ở高真空Trong môi trường, bằng cách gia nhiệt điện trở hoặc bắn phá chùm tia điện tử làm choVật liệu phủ (nguồn hơi)khí hóa, hơi nước ngưng tụ trên bề mặt của tấm nền để tạo thành một bộ phim,bốc hơi nhiệt, bốc hơi chùm electron, sơn chân không, lắng đọng màng, PVD、 Vật liệu hấp và mạ