự động cho người điều khiển (cánh tay cơ khí mẫu đặc biệt và dĩa), bao gồm chức năng định vị sắp xếp trước
14. Phạm vi quét: Y: ± 40mm (cài đặt kỹ thuật số)
15. Nó có phơi sáng nổi áp suất dương, phơi sáng tiếp xúc cứng, phơi sáng tiếp xúc áp suất và phơi sáng gần bốn chức năng CCD+ống kính viễn tâm+căn chỉnh màn hình, hợp nhất quang học
16. San lấp mặt bằng áp suất tiếp xúc đảm bảo lặp lại thông qua cảm biến
17. Mục tiêu kép điều chỉnh khoảng cách: 30mm-130mm