D07-7 Bộ điều khiển lưu lượng khối/Đồng hồ đo lưu lượng

Có thể đàm phánCập nhật vào02/09

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Bộ điều khiển lưu lượng khối/đồng hồ đo lưu lượng khối D07-7 là đồng hồ đo lưu lượng khối nhiệt, bộ điều khiển lưu lượng khối có thể được áp dụng để đo và kiểm soát các loại khí khác nhau, ngoài đo lường, nó có thể kiểm soát chính xác lưu lượng khối của khí, đồng hồ đo lưu lượng khối (MFM) có thể đo chính xác lưu lượng khối của khí. Sản phẩm D07-7 là sản phẩm cơ bản của đồng hồ đo lưu lượng bảy sao, có thể đáp ứng nhu cầu cơ bản về đo lường và kiểm soát lưu lượng của khách hàng.

Chi tiết sản phẩm

Bộ điều khiển dòng chảy khối lượng (Mass Flow Controller viết tắt MFC) được sử dụng để thực hiện các phép đo và kiểm soát chính xác dòng chảy khối lượng của khí. Chúng có các ứng dụng quan trọng trong nghiên cứu khoa học và sản xuất trong nhiều lĩnh vực bao gồm công nghiệp bán dẫn và mạch tích hợp, kỷ luật vật liệu đặc biệt, công nghiệp hóa chất, công nghiệp dầu khí, dược phẩm, bảo vệ môi trường và chân không. Các ứng dụng điển hình của nó bao gồm: thiết bị xử lý điện tử, chẳng hạn như khuếch tán, oxy hóa, mở rộng, CVD、 Khắc plasma, phún xạ, tiêm ion; Cũng như thiết bị mạ, nóng chảy sợi quang, thiết bị vi phản ứng, hệ thống phân phối khí hỗn hợp, đo mao mạch, sắc ký khí và các dụng cụ phân tích khác.

D07-7 Bộ điều khiển lưu lượng khối/Đồng hồ đo lưu lượngVới độ chính xác cao, độ lặp lại tốt, tốc độ phản ứng nhanh, khởi động mềm, ổn định và đáng tin cậy, phạm vi áp suất làm việc rộng, v.v. (có thể hoạt động trong điều kiện áp suất cao hoặc chân không), hoạt động của nó rất dễ sử dụng, có thể được cài đặt ở bất kỳ vị trí nào và dễ dàng kết nối với máy tính để đạt được điều khiển tự động. Bộ điều khiển lưu lượng chất lượng dòng D07 thường được sử dụng đồng bộ với các sản phẩm như màn hình lưu lượng dòng D08, và giữa bộ điều khiển và màn hình được kết nối bằng cáp đặc biệt.

Tính năng:

• MFC cho niêm phong cao su, mạch analog

• Phân luồng hình ống, tuổi thọ dài

D07-7 Bộ điều khiển lưu lượng khối/Đồng hồ đo lưu lượngThông số kỹ thuật:

số hiệu	loại	D07-7K 型	Mô hình D07-7B	Mô hình D07-7C	Mô hình D07-7CM
1	Thông số dòng chảy	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	(0 ~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	(0 ~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
2	Độ chính xác	± 1% FS	± 1,5% FS	± 1,5% FS	± 1,5% FS
3	Tuyến tính	± 1% FS	± 1% FS	± 1% FS	± 1% FS
4	Lặp lại chính xác	± 0,2% FS	± 0,2% FS	± 0,2% FS	± 0,2% FS
5	Thời gian đáp ứng	Đặc tính điện: 10 sec; Đặc tính khí: ≤4 sec	Đặc tính điện: 10 sec; Đặc tính khí: ≤4 sec	Đặc tính điện: 10 sec; Đặc tính khí: ≤4 sec	10 giây
6	Giảm áp suất không khí	ˉ	ˉ	ˉ	< 0,01 MPa
7	Phạm vi chênh lệch áp suất làm việc	(0,1 ~ 0,5) MPa	(0,1 ~ 0,5) MPa	(0,1 ~ 0,5) MPa	< 0,01 MPa
8	Hệ số nhiệt độ	Không: ≤ ± 0,1% FS / ℃; Span: ≤ ± 0,2% FS / ℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	Áp suất làm việc tối đa	1 Mpa	1 Mpa	1 Mpa	1 Mpa
10	Chịu áp lực	3 Mpa	3 Mpa	3 Mpa	3 Mpa
11	Nhiệt độ môi trường làm việc	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	Tín hiệu đầu vào và đầu ra	0 V ~ + 5,00 V (Trở kháng đầu vào lớn hơn 100K, dòng điện đầu ra không lớn hơn 3mA)	0 V ~ + 5,00 V (Trở kháng đầu vào lớn hơn 100K, dòng điện đầu ra không lớn hơn 3mA)	0 V ~ + 5,00 V (Trở kháng đầu vào lớn hơn 100K, dòng điện đầu ra không lớn hơn 3mA)	0 V ~ + 5,00 V (Trở kháng đầu vào lớn hơn 100K, dòng điện đầu ra không lớn hơn 3mA)
13	nguồn điện	+ 15 V 50 mA; - 15V 200 mA	+ 15 V 50 mA; - 15V 200 mA	+ 15 V 50 mA; - 15V 200 mA	+ 15 V 50 mA - 15 V 50 mA
14	trọng lượng	1,1 kg	1,1 kg	1,1 kg	0,92 kg

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị