Máy hồ sơ quang KLATrong đo độ dày siêu mỏng của pin perovskite để sản xuất chất bán dẫn, với độ chính xác cao, đo lường không tiếp xúc và tính linh hoạt, nó trở thành một công cụ quan trọng với các ứng dụng cụ thể như sau:
I. Đo độ dày màng siêu mỏng trong các tế bào năng lượng mặt trời perovskite
Đo lớp TCO:
Tầm quan trọng: Lớp TCO là một phần quan trọng của các tế bào năng lượng mặt trời perovskite và phải có độ truyền ánh sáng cao, điện trở thấp và ổn định nhiệt cao với hiệu suất dẫn điện tốt.
Ví dụ đo lường: Với máy đo quang học KLA, độ dày của màng IZO trên kính có thể được đo chính xác, chẳng hạn như mẫu 6,8nm và 37,1nm.
Đo lớp ETL:
Tầm quan trọng: Lớp ETL có vai trò quan trọng trong các tế bào năng lượng mặt trời perovskite như thu thập electron, truyền electron và ngăn chặn các lỗ để giảm tỷ lệ hợp chất của các lỗ điện tử. Độ phẳng và độ mịn của nó ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng của lớp khoáng canxi-titan.
Ví dụ đo lường: Máy đo đường viền quang học KLA có khả năng đo độ dày của màng SnO2 trên kính, chẳng hạn như các mẫu 10,2nm, 14,3nm và 19,6nm, cung cấp một phương tiện hiệu quả để giám sát độ dày và tính đồng nhất của lớp ETL.
Đo lớp điện cực kim loại:
Tầm quan trọng: Lớp điện cực kim loại là lớp trên cùng của pin mặt trời perovskite, và việc kiểm soát độ dày quy trình và tính đồng nhất của nó là rất quan trọng để giảm chi phí và cải thiện hiệu suất pin.
Ví dụ đo lường: Với máy đo quang học KLA, độ dày của màng nhôm kim loại trên kính có thể được đo, chẳng hạn như các mẫu 15,0nm, 28,0nm, 49,8nm và 71,1nm.
II. Đo độ dày màng siêu mỏng trong sản xuất chất bán dẫn
Độ chính xác cao và lặp lại:
Máy đo quang học của KLA, chẳng hạn như Zeta-20, sử dụng ZDot ™ Công nghệ, thực hiện hình dạng 3D+quét màu sắc thật thông qua phương thức tập trung chung của mạng điểm, độ phân giải trục Z đạt tới mức A - nô - mét. Độ chính xác và độ lặp lại cao này có thể đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của ngành công nghiệp bán dẫn về đo độ dày màng.
Đo không tiếp xúc:
Máy đo đường viền quang học của KLA sử dụng phương pháp đo không tiếp xúc để tránh thiệt hại và lỗi có thể xảy ra do đo tiếp xúc. Điều này đặc biệt quan trọng đối với các cấu trúc màng mỏng manh trong sản xuất chất bán dẫn.
Tính linh hoạt:
Máy đo đường viền quang học của KLA không chỉ có chức năng đo độ dày màng, mà còn đo các thông số như chiết suất, phản xạ, truyền, đáp ứng nhu cầu đo đa dạng. Ví dụ, máy đo quang học Zeta-20 hỗ trợ các phép đo từ bước nano đến bước milimet và có thể lập bản đồ phân bố độ dày của màng trên mẫu để xác định tính đồng nhất của mẫu.
Dễ vận hành và bảo trì:
Máy hồ sơ quang học cho KLAThường có giao diện người dùng thân thiện và chức năng đo lường tự động, dễ vận hành và bảo trì. Điều này giúp giảm khó khăn trong hoạt động và cải thiện hiệu quả đo lường.