Nhiệt độ cao Phosphate nồng độ Meter

Horiba/Horiba CS-620F Loại sợiNhiệt độ cao Phosphate nồng độ MeterChi tiết sản phẩm:

Trong quy trình NAND 3D, hàng chục lớp silicon dioxide và silicon nitride được lắng đọng và các lớp silicon nitride được khắc có chọn lọc bằng axit photphoric nhiệt độ cao được sử dụng. Trong quá trình này, tỷ lệ khắc mong muốn có thể đạt được bằng cách kiểm soát nồng độ và nhiệt độ của dung dịch dược phẩm hóa học. Các mô hình trưởng thành rất khó đo chất lỏng hóa học nhiệt độ cao, nhưng CS-620F có khả năng đo ở nhiệt độ cao lên đến 170 ° C. Các phép đo liên tục được thực hiện bằng cách sử dụng phổ hấp thụ đòi hỏi ít bảo trì và vật tư tiêu hao hơn các phương pháp khác.

Tính năng sản phẩm

● Có thể đo nồng độ axit photphoric cao tới 92%.

●Không cần cơ chế làm mát và thời gian làm mát.

●Không cần phải làm mát axit photphoric nhiệt độ cao (140 đến 170 ° C) trong đường tuần hoàn và có thể được đo trực tiếp.

●Các mẫu được tiếp xúc bằng PFA để giảm nguy cơ ô nhiễm.

●Việc sử dụng chu kỳ hiệu chỉnh nền nửa năm một lần giúp giảm đáng kể thời gian chết của bàn.

●Cập nhật dữ liệu đo mỗi 3 giây, giúp kiểm soát nhanh hơn với phản hồi nồng độ.

Tính ổn định

▶ Kết quả đo mẫu (dung dịch thuốc thực tế) được đo trong 1 giờ, cho thấy sự ổn định tốt.

▶ Điều kiện đo lường

Thời gian đo: Mỗi 3 giây Thời gian đo: 1 giờ Trung bình di chuyển: 16 lần.

Nồng độ mẫu (nồng độ mẫu ban đầu) H3PO4: 92,2% H2O: 7,8% Nhiệt độ mẫu: 141 ° C.

Horiba/Horiba CS-620F Loại sợiNhiệt độ cao Phosphate nồng độ MeterThông số sản phẩm:

Thêm lời khuyên:

Máy đo nồng độ chất lỏng hóa học loại sợi CS-600F

CS-600F cung cấp các tính năng tiên tiến hơn phù hợp với sản xuất, chẳng hạn như khả năng đo trực tuyến chất lỏng hóa học nhiệt độ cao trong các ứng dụng khác nhau, hoạt động ổn định để giảm thời gian chết và kích thước nhỏ gọn để tăng năng suất không gian,Quản lý nồng độ chất lỏng hóa học chính xác cần thiết để đáp ứng quy trình ướt chất bán dẫn tuyệt vời.

Kích thước nhỏ hơn, bố trí linh hoạt hơn

Máy đo nồng độ CS-600F có kích thước nhỏ gọn, giảm 36% chiều cao, giảm 40% thể tích và giảm 46% không gian cần thiết cho cáp quang đơn vị mẫu so với mô hình trưởng thành (dòng CS-100F1). Đơn vị nguồn sáng và máy đo nồng độ có thể được cài đặt riêng lẻ từ xa, hỗ trợ cài đặt linh hoạt theo vị trí của đơn vị hóa chất và chất lỏng và thiết bị làm sạch.

Đo độ ổn định cao trong dòng của dung dịch hóa học nhiệt độ cao (20 đến 80 ℃)

Hệ thống quang học mới và các thuật toán xử lý cải tiến hỗ trợ đo trực tuyến chất lỏng hóa học nhiệt độ cao, một bước quan trọng trong quy trình ướt tuyệt vời. Điều này loại bỏ sự cần thiết phải làm mát các mẫu hóa chất. Độ ổn định cao CS-600F của HORIBA,Quản lý chất lỏng dược phẩm hóa học hiệu quả và chính xác hơn đã đạt được.

Tần suất chỉnh background giảm đáng kể

Tần suất điều chỉnh thường xuyên giảm đáng kể so với các mẫu xe trưởng thành (dòng CS-100F1), do đó làm giảm đáng kể thời gian ngừng hoạt động của bàn và giúp tăng sản lượng.

Một máy đo nồng độ duy nhất có thể đo tối đa sáu chất lỏng hóa học (loại chất lỏng hoặc phạm vi nồng độ)

Một máy đo nồng độ duy nhất có thể đo tối đa sáu chất lỏng hóa học (loại chất lỏng hoặc phạm vi nồng độ). Có thể tự do chỉ định loại chất lỏng dược phẩm và phạm vi nồng độ, CS-600F đảm bảo đáp ứng các yêu cầu phát hiện khác nhau.

Có thể xuất các phép đo lên đến sáu thành phần (đầu ra nối tiếp)

Mô hình trưởng thành (dòng CS-100F1) có thể xuất ra các phép đo của bốn thành phần (đầu ra nối tiếp). Mô hình CS-600F mới có thể xuất tối đa sáu thành phần của phép đo trong đầu ra nối tiếp.Mô hình CS-600F đầu ra mô phỏng bốn thành phần, trong khi mô hình CS-100F1 là hai.

Thông số sản phẩm: