Dụng cụ đo độ dày màng F50

F50 có thể đạt được độ thẳng tối đa rất đơn giảnBản đồ phân bố độ dày màng mẫu có đường kính 450 mm. Áp dụng nền tảng di động tọa độ cực r-theta,Có thể nhanh chóng xác định các điểm kiểm tra cần thiết và có được độ dày kiểm tra trong thời gian thực, khoảngKiểm tra hai điểm mỗi giây.

Ứng dụng liên quan:Sản xuất chất bán dẫn (in thạch cao, oxit/nitride/SOI, mài mặt sau của wafer); Màn hình LCD LCD (Polyimide, ITO Transparent Conductive Film); Lớp phủ quang học (lớp phủ cứng, lớp chống phản xạ); Hệ thống vi cơ điện MEMS (Photoclate, lớp màng silicon).

P7 bước cụ

P-7 có thể thực hiện các phép đo 2D và 3D về chiều cao bước, độ nhám, độ cong vênh và ứng suất, với khả năng quét lên đến 150mm mà không cần ghép hình ảnh.

Ứng dụng liên quan:Bước màng/màng dày; Đo độ sâu khắc; Bước kháng quang/Photoclate; phim linh hoạt; Đặc tính độ nhám/độ phẳng bề mặt; Phân tích độ cong bề mặt và đường viền; Đo đường thẳng 2D của phim; Phân tích cấu trúc bề mặt; Hình ảnh phác thảo 3D của bề mặt; Đặc tính khiếm khuyết và phân tích khiếm khuyết.

Dụng cụ đo điện trở bốn đầu dò R50

Dòng Filmetrics R50 cung cấp đầu dò bốn điểm tiếp xúc (4PP) và đo dòng xoáy không tiếp xúc (EC). Tốc độ nhanh nhất 1 điểm/giây ánh xạ điện trở suất/độ dẫn của màng dẫn điện. Bảng vận chuyển X-Y điện sử dụng cốc hút wafer tiêu chuẩn để tùy chỉnh giá đỡ mẫu, mẫu có thể đo tối đa 300mm, hoặc diện tích 200mm.

Ứng dụng liên quan:Pha tạp silicon; Kiểm tra độ dày lớp kim loại; Kiểm tra điện trở suất wafer

Máy đo độ dày mạ Bowman XRF

Có khu vực đo lường 12 x 12 inch tốt hơn so với các sản phẩm tương tự trên các phôi có chiều cao không quá 9 inch. Tự động đa chuẩn trực cho phép lựa chọn kích thước điểm để phù hợp với các kích thước tính năng khác nhau; Camera lấy nét thay đổi cho phép đo trong phạm vi tiêu cự từ 0,25 inch đến 3,5 inch.

Ứng dụng liên quan:Kiểm tra hệ số tuyệt chủng chỉ số khúc xạ của vật liệu; Kiểm tra độ dày lớp oxy hóa tự nhiên của tấm silicon; Kiểm tra hằng số quang học Photoclate; Đo độ dày kim loại trên silicon đóng gói phần sau bán dẫn

Máy thiên vị elip đa bước sóng FS-1

Film Sense FS-1 Multi-Wave Elliptical Devicer sử dụng nguồn sáng LED lâu đời và máy dò Elliptical Devicer linh kiện không di động cho phép đo màng đáng tin cậy trong một máy đo Elliptical nhỏ gọn hoạt động đơn giản.

Ứng dụng liên quan:Silica và nitride, vật liệu điện môi cao và thấp, vật liệu vô định hình và đa tinh thể, màng silicon, photoxelate.Phim chỉ số cao và thấp như SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2.TCO (như ITO), màng silicon vô định hình, màng hữu cơ (công nghệ OLED), v.v.