Xây dựng nhà máy sạch Chu Hải

Việc xây dựng nhà máy sạch Chu Hải thường được gọi là hội thảo không bụi, hội thảo làm sạch, phòng sạch và các tên khác; Nó đề cập đến việc loại trừ các hạt nhỏ trong không khí, không khí có hại, vi khuẩn và các chất gây ô nhiễm khác trong một phạm vi không gian nhất định, và nhiệt độ trong phòng, độ sạch, áp suất trong phòng, tốc độ dòng không khí và phân phối luồng không khí, tiếng ồn rung và ánh sáng, kiểm soát tĩnh điện trong một phạm vi nhu cầu nhất định, và phòng được thiết kế đặc biệt.

Xây dựng nhà máy sạch Chu HảiPhổ biến được gọi là hội thảo không bụi, hội thảo làm sạch, phòng sạch và các tên khác; Nó đề cập đến việc loại trừ các hạt nhỏ trong không khí, không khí có hại, vi khuẩn và các chất gây ô nhiễm khác trong một phạm vi không gian nhất định, và nhiệt độ trong phòng, độ sạch, áp suất trong phòng, tốc độ dòng không khí và phân phối luồng không khí, tiếng ồn rung và ánh sáng, kiểm soát tĩnh điện trong một phạm vi nhu cầu nhất định, và phòng được thiết kế đặc biệt.

Xây dựng nhà máy sạch Chu HảiKiểm soát nhiệt độ và độ ẩm trong

Nhiệt độ và độ ẩm của không gian sạch chủ yếu được xác định theo yêu cầu công nghệ, nhưng trong điều kiện đáp ứng yêu cầu công nghệ, cần tính đến cảm giác thoải mái của con người. Khi các yêu cầu về độ sạch không khí được cải thiện, đã có một xu hướng mà các yêu cầu về nhiệt độ và độ ẩm ngày càng nghiêm ngặt. Các yêu cầu của quá trình cụ thể đối với nhiệt độ sau này cũng được liệt kê, nhưng theo nguyên tắc chung, do độ chính xác xử lý ngày càng tốt, do đó, các yêu cầu về phạm vi dao động nhiệt độ ngày càng nhỏ. Ví dụ, trong quá trình phơi sáng in thạch bản để sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn, yêu cầu về sự khác biệt giữa hệ số giãn nở nhiệt của thủy tinh làm vật liệu tấm mặt nạ và tấm silicon ngày càng nhỏ hơn. Đường kính 100 um của tấm silicon, nhiệt độ tăng 1 độ, gây ra sự giãn nở tuyến tính 0,24um, do đó, phải có nhiệt độ không đổi ± 0,1 độ, đồng thời yêu cầu giá trị độ ẩm nói chung thấp hơn, bởi vì sau khi đổ mồ hôi, sản phẩm sẽ bị ô nhiễm, đặc biệt là sợ natri của xưởng bán dẫn, loại nhiệt độ xưởng này không nên vượt quá 25 độ, độ ẩm quá cao tạo ra nhiều vấn đề hơn. Khi độ ẩm tương đối vượt quá 55%, các bức tường của ống nước làm mát sẽ bị lộ và gây ra nhiều tai nạn khác nhau nếu chúng xảy ra trong các thiết bị hoặc mạch chính xác. Dễ bị rỉ sét ở độ ẩm tương đối 50%. Ngoài ra, độ ẩm quá cao sẽ thông qua các phân tử nước trong không khí để hấp thụ hóa học bụi bám trên bề mặt silicon vào bề mặt khó loại bỏ. Độ ẩm tương đối càng cao, độ bám dính càng khó loại bỏ, nhưng khi độ ẩm tương đối thấp hơn 30%, lại do tác động của điện tĩnh làm cho hạt cũng dễ dàng hấp phụ vào bề mặt, đồng thời một số lượng lớn các thiết bị bán dẫn dễ dàng xảy ra sự cố. Độ ẩm tốt nhất cho sản xuất silicon là 35 - 45%.

Quy định áp suất không khí

Đối với hầu hết các không gian sạch, để ngăn chặn sự xâm nhập của ô nhiễm bên ngoài, áp suất bên trong (áp suất tĩnh) cần được giữ cao hơn áp suất bên ngoài (áp suất tĩnh). Việc duy trì chênh lệch áp suất nói chung phải phù hợp với các nguyên tắc sau:

Áp suất của không gian sạch cao hơn áp suất của không gian không sạch.

2. Áp suất của không gian có mức độ sạch cao hơn áp suất của không gian có mức độ sạch thấp liền kề.

Duy trì chênh lệch áp suất dựa vào lượng gió mới, lượng gió mới này nếu có thể bồi thường lượng gió rò rỉ từ khe hở dưới chênh lệch áp suất này. Vì vậy, ý nghĩa vật lý của chênh lệch áp suất là lực cản khi lượng gió rò rỉ (hoặc thâm nhập) đi qua các khe hở khác nhau trong phòng sạch.

Quy định tốc độ luồng không khí trong phòng sạch

Tốc độ dòng không khí cần thảo luận ở đây là tốc độ dòng không khí trong phòng sạch, tốc độ dòng không khí trong các không gian sạch khác được giải thích khi thảo luận về thiết bị cụ thể.

Đối với phòng sạch lộn xộn vì chủ yếu dựa vào tác dụng pha loãng không khí để giảm mức độ ô nhiễm trong nhà, vì vậy chủ yếu sử dụng khái niệm số lần thay đổi không khí, không trực tiếp sử dụng khái niệm tốc độ, nhưng tốc độ dòng khí trong nhà cũng có các yêu cầu sau đây;

(1) Tốc độ dòng khí đầu ra không nên quá lớn, so với phòng điều hòa đơn thuần, yêu cầu tốc độ suy giảm nhanh hơn, góc khuếch tán lớn hơn.

(2) thổi qua bề mặt ngang tốc độ dòng chảy không khí (chẳng hạn như tốc độ dòng chảy trở lại khi cho ăn bên) không nên quá lớn, để tránh thổi các hạt bề mặt trở lại dòng chảy không khí, và gây ô nhiễm lại, tốc độ này nói chung không nên làm khô lớn 0,2m/s.

Đối với phòng sạch dòng chảy song song theo thói quen được gọi là phòng sạch dòng chảy lớp, do chủ yếu dựa vào luồng không khí "tác dụng ép piston để loại trừ việc nhuộm dòng chảy, do đó, tốc độ trên phần là một chỉ số rất quan trọng. Trước đây tham khảo tiêu chuẩn 20gB của Mỹ, sử dụng 0,45m/s. Nhưng mọi người cũng hiểu rằng tốc độ cao như vậy cần lượng thông gió là rất lớn, để tiết kiệm năng lượng, cũng đang tìm kiếm tính khả thi của việc giảm tốc độ gió.

Ở nước ta, "các biện pháp kỹ thuật làm sạch không khí" và (mã thiết kế nhà máy sạch) đều được quy định như vậy.

Dòng chảy song song dọc (dòng chảy tầng) Phòng sạch ≥0,25m/s

Dòng chảy song song ngang (dòng chảy tầng) Phòng sạch ≥0,35 m/s

Kiểm soát tiếng ồn

Tiêu chuẩn tiếng ồn trong phòng sạch thường nghiêm ngặt đối với các tiêu chuẩn bảo vệ sức khỏe, nhằm đảm bảo hoạt động bình thường, đáp ứng các liên hệ nói chuyện cần thiết và môi trường làm việc an toàn và thoải mái. Do đó, thước đo tiếng ồn chính của phòng sạch là:

1. Ảnh hưởng của sự khó chịu

Do tiếng ồn, khiến người ta cảm thấy không an bình mà sinh ra cảm xúc phiền não, thông thường chia làm 7 cấp độ phiền não là cực yên tĩnh, rất yên tĩnh, khá yên tĩnh, hơi ngại ồn ào, khá ồn ào và cực ồn ào. Phàm là trình độ phản ứng thuộc về người rất ồn ào và cực kỳ ồn ào, tức là phiền não cao, tỷ lệ phần trăm số người phiền não cao trong tổng số người tức là tỷ lệ phiền não cao.

2. Ảnh hưởng đến hiệu quả công việc

Điều này chủ yếu phụ thuộc vào mức độ phản ứng của ba mặt, ba mặt này là: tập trung tinh thần, độ chính xác của động tác, tốc độ làm việc.

3. Can thiệp vào giao tiếp toàn diện

Điều này chủ yếu được chia thành: rõ ràng hoặc hài lòng, hơi khó khăn, khó khăn, không thể

Đối với ba chỉ tiêu trên đều dùng cấp âm A để đánh giá. Vào thập niên 50, người ta đã đề xuất sử dụng một đường cong phổ làm tiêu chuẩn đánh giá, tức là mức áp suất âm thanh của tần số trung tâm các dải tần không được vượt quá đường cong này. Sau đó tìm hiểu được mức độ quấy nhiễu và phiền não của tiếng ồn và tiếng ồn có thể thay thế mức áp suất âm thanh gấp đôi làm chỉ tiêu đánh giá.

Hướng tới yêu cầu rất cao. Ở đây cần phải giải thích một chút về cách chiếu sáng phòng sạch không có cửa sổ:

(1) Chiếu sáng chung

Nó đề cập đến ánh sáng được thiết lập để chiếu sáng toàn bộ khu vực được chiếu sáng mà không tính đến nhu cầu địa phương đặc biệt.

(2) Chiếu sáng cục bộ

Điều này đề cập đến ánh sáng được thiết lập để tăng độ sáng tại một địa điểm nhất định, chẳng hạn như điểm làm việc. Nhưng ánh sáng trong nhà thường không được sử dụng một mình với ánh sáng cục bộ.

