CYG502 Cảm biến áp suất siêu nhỏ

Cảm biến áp suất siêu nhỏ CYG502 với kích thước danh nghĩa OD 2mm được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng trong các thí nghiệm thủy động lực học đòi hỏi kích thước lắp đặt nhỏ hơn. Đây là cảm biến áp suất nhỏ nhất trong số các sản phẩm mà công ty chúng tôi giới thiệu hiện nay.

Các thành phần nhạy cảm với áp suất của CYG502 được thiết kế và sản xuất với công nghệ MEMS tiên tiến (Miro Electronic Machine Systems). Tích hợp ba chiều, hai mặt gia công silicon áp suất nhạy cảm yếu tố có độ chính xác tuyến tính tuyệt vời. Tính nhất quán cao của cầu căng thẳng Whiston, được tạo ra bằng cách tiêm ion, kỹ thuật in thạch bản tốt, mang lại cho nó một sự trôi dạt nhiệt độ nhỏ. Sử dụng công nghệ liên kết trực tiếp silicon silicon, thiết kế khe chữ V ngược, do đó đạt được tối ưu hóa kích thước màng chip có thể được sử dụng, thu nhỏ toàn bộ kích thước chip xuống kích thước 1 × 1mm, trong khi độ nhạy đầu ra vẫn có thể đạt đến phạm vi 100kpa, để đạt được bước đột phá quan trọng trong việc thực hiện cảm biến siêu nhỏ.

Thay đổi liên kết silic-thủy tinh trong thiết kế truyền thống thành liên kết silic-silic, cải thiện hiệu ứng phù hợp nhiệt và giảm sự bất ổn về vị trí bằng không do căng thẳng.

Hiện nay đã có sản phẩm mô hình đo lường tuyệt áp, loại hình đo lường đang được nghiên cứu chế tạo.

CYG502A Loại áp suất tuyệt đối Cảm biến áp suất siêu nhỏ là hình đầu dò, đường kính ngoài tiêu chuẩn là Ф2.15mm và chiều dài là 18mm, phạm vi tùy chọn của cảm biến là 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000kpa áp suất tuyệt đối.

Cảm biến áp suất tuyệt đối CYG502A chịu áp suất phía trước với các yếu tố nhạy cảm. Do đó, nó chỉ phù hợp với khí khô, nơi môi trường không ăn mòn và không dẫn điện. Nó có một vùng nhiệt độ hoạt động khá rộng, lên đến -55 ℃~+120 ℃, và cũng có đặc tính động tần số cao rất tuyệt vời, tần số vốn có của các yếu tố nhạy cảm trong phạm vi thấp nhất của nó>200kHz, thời gian tăng dưới micro giây.

1, Thông số chỉ số hiệu suất

2, đầu ra phạm vi đầy đủ: tối thiểu 30mv điển hình 80mv tối đa 130mv

3, Trở kháng đầu vào và đầu ra: tối thiểu 3 kΩ điển hình 5 kΩ tối đa 7 kΩ

4, Dòng điện làm việc đầu vào: 1,5mA (loại áp suất đo) 1mA (loại áp suất tuyệt đối) (nguồn không đổi)

5, Phạm vi nhiệt độ hoạt động: -55 ℃~+120 ℃

6, Phạm vi nhiệt độ bù: -10 ℃~+80 ℃

7, Khả năng quá tải: 200% phạm vi định mức

8, Độ nhạy gia tốc:<0,001% FS/g

9, Bản vẽ kích thước tổng thể: CYG502A