Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử

Có thể đàm phánCập nhật vào05/06

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

SAL1000G là một hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử ALD nhỏ có chứa hộp găng tay, có tính đồng nhất tốt và * hiệu suất che phủ bậc thang, cho phép người dùng kiểm soát chính xác sự lắng đọng của từng lớp nguyên tử. Thông qua hộp đựng găng tay, nó có thể hoạt động trong môi trường khí trơ và có thể ngăn chặn việc hít phải các hạt nano. Thiết bị này là một mô hình nhỏ và giá cả phải chăng kết hợp với máy chủ và nguồn điện điều khiển để theo đuổi hoạt động dễ dàng hơn chỉ trên máy tính để bàn. Nó có khả năng xử lý lắng đọng lên đến 4 "wafer và thực hiện các biện pháp an toàn cho từng thành phần.

Chi tiết sản phẩm

Sản phẩm SAL1000GHệ thống lắng đọng lớp nguyên tửTính năng:

- Sự đa dạng -

· Hộp găng tay di chuyển chân không có thể xử lý các mẫu dễ bị oxy hóa.

· Ổ đĩa phía trước được trang bị tiêu chuẩn với hai nhóm van và xi lanh khí.

· Có thể chọn để làm nóng ổ đĩa phía trước đến 200 độ C.

· Khung xoay tự động cho tấm cơ sở có thể được chọn.

· Phụ kiện lắng đọng bột có thể được lựa chọn.

· Thiết bị xử lý khí thải giá cả phải chăng có thể được lựa chọn.

- Diễn xuất -

· Đảm bảo lắng đọng lớp tự do của mỗi lớp nguyên tử đồng nhất lỗ kim trên bề mặt của tấm cơ sở.

· Các bề mặt lắng đọng trên các hình dạng không đồng đều hoặc 3D bằng cách che phủ các bậc thang.

· Có thể thu được tiền gửi tốt hơn so với CVD và PVD, đặc biệt là đối với các vật liệu có tỷ lệ khung hình cao hơn và tiền gửi xốp.

- Giao diện hoạt động thân thiện -

· Màn hình cảm ứng giúp người dùng dễ dàng thiết lập công thức hoặc quy trình lắng đọng và kiểm tra chuyển động của từng hệ thống truyền động.

· Tự động lắng đọng có thể được thực hiện và phát thải N2 tự động hoàn thành sau khi lắng đọng hoàn tất.

· Xả chân không của hộp găng tay và giới thiệu khí trơ cũng có thể được thực hiện tự động.

- An ninh -

· Đây là thiết bị tiên tiến với nhiều chức năng liên kết khác nhau.

- Cửa sập trên cùng với chức năng đóng nhẹ nhàng giúp người dùng dễ dàng tải và dỡ các tấm cơ sở.

Sản phẩm SAL1000GHệ thống lắng đọng lớp nguyên tửThông số kỹ thuật:

Hiệu suất
真空度		Áp lực đạt	≤5Pa
成膜性能		Phân phối độ dày màng	≤± 3% (φ 100mm)
Thành phần thiết bị
Mô hình thiết bị		Sản phẩm SAL1000G
Hướng phim		Bề mặt dưới
Kích thước cơ sở		φ 100mm hoặc 4 inch Tối đa
Nhiệt độ cơ sở nóng		350 ℃ Tối đa
Số ổ đĩa trước		2
Nhiệt độ ổ đĩa phía trước		150 ℃ Tối đa
Làm sạch khí		N2 (điều khiển khí: với van loại kim đo lưu lượng)
Hộp găng tay		Plexiglass, loại hút chân không nitơ
Bơm chân không		Máy bơm chân không trục vít 162L/phút
trọng lượng		本体： 50kg, 手套箱： 35kg, 真空泵： 27kg
Cấu hình tùy chọn		Khung xoay tự động cho tấm cơ sở Phụ kiện lắng đọng bột Thiết bị xử lý khí thải Lò sưởi phía trước - 200 ℃
Yêu cầu lắp đặt
Yêu cầu nguồn điện	nguồn điện	3 pha, 200V ± 10%, 15A, 50/60Hz
	nối đất	<100Ω
	Dây cáp	5m tặng
N2 Khí thổi	Áp suất cung cấp	0.1 ~.0.2Mpa
	Giao diện	1/4 Sản phẩm Swagelok
Khí nén	Áp suất cung cấp	0.6 ~0.8Mpa
	Giao diện	Giao diện φ6mm
Bơm hút chân không	Cổng xả	Mặt bích KF-25
Cổng xả thiết bị	Cổng xả	φ38mm x L28 ống Adapter
Kích thước lắp đặt		W1000 x D700 x H900

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị