Kiểm tra thiết bị, hiệu chuẩn, đo lường, kiểm tra hàng năm.

Kiểm tra thiết bị, hiệu chuẩn, đo lường, kiểm tra hàng năm.

Thực hành hiệu chuẩn giao thoa kế

I. Mục đích

Đảm bảo độ chính xác và độ tin cậy của các kết quả đo giao thoa kế để chúng đáp ứng các yêu cầu sử dụng và tuân thủ các thông số kỹ thuật tiêu chuẩn có liên quan.

II. Phạm vi áp dụng

Thích hợp để hiệu chuẩn giao thoa kế [mô hình hoặc loại cụ thể].

III. Căn cứ hiệu chuẩn

[Liệt kê các tiêu chuẩn quốc gia, ngành công nghiệp hoặc hướng dẫn hiệu chuẩn được cung cấp bởi các nhà sản xuất dụng cụ, v.v.]

IV. Hiệu chuẩn điều kiện môi trường

1. Nhiệt độ: 20 ℃ ± 2 ℃, thay đổi nhiệt độ không quá 1 ℃ mỗi giờ trong quá trình hiệu chuẩn. Biến động nhiệt độ có thể ảnh hưởng đến kích thước của các thành phần quang học và bước sóng laser, do đó dẫn đến lỗi đo lường. Nhiệt độ ổn định có thể được duy trì bằng cách sử dụng điều hòa không khí, hộp nhiệt độ không đổi và nhiều cảm biến nhiệt độ được đặt trong khu vực đo để theo dõi thời gian thực.

2. Độ ẩm: 40% -60% RH, độ ẩm thay đổi không quá 5% RH mỗi giờ. Độ ẩm cao dễ dàng làm cho bề mặt của các thành phần quang học tạo ra sự ngưng tụ hơi nước hoặc ăn mòn, ảnh hưởng đến hiệu suất quang học. Nó có thể được điều chỉnh và giám sát bằng máy hút ẩm, máy tạo độ ẩm và cảm biến độ ẩm.

3. Rung động: biên độ rung nhỏ hơn [X] μm và tần số nhỏ hơn [X] Hz. Rung động bên ngoài có thể làm cho các sọc giao thoa không ổn định và ảnh hưởng đến độ chính xác của phép đo. Đặt giao thoa kế trên nền tảng cách ly rung và tránh xa nguồn rung, chẳng hạn như thiết bị cơ khí lớn, thang máy, v.v.

4. Độ sạch: Môi trường làm việc nên được giữ sạch sẽ để tránh bụi, hạt và các chất gây ô nhiễm khác xâm nhập vào các thành phần quang học bị ô nhiễm bên trong giao thoa kế. Thiết bị lọc không khí có thể được lắp đặt trong môi trường và khu vực làm việc được làm sạch thường xuyên.

Kiểm tra thiết bị, hiệu chuẩn, đo lường, kiểm tra hàng năm.

V. Thiết bị và công cụ hiệu chuẩn

1. Bộ phận tiêu chuẩn: khối đo tiêu chuẩn với độ chính xác cao và truy xuất nguồn gốc, gương phẳng tiêu chuẩn, gương hình cầu tiêu chuẩn, v.v., mức độ chính xác của nó phải cao hơn yêu cầu độ chính xác của giao thoa kế được hiệu chuẩn. Ví dụ, để hiệu chỉnh giao thoa kế đo chiều dài, mức độ chính xác của khối đo tiêu chuẩn được sử dụng để đạt đến cấp độ nano.

2. Công cụ phụ trợ: khăn lau không bụi, ethanol khan, giấy ống kính để làm sạch các thành phần quang học; Khung điều chỉnh chính xác được sử dụng để cố định và điều chỉnh vị trí tương đối của các bộ phận tiêu chuẩn và giao thoa kế; Máy đo quang điện được sử dụng để phát hiện công suất quang của nguồn sáng laser.

VI. Yêu cầu nhân viên hiệu chuẩn

Nhân viên hiệu chuẩn cần được đào tạo chuyên nghiệp, quen thuộc với nguyên lý làm việc, phương pháp vận hành và quy trình hiệu chuẩn của giao thoa kế, có kiến thức và kỹ năng đo lường liên quan và có giấy chứng nhận trình độ đo lường tương ứng.

VII. Dự án và phương pháp hiệu chuẩn

(1) Kiểm tra ngoại hình và chức năng

1. Kiểm tra ngoại hình: Vỏ giao thoa kế quan sát thị lực nên không bị hỏng, biến dạng, trầy xước, rỉ sét và các khuyết tật khác; Màn hình hiển thị rõ ràng, không thiếu vạch, điểm sáng...... Chức năng phím hoạt động bình thường, không có hiện tượng kẹt, thất bại; Các giao diện được kết nối bình thường, không bị lỏng lẻo, hư hỏng.

2. Kiểm tra chức năng: bật nguồn, bật giao thoa kế, kiểm tra xem chức năng tự kiểm tra của dụng cụ có bình thường không; Theo hướng dẫn vận hành dụng cụ, lần lượt kiểm tra chuyển đổi chế độ đo, lưu trữ dữ liệu, truyền dữ liệu, cài đặt tham số và các chức năng khác của giao thoa kế, để xác nhận rằng tất cả các chức năng có thể đạt được bình thường.

(II) Hiệu chuẩn bước sóng laser

1. Lựa chọn tiêu chuẩn tham khảo: Bộ tiêu chuẩn bước sóng được hiệu chuẩn đo lường và theo dõi nguồn được chọn, độ không chắc chắn bước sóng của nó phải đáp ứng các yêu cầu hiệu chuẩn.

2. Bước hiệu chuẩn: kết nối thích hợp bộ tiêu chuẩn bước sóng với cổng đầu ra laser của giao thoa kế; Bắt đầu giao thoa kế và tiêu chuẩn bước sóng, sau khi thiết bị ổn định, thiết lập chức năng đo bước sóng trên giao thoa kế; Ghi lại các giá trị bước sóng laser đo được bằng giao thoa kế và so sánh với các giá trị danh nghĩa của bộ tiêu chuẩn bước sóng; Nếu độ lệch giữa giá trị đo và giá trị danh nghĩa vượt quá phạm vi cho phép, hãy hiệu chỉnh bước sóng bằng cách điều chỉnh các thông số liên quan của nguồn sáng laser (ví dụ: dòng điện, nhiệt độ, v.v.) theo hướng dẫn vận hành của giao thoa kế để độ lệch giữa giá trị đo và giá trị danh nghĩa nằm trong phạm vi cho phép.

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

1. Chuẩn bị khối đo tiêu chuẩn: Chọn một nhóm các khối đo tiêu chuẩn với các thông số kỹ thuật chiều dài khác nhau, phạm vi chiều dài của khối đo phải bao gồm phạm vi đo phổ biến của giao thoa kế và mức độ chính xác của khối đo đáp ứng yêu cầu hiệu chuẩn. Ví dụ, đối với giao thoa kế có phạm vi đo từ 0 đến 100mm, các khối đo tiêu chuẩn có chiều dài 10mm, 25mm, 50mm, 75mm, 100mm có thể được chọn.

2. Bước hiệu chuẩn: Tiếp xúc đầu đo của giao thoa kế với một đầu của khối đo tiêu chuẩn để đảm bảo tiếp xúc tốt và đo đúng hướng; Thiết lập chức năng đo chiều dài trên giao thoa kế và thực hiện các phép đo; Ghi lại giá trị chiều dài thu được từ phép đo giao thoa kế và so sánh với giá trị chiều dài danh nghĩa của khối đo tiêu chuẩn; Tính toán sai số hiển thị đo lường, công thức là: sai số hiển thị=giá trị đo lường - giá trị danh nghĩa; Đo lường và tính toán lỗi hiển thị cho các khối đo tiêu chuẩn có độ dài khác nhau theo các bước trên; Vẽ đường cong mối quan hệ giữa lỗi hiển thị và chiều dài đo lường và phân tích xem lỗi hiển thị có nằm trong phạm vi cho phép hay không. Nếu vượt quá phạm vi cho phép, hiệu chuẩn có thể được thực hiện bằng phần mềm sửa chữa hoặc điều chỉnh hệ thống đường quang, thuật toán đo lường của giao thoa kế.

d) Đo độ lặp lại

1. Chọn điểm đo: Trong phạm vi đo của giao thoa kế, chọn một điểm đo đại diện, chẳng hạn như đối với giao thoa kế đo chiều dài, vị trí 50mm có thể được chọn làm điểm đo.

2. Bước hiệu chuẩn: tại các điểm đo đã chọn, sử dụng giao thoa kế để thực hiện n lần đo liên tục (thường n ≥ 10), ghi lại các phép đo sau mỗi lần đo; Tính toán độ lặp lại của phép đo, công thức là: Độ lặp lại của phép đo=(độ lệch chuẩn của phép đo đơn/giá trị trung bình của phép đo) × 100%, trong đó độ lệch chuẩn của phép đo đơn được tính theo công thức Bessel; Độ lặp lại của phép đo được tính toán được so sánh với các chỉ số kỹ thuật của thiết bị để đánh giá xem độ lặp lại của phép đo có phù hợp với yêu cầu hay không. Nếu không đáp ứng các yêu cầu, hãy kiểm tra sự ổn định của giao thoa kế, môi trường đo lường có nhiễu hay không và thực hiện các điều chỉnh và hiệu chuẩn tương ứng.

B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)

1. Chuẩn bị khối góc tiêu chuẩn: chọn một nhóm các khối góc tiêu chuẩn với các thông số kỹ thuật góc khác nhau. Phạm vi góc của khối góc phải bao gồm phạm vi đo góc của giao thoa kế và mức độ chính xác của khối góc đáp ứng yêu cầu hiệu chuẩn.

2. Bước hiệu chuẩn: đặt khối góc tiêu chuẩn trên bàn đo góc của giao thoa kế, điều chỉnh vị trí và hướng của khối góc để giao thoa kế có thể đo góc chính xác; Thiết lập chức năng đo góc trên giao thoa kế và thực hiện các phép đo; Ghi lại các giá trị góc thu được từ phép đo giao thoa kế và so sánh với các giá trị góc danh nghĩa của khối góc tiêu chuẩn; Tính toán sai số hiển thị giá trị đo góc, công thức là: sai số hiển thị=giá trị đo lường - giá trị danh nghĩa; Đo lường và tính toán lỗi hiển thị giá trị cho các khối góc tiêu chuẩn cho các góc khác nhau theo các bước trên; Các phép đo góc phân tích cho dù lỗi hiển thị giá trị nằm trong phạm vi cho phép. Nếu vượt quá phạm vi cho phép, hiệu chuẩn có thể được thực hiện bằng cách điều chỉnh đường quang đo góc của giao thoa kế, thuật toán đo góc hiệu chuẩn, v.v.

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

1. Chuẩn bị gương phẳng tiêu chuẩn: Chọn gương phẳng tiêu chuẩn có độ chính xác cao, lỗi độ phẳng của nó phải nhỏ hơn nhiều so với lỗi cho phép đo độ phẳng của giao thoa kế.

2. Bước hiệu chuẩn: đặt gương phẳng tiêu chuẩn trên bàn đo của giao thoa kế, điều chỉnh vị trí của gương để giao thoa kế có thể đo độ phẳng của gương; Thiết lập chức năng đo độ phẳng trên giao thoa kế và thực hiện các phép đo; Ghi lại giá trị lỗi độ phẳng thu được bằng cách đo giao thoa kế và so sánh với giá trị lỗi độ phẳng danh nghĩa của gương mặt phẳng tiêu chuẩn; Tính toán sai số hiển thị đo độ phẳng; Phân tích xem lỗi hiển thị của phép đo độ phẳng có nằm trong phạm vi cho phép hay không. Nếu vượt quá phạm vi cho phép, hiệu chuẩn có thể được thực hiện bằng cách điều chỉnh hệ thống quang học của giao thoa kế, hiệu chuẩn thuật toán đo độ phẳng, v.v.

VIII. Xử lý kết quả hiệu chuẩn

1. Giấy chứng nhận hiệu chuẩn: Sau khi hiệu chuẩn hoàn tất, giấy chứng nhận hiệu chuẩn phải được cấp. Giấy chứng nhận hiệu chuẩn phải bao gồm các nội dung sau: tên, địa chỉ của cơ quan hiệu chuẩn; Tên, địa chỉ của bên ủy thác; Mô hình, số hiệu, nhà sản xuất và các thông tin khác của giao thoa kế được hiệu chuẩn; Căn cứ hiệu chuẩn; hiệu chuẩn điều kiện môi trường; Mục hiệu chuẩn, kết quả hiệu chuẩn, độ không chắc chắn của phép đo; Ngày hiệu chuẩn, người hiệu chuẩn, chữ ký của người kiểm tra, v.v.

2. Đánh giá kết quả hiệu chuẩn: Theo kết quả hiệu chuẩn, đánh giá liệu giao thoa kế có phù hợp với yêu cầu sử dụng hay không. Nếu kết quả đo của dự án hiệu chuẩn nằm trong phạm vi cho phép, hiệu chuẩn giao thoa kế được xác định là phù hợp; Nếu bất kỳ mục hiệu chuẩn nào có kết quả đo vượt quá phạm vi cho phép, thì việc hiệu chuẩn giao thoa kế đó được coi là không phù hợp. Đối với giao thoa kế hiệu chuẩn không đạt tiêu chuẩn, phải ghi rõ các hạng mục không đạt tiêu chuẩn và tình trạng sai lệch cụ thể, đồng thời đề nghị bên ủy thác tiến hành sửa chữa hoặc điều chỉnh lại giao thoa kế.

3. Đánh giá độ không chắc chắn đo: Đánh giá độ không chắc chắn đo được thực hiện trên kết quả hiệu chuẩn, phân tích nguồn gốc của độ không chắc chắn, chẳng hạn như độ không chắc chắn của bộ phận tiêu chuẩn, độ không chắc chắn được giới thiệu bởi độ lặp lại của phép đo, độ không chắc chắn được giới thiệu bởi các yếu tố môi trường, v.v., và đưa ra độ không chắc chắn tổng hợp và độ không chắc chắn mở rộng. Đánh giá độ không đảm bảo đo phải được thực hiện theo các tiêu chuẩn và thông số kỹ thuật có liên quan, chẳng hạn như JJF 1059.1, Đánh giá và biểu diễn độ không đảm bảo đo. Kết quả đánh giá độ không đảm bảo đo phải được đưa ra rõ ràng trong giấy chứng nhận hiệu chuẩn.

9. khoảng thời gian trở lại trường

Trong trường hợp chung, khoảng cách thời gian phục hồi của máy giao thoa đề nghị là 1 năm. Nhưng khoảng thời gian phục hồi thực tế có thể được điều chỉnh phù hợp theo tần số sử dụng giao thoa kế, môi trường sử dụng, yêu cầu đo lường và các yếu tố khác. Nếu trong quá trình sử dụng phát hiện kết quả đo giao thoa kế bất thường hoặc nghi ngờ tính chính xác của nó, hiệu chuẩn phải được thực hiện kịp thời.

X. Thận trọng

1. Hoạt động trong quá trình hiệu chuẩn phải được thực hiện nghiêm ngặt theo các quy tắc hoạt động để tránh hư hỏng giao thoa kế do hoạt động không đúng hoặc kết quả đo không chính xác.

2. Giao thoa kế và thiết bị hiệu chuẩn phải được làm nóng trước khi hiệu chuẩn để đạt được trạng thái hoạt động ổn định để giảm ảnh hưởng của sự thay đổi nhiệt độ đối với kết quả đo.

3. Trong quá trình hiệu chuẩn, nên tránh rung, sốc và nhiễu điện từ đối với giao thoa kế và thiết bị hiệu chuẩn để đảm bảo sự ổn định của môi trường đo.

4. Khi làm sạch các thành phần quang học, nên sử dụng khăn lau không bụi mềm và ethanol khan, lau nhẹ nhàng để tránh trầy xước bề mặt quang học.

5. Sau khi hiệu chuẩn hoàn tất, giấy chứng nhận hiệu chuẩn và hồ sơ hiệu chuẩn phải được lưu giữ đúng cách để truy vấn và truy xuất nguồn gốc sau này.