09,03,2026 9xem
Vào ngày 9 tháng 9 năm 2026, Hội chợ quang điện quốc tế Trung Quốc lần thứ 27 (CIOE Trung Quốc) đã chính thức khai mạc tại Trung tâm Hội nghị và Triển lãm Quốc tế Thâm Quyến. Thâm Quyến Hairish Automation Technology Co., Ltd (sau đây gọi là "Hairish") cùng với loạt sản phẩm phân tích phổ khối của nó đã xuất hiện tại triển lãm này, hướng tới nhu cầu phát hiện chính xác của chất bán dẫn, năng lượng mới, hàng không vũ trụ và các ngành công nghiệp khác, trình bày bố cục sản phẩm theo hướng phát hiện khí và phân tích phổ khối.
Trang chủ
Hyrez tập trung vào phát hiện niêm phong, kiểm tra rò rỉ khối phổ, nghiên cứu và ứng dụng phân tích khối phổ. Kể từ khi thành lập vào năm 2008, Hyrez đã liên tục thúc đẩy nâng cấp công nghệ phát hiện, xây dựng một hệ thống kỹ thuật hoàn chỉnh bao gồm phát hiện kín khí, phát hiện khí, phân tích phổ khối và phát hiện rò rỉ phổ khối, độ chính xác phát hiện bao gồm 10 ⁻⁻¹ Pa · m³/s, có thể đáp ứng các nhu cầu khác nhau từ sàng lọc rò rỉ lớn đến phát hiện rò rỉ cực nhỏ. Hiện nay, các sản phẩm của Hyrez đã được sử dụng trong các lĩnh vực làm mát chất lỏng, chất bán dẫn, ô tô, năng lượng mới, hàng không vũ trụ và các lĩnh vực khác, thương hiệu độc lập Hirays bao gồm thiết bị kiểm tra, hệ thống tự động hóa và thiết bị tùy chỉnh, thiết bị trị liệu và có khả năng phát hiện một cửa từ thiết bị đơn lẻ đến tích hợp toàn bộ dòng.
Triển lãm lần này, Hyrez tập trung trưng bày máy phân tích khí dư hiệu suất cao HM-130、Máy phân tích khí dư áp suất cao HM-150, Máy phân tích phổ khối trực tuyến HM-200 và Máy phân tích khí dư áp suất cao HM-230 và nhiều sản phẩm khác.
•Máy phân tích khí dư hiệu suất cao HM-130
Triển lãm này.Máy phân tích khí dư hiệu suất cao HM-130Được thiết kế cho chất bán dẫn và quy trình chân không, hướng tới các ứng dụng môi trường chân không cao. Thiết bị có thể kiểm tra áp suất riêng phần tối thiểu 2E-15Torre, tốc độ quét lên đến 2ms/điểm và phạm vi khối lượng bao gồm 1-300amu. Trong quá trình bán dẫn, nó có thể được sử dụng trong các tình huống như phát hiện rò rỉ, chẩn đoán chân không, phân tích hydrocarbon. Đặc tính độ nhạy cao của nó có thể nắm bắt tạp chất khí nồng độ cực thấp, khả năng phản ứng nhanh có thể nắm bắt những thay đổi thoáng qua của quy trình sản xuất trong thời gian thực. Phạm vi số lượng khối lượng rộng tương thích với phân tích định lượng định tính của nhiều cảnh và nhiều khí. Sản phẩm hướng tới thiết kế môi trường khắc nghiệt như chất bán dẫn và lớp phủ chân không, chú trọng đến tính ổn định của hoạt động lâu dài và tính nhất quán của quy trình sản xuất hàng loạt.
•Máy phân tích khí dư áp suất cao HM-150
Máy phân tích khí dư áp suất cao HM-150Được xây dựng đặc biệt cho điều kiện làm việc áp suất cao và khắc nghiệt, giới hạn trên áp suất làm việc là 2Pa, giới hạn phát hiện áp suất riêng phần tối thiểu là 2E-9Pa, được phủ dây yttrium iridium oxit hoặc dây vonfram kép, tốc độ phản ứng là 2ms/điểm, có thể được áp dụng để phát hiện rò rỉ không khí nhạy cảm cao và ô nhiễm từ chân không cao đến quy trình PVD. Thiết bị có dải số khối kép từ 1-50 amu và 1-100 amu, hỗ trợ quét toàn phổ và quét số khối cụ thể, có thể tiến hành phân tích định lượng nhanh các loại khí phổ biến như H₂, He, N₂, O₂, Ar. Khả năng phát hiện độ nhạy cao của nó giúp khóa nguồn ô nhiễm và hỗ trợ tích hợp API với chức năng báo động giám sát tự động, có thể truy cập vào dây chuyền sản xuất kỹ thuật số.
•Máy phân tích phổ khối trực tuyến HM-200
Máy phân tích phổ khối trực tuyến HM-200Sử dụng phương pháp phân tích khí dư (RGA), hướng tới các yêu cầu về độ chính xác của phát hiện rò rỉ micron, cung cấp một chương trình phân tích trực tuyến để phát hiện rò rỉ có độ chính xác cao. Sản phẩm nhấn mạnh các tính năng như tự nghiên cứu cốt lõi, tích hợp một mảnh, không có chi phí tiêu hao và phát hiện luân phiên nhiều khoang và hỗ trợ dịch vụ một cửa của Hyrez. Dựa trên công nghệ phổ khối cực bốn cực, HM-200 có thể phát hiện trực tiếp chất điện phân, có độ nhạy cao và phạm vi số lượng khối lượng rộng, có thể được sử dụng để phân tích định tính và định lượng khí dư trong hệ thống chân không, giám sát thời gian thực khí quá trình và tìm nguồn ô nhiễm, đáp ứng nhu cầu xác minh và nghiên cứu phát triển quy trình. Quá trình phát hiện không cần sử dụng helium, giúp giảm chi phí vận hành hệ thống; Đồng thời, chương trình cung cấp các ý tưởng cải tiến cho các vấn đề kiểm tra rò rỉ do sự nổi lên của khí và sức căng bề mặt của chất điện phân trong kiểm tra heli truyền thống. Thiết bị phù hợp với thiết kế công thái học và có màn hình cảm ứng riêng, có thể giảm tải hoạt động.
•Máy phân tích khí dư áp suất đa HM-230
Máy phân tích khí dư áp suất đa HM-230Nó là một thiết bị phân tích phổ khối trực tuyến tích hợp RGA, hệ thống chân không và mô-đun lấy mẫu thông minh, phù hợp với điều kiện làm việc phức tạp đa áp suất. Phạm vi áp suất rộng của nó bao gồm 1E-8Torre đến 1,2atm và một thiết bị duy nhất có thể bao phủ trường áp suất gradient đầy đủ, phù hợp với các quy trình bán dẫn đòi hỏi khắt khe về môi trường chân không như ALD, CVD, PVD và khắc. Thiết bị này cung cấp 1-100/200/300amu ba lựa chọn số lượng khối lượng, có thể theo dõi các thành phần khí quan trọng như H₂, He, N₂, O₂, Ar và các thành phần khí quan trọng khác trong thời gian thực, với tốc độ phản ứng cấp mili giây, có thể theo dõi sự thay đổi thành phần khí quá trình trong thời gian thực, báo động kịp thời khi phát hiện biến động bất thường. Thiết kế tích hợp tất cả trong một sẽ tích hợp cao độ RGA, hệ thống chân không, mô-đun tiến hóa, không cần xây dựng thêm hệ thống chân không phức tạp, tức là kết nối và đo lường. Ngoài ra, thiết bị sử dụng lớp phủ chống ô nhiễm và quá trình thụ động bề mặt, giúp giảm ô nhiễm các thành phần cốt lõi của trầm tích quá trình và kéo dài tuổi thọ.
Tại CIOE này, Hyrez đã thể hiện khả năng kỹ thuật của mình từ các thành phần cốt lõi đến tích hợp hệ thống trong lĩnh vực phát hiện khí và phân tích phổ khối thông thông qua việc trưng bày tập trung các sản phẩm phân tích phổ khối. Với chất bán dẫn, năng lượng mới và các ngành công nghiệp khác đòi hỏi độ chính xác phát hiện và sự ổn định của quy trình ngày càng tăng, chương trình sản phẩm liên quan của Hyrez cung cấp nhiều lựa chọn hơn cho người dùng trong ngành.
