Tại sao tổng hàm lượng carbon hữu cơ (TOC) trong nước tinh khiết cấp điện tử lại quan trọng? TOC là thước đo tổng hàm lượng chất hữu cơ trong nước và nó phản ánh tổng lượng chất ô nhiễm hữu cơ hòa tan và lơ lửng trong nước. Trong quá trình sản xuất thiết bị điện tử, ngay cả một lượng nhỏ chất hữu cơ cũng có thể có tác động thảm khốc đến hiệu suất sản phẩm. Ví dụ, các chất hữu cơ có thể hình thành dư lượng trên bề mặt wafer, dẫn đến mạch ngắn, giảm hiệu suất thiết bị hoặc thậm chí thất bại. Ngoài ra, các chất hữu cơ cũng có thể trở thành điểm nóng cho sự sinh sản của vi sinh vật, tiếp tục gây ô nhiễm môi trường sản xuất. Do đó, kiểm soát chặt chẽ hàm lượng TOC trong nước tinh khiết cấp điện tử là chìa khóa để đảm bảo chất lượng sản phẩm điện tử và tỷ lệ sản xuất tốt.

Từ dữ liệu trên có thể thấy, EW-Class I có yêu cầu khắt khe nhất đối với TOC, hàm lượng cần được kiểm soát dưới 20 μg/L, chủ yếu được sử dụng trong các lĩnh vực như sản xuất mạch tích hợp có yêu cầu cao nhất về chất lượng nước. Khi mức độ giảm, hàm lượng cho phép của TOC dần được nới lỏng để đáp ứng nhu cầu khác biệt về chất lượng nước của các liên kết sản xuất khác nhau. Các tiêu chuẩn này cung cấp hướng dẫn không chỉ cho việc sản xuất nước tinh khiết cấp điện tử mà còn cho các mục tiêu định lượng rõ ràng để phát hiện TOC.

Các phương pháp phát hiện TOC phổ biến là gì? Ngoài các phương pháp hồng ngoại không phân tán oxy hóa ở trên, phương pháp phát hiện TOC cũng bao gồm phương pháp oxy hóa đốt cháy nhiệt độ cao, phương pháp oxy hóa ánh sáng cực tím, v.v. Quá trình oxy hóa đốt cháy nhiệt độ cao là bơm mẫu nước vào lò nhiệt độ cao (thường cao hơn 900 ° C) để oxy hóa nhanh chóng các chất hữu cơ thành carbon dioxide. Quá trình oxy hóa ánh sáng UV sử dụng ảnh hưởng quang hóa của tia cực tím để oxy hóa các chất hữu cơ mà không cần thêm thuốc thử hóa học. Phương pháp phát hiện nào được chọn thường phụ thuộc vào đặc điểm của mẫu nước, yêu cầu về độ chính xác của phát hiện và chức năng của dụng cụ. Ví dụ, các máy phân tích TOC trực tuyến thường sử dụng công nghệ oxy hóa xúc tác quang UV kết hợp với mô-đun lấy mẫu tự động vi lượng chính xác để đạt được hiệu quả cao và giám sát liên tục mà không cần thêm chất xúc tác hoặc khí mang bên ngoài.

Thiết bị phân tích chất lượng nước Micro Total Organic Carbon (TOC) là một thiết bị kiểm tra độ nhạy cao được sử dụng để xác định chính xác tổng lượng chất ô nhiễm hữu cơ trong nước. Tập đoàn Khoa học và Công nghệ Bảo vệ Môi trường Thắng Nhuận Tây AnMáy phân tích TOC loại ERUN-SP3-J3Được thiết kế cho các cảnh nước siêu tinh khiết với nồng độ TOC dưới 1 ppm (tức là 1000 μg/L), giới hạn phát hiện lên đến 1 ppb (0,1 μg/L), có thể phát hiện đồng thời tổng carbon hữu cơ (TOC), tổng carbon (TC), tổng carbon vô cơ (TIC) và carbon hữu cơ không thể thổi bay (NPOC), được sử dụng rộng rãi trong nước dược phẩm, nước tinh khiết cấp điện tử, phòng thí nghiệm và kiểm soát chất lượng nước uống sinh hoạt.