Máy đo nhiệt độ AIXTRON EX-C-7FL

Có thể đàm phánCập nhật vào05/07

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Máy đo nhiệt độ AIXTRON EX-C-7FL Dòng BASF sản xuất nhiệt kế ống ánh sáng sapphire có độ chính xác cao, được sử dụng làm hệ thống đo nhiệt độ ở đáy của AIXTRON G3, G4, G5 MOCVD (BOTTOM TEMPERATURE MONITOR).

Chi tiết sản phẩm

đặc điểm chính

Đo nhiệt độ thấp bằng sóng ngắn	Độ chính xác cao, độ phân giải lên đến 0,01 ºC, độ chính xác đo nhiệt độ 1,5 ºC
Độ lặp lại nhiệt độ 0,1ºC, độ trôi nhiệt độ không cao hơn 0,1ºC/năm	Tốc độ đo 1.000 giá trị/giây
Đầu ra kỹ thuật số/hoặc analog, dễ dàng tích hợp vào hệ thống điều khiển

Mô tả chi tiết

Máy đo nhiệt độ AIXTRON EX-C-7FLMáy đo nhiệt độ ống Sapphire chính xác cao do BASF sản xuất, được sử dụng như một hệ thống đo nhiệt độ ở dưới cùng của AIXTRON G3, G4, G5 MOCVD (BOTTOM TEMPERATURE MONITOR).

Máy đo nhiệt độ AIXTRON EX-C-7FLBao gồm cảm biến EI110, sợi quang, ống ánh sáng sapphire, mô-đun kỹ thuật số IFD5, mô-đun tương tự IFA5, cáp hỗ trợ, v.v., phạm vi đo nhiệt độ bao gồm 100-1800 ℃, độ chính xác lên đến 1,5 ℃, độ lặp lại 0,1 ℃.

BASF Exactus ® Máy đo nhiệt độ loạtNó đã được sử dụng rộng rãi trong các quy trình bán dẫn như ủ nhanh, oxy hóa nhanh, lắng đọng màng và được tích hợp trên nhiều thiết bị MOCVD cũng như các thiết bị RTP khác như AIXTRON, LPE, Premtek, v.v. Ngoài ra, do độ chính xác và ổn định nhiệt độ cao, nó cũng được sử dụng bởi một số nhà sản xuất lò nung đen nhiệt độ cao như bộ tiêu chuẩn nhiệt độ, chẳng hạn như Thermogauge.

Ứng dụng tiêu biểu

Kiểm soát nhiệt độ RTP	MOCVD Kiểm soát nhiệt độ
Kiểm soát nhiệt độ MBE	Tiêu chuẩn nhiệt độ

Thông số kỹ thuật

Thông số đo lường
Phạm vi nhiệt độ:	100 – 1800℃
Bước sóng làm việc:	1500nm
Độ chính xác đo:	Tốt hơn 1,5 ℃ hoặc 0,15% đo lường
Độ phân giải:	最高0.01℃
Độ chính xác lặp lại:	0.1℃
Độ trôi nhiệt độ:	Tối đa 0,10 ℃/năm Môi trường: 0,05 ℃/℃ @ 20-45 ℃, 0,10 ℃/℃ @ nhiệt độ khác
Ống kính:	Ống ánh sáng Sapphire

Thông số vật lý
Cung cấp điện:	12-28 VDC, 3W
Nhiệt độ lưu trữ:	-20 đến 70 ℃
Nhiệt độ môi trường:	Thiết bị điện tử: 0 - 60 ℃ Ống kính chuyên dụng trong môi trường khắc nghiệt: 0 - 250 ℃ Sợi nhiệt độ cao: 0 - 250 ℃
Vật liệu vỏ:	Cảm biến và vỏ ống kính, thép không gỉ 304/nhôm; Vỏ khí thổi, nhôm; Ống kính đặc biệt cho môi trường khắc nghiệt: thép không gỉ 304;
trọng lượng	Nhiệt kế tiêu chuẩn, 0,510 kg (1,125 lbs.) Cảm biến sợi quang, 0,198 kg (7 oz.)

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị