- Thông tin E-mail
- Điện thoại
-
Địa chỉ
Tòa nhà Hằng Thái Dụ, đường Phượng Hoàng, quận Quang Minh, thành phố Thâm Quyến.
Danh mục sản phẩm
Shenzhen Vector Science Instrument Co., Ltd
6/8 inch hoàn toàn tự động bồn rửa máy
Có thể đàm phánCập nhật vào05/07
- Mô hình
- Thiên nhiên của nhà sản xuất
- Nhà sản xuất
- Danh mục sản phẩm
- Nơi xuất xứ
Tổng quan
GAMA Series 6/8 inch hoàn toàn tự động bồn rửa đáp ứng tất cả các yêu cầu quy trình ướt, bao gồm RCA, PR Strip, Solvent, Wet Etch và các ứng dụng khác, có thể được sử dụng cho các nút quy trình 0,35um điển hình, 0,18um, có thể hỗ trợ các nút quy trình 90nm, có thể tương thích với các wafer 6 inch và 8 inch.
Chi tiết sản phẩm
1. Tổng quan về sản phẩm:
Dòng GAMA6/8 inch hoàn toàn tự động bồn rửa máyĐáp ứng tất cả các yêu cầu quy trình ướt, bao gồm RCA, PR Strip, Solvent, Wet Etch và các ứng dụng khác, có thể được sử dụng cho nút quy trình 0,35um, 0,18um điển hình, có thể hỗ trợ nút quy trình 90nm, có thể tương thích với wafer 6 inch và 8 inch。
2. thiết bịỨng dụng：
Kích thước wafer
6, 8 inch
Vật liệu áp dụng
Silicon, Silicon Carbide, Silicon dựa trên Gallium Nitride
Quy trình áp dụng
Làm sạch trước, tẩy rửa, loại bỏ silic nitride, loại bỏ kim loại(Co, Ti), Làm sạch Recycle, Làm sạch sau khi đánh bóng, Làm sạch trước Epi, Làm sạch sau Epi
Lĩnh vực áp dụng
Mạch tích hợp, vật liệu lót, chất bán dẫn hợp chất, chất bán dẫn điện
3. Ưu điểm nổi bật：
Bắc Huachuang Máy rửa GAMA Series thực hiện tính đồng nhất ăn mònRõ ràng. Tính đồng nhất ăn mòn có ý nghĩa quan trọng để đảm bảo tính nhất quán và ổn định của sản xuất chip.
Máy giặt này đảm bảo hiệu quả ăn mòn đồng đều cao trên toàn bộ bề mặt wafer thông qua hệ thống dòng chảy chất lỏng được thiết kế tốt, cơ chế phân phối dung dịch hóa học cũng như chiến lược kiểm soát nhiệt độ. Tính nhất quán của mức độ ăn mòn có thể được duy trì cho dù đó là trong một khu vực rộng lớn của wafer hoặc trong một khu vực phức tạp của cấu trúc đồ họa.
Có thể áp dụng các kỹ thuật như phun đồng đều nhiều đầu phun, làm sạch quay, v.v., cho phép dung dịch hóa học bao phủ bề mặt wafer đều và tránh các tình huống ăn mòn cục bộ quá mức hoặc không đủ. Đồng thời, một hệ thống kiểm soát nhiệt độ chính xác có thể đảm bảo tính đồng nhất của nhiệt độ trong suốt quá trình làm sạch, vì sự khác biệt về nhiệt độ có thể ảnh hưởng đến tốc độ và tính đồng nhất của phản ứng ăn mòn. Trong các ứng dụng thực tế, máy giặt này có thể cung cấp tính đồng nhất ăn mòn tuyệt vời ngay cả khi phải đối mặt với các chip có vật liệu và độ dày khác nhau, do đó cải thiện hiệu quả chất lượng và hiệu suất của chip.
4. Tính năng thiết bị
Thiết kế cấu trúc nhỏ gọn, dấu chân nhỏ
Thiết kế mô-đun, cấu hình linh hoạt, có thể mở rộng
Thiết kế khe quy trình trưởng thành để đảm bảo sự ổn định của quy trình
Hệ thống cân hóa học chính xác cho quy trình chất lượng cao