(3) Ánh sáng hỗn hợp

Điều này có nghĩa là độ chiếu sáng trên bề mặt làm việc được tổng hợp từ ánh sáng chung và chiếu sáng cục bộ, trong đó độ chiếu sáng chung theo "Quy tắc thiết kế nhà máy sạch" phải chiếm 10% đến 15% tổng độ chiếu sáng, nhưng không thấp khô 150LX. Thông lượng ánh sáng được chấp nhận trên diện tích chiếu sáng của đơn vị là đơn vị chiếu sáng Lux (LX).

Yêu cầu cao về sức mạnh của phòng sạch ở nước ngoài, chẳng hạn như một số yêu cầu tiêu chuẩn của Hoa Kỳ về phòng sạch là,Ánh sáng nhân tạo 300lx có tác dụng tốt hơn, 500x cũng được cho phép khi phôi có độ mịn cao hơn. Đối với những nơi cần ánh sáng đèn đỏ, chẳng hạn như xưởng in thạch bản của ngành công nghiệp điện tử, độ sáng của nó thường là (25-501x),Khi sử dụng ánh sáng tự nhiên có thể cho phép độ sáng cao hơn, do đó, nó là thuận lợi cho công việc, vì vậy trong tương lai, việc sử dụng cả ánh sáng nhân tạo và ánh sáng tự nhiên cho ánh sáng phòng sạch có thể hứa hẹn, đó cũng là một chuyển động xuất hiện để tiết kiệm năng lượng.

Chống tĩnh điện

Tai nạn trong phòng sạch do tĩnh điện xảy ra thường xuyên, vì vậy làm thế nào khả năng chống tĩnh điện của phòng sạch đã trở thành một khía cạnh không thể bỏ qua trong việc đánh giá chất lượng của nó.

Cái gọi là tĩnh điện, là do ma sát và các nguyên nhân khác phá hủy trạng thái trung tính điện đồng nhất của điện tích dương (+) âm (-) trong vật thể, và điện tích dư thừa, vật thể ở trạng thái tích điện, vì những điện tích này thường không chảy, vì vậy nó được gọi là tĩnh điện.

Tai nạn do tĩnh điện trong phòng sạch có những khía cạnh sau:

1. sốc điện do tĩnh điện, gây ra cảm giác không an toàn và sợ hãi, và có thể gây ra chấn thương thứ cấp (ví dụ, một người bị ngã do sốc điện, do ngã và chấn thương);

2. xả tĩnh điện gây ra bởi dòng điện, có thể gây ra thiệt hại và hành động sai như các thành phần bán dẫn và các hành động khác, chẳng hạn như 50 miếng mạch P-MOS trong túi nhựa, sau khi lắc nhiều lần, cổng NAND bị hỏng nặng 39 miếng, mất hiệu quả cạnh tranh 78%, điều này là do thiết bị bán dẫn rất nhạy cảm với xả tĩnh điện;

3. Sóng điện từ được tạo ra bởi phóng điện tĩnh có thể gây ra tiếng thổi và hành động sai của các dụng cụ và thiết bị điện tử;

4. Sự phát sáng của phóng điện tĩnh điện có thể gây ra sự phá hủy cảm quang như tấm chân máy ảnh;

5. Các hiện tượng cơ học của tĩnh điện có thể dẫn đến các lỗ sàng bị chặn bởi bụi, các sợi quay lộn xộn, độ sâu và bề mặt của bản in không đồng đều và ô nhiễm sản phẩm.

Việc tạo ra tai nạn tĩnh điện chủ yếu nằm trong việc tạo ra và tích tụ tĩnh điện, trong khi dòng chảy của luồng không khí, luồng không khí và đường ống, lỗ thông gió, bộ lọc và ma sát khác, ma sát của cơ thể con người và quần áo, ma sát giữa quần áo, mài quá trình, phun, máy bay phản lực, giặt, khuấy, liên kết và tước và các hoạt động khác, tất cả các lựa chọn có thể tạo ra tĩnh điện, trong điều kiện chung, càng ít độ dẫn của chất không dẫn (chất cách điện), do điện tích tạo ra không dễ dàng chảy, vì vậy biểu hiện là càng dễ tích điện.

Vì vậy, vấn đề tĩnh điện trong phòng sạch đặc biệt nghiêm trọng, bởi vì không chỉ trong phòng sạch có nhiều yếu tố quá trình tạo ra tĩnh điện, mà còn bởi vì nhiều vật liệu trong phòng sạch như sàn nhựa, tường, nylon, độ chính xác và quần áo làm việc khác có điện trở suất cao, rất dễ dàng để tạo ra tĩnh điện và tích tụ tĩnh điện, trước khi thảm họa tĩnh điện trong phòng sạch không được coi trọng, các vật liệu này được sử dụng rộng rãi.