Trong sản xuất chất bán dẫn, kiểm soát môi trường phòng sạch và các ứng dụng máy nén khí không dầu, chất lượng khí nén có liên quan trực tiếp đến an toàn sản xuất và tỷ lệ sản phẩm. Trong số này, hàm lượng dầu dư là một trong những chỉ số chính để đo lường chất lượng khí nén - ngay cả một lượng nhỏ hơi dầu, chẳng hạn như 0,001mg/m³, có thể gây ô nhiễm thiết bị chính xác hoặc gây ra lỗi quy trình.Máy đo chất lượng khí nén đa kênh AQ 500M là công cụ cốt lõi để đảm bảo độ sạch của khí nén nhờ độ chính xác và độ tin cậy cao của phép đo dư lượng dầu.

　　I. Thách thức cốt lõi của đo dư lượng dầu và giải pháp AQ 500M

Dầu dư trong khí nén chủ yếu bao gồm các giọt dầu lỏng, sương mù dầu lơ lửng và hơi dầu khí (ví dụ: hydrocarbon, chất thơm), hàm lượng cần được kiểm soát chặt chẽ theo tiêu chuẩn ISO 8573 (ví dụ: lớp 1 yêu cầu dầu dư ≤ 0,01mg/m³). Phương pháp phát hiện truyền thống dựa vào lấy mẫu ngoại tuyến và phân tích trong phòng thí nghiệm, tồn tại các vấn đề như tuổi tác kém, hoạt động phức tạp và khó đáp ứng nhu cầu giám sát thời gian thực. Mô-đun đo dư lượng dầu OIL CHECK 500 được trang bị AQ 500M đã thực hiện phát hiện trực tiếp và nhanh chóng hơi dư lượng dầu khí thông qua phương pháp đo sáng tạo "thay đổi áp suất cưỡng bức" và cảm biến PID (Photo Ionized Detector) có độ chính xác cao, phạm vi đo bao gồm 0,001~5mg/m³ và giới hạn phát hiện thấp nhất là 0,001mg/m³ - độ chính xác này đủ để đáp ứng các tiêu chuẩn khắt khe của ISO 8573 Cấp 1 (Dư lượng dầu ≤ 0,01mg/m³) và thậm chí có thể giám sát khí nén siêu sạch ở cấp cao hơn.

　　B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)

　　1. Độ chính xác cao và phạm vi rộng:OIL CHECK 500 sử dụng cảm biến PID, có tính chọn lọc cao đối với hơi dầu như hydrocarbon, đảm bảo kết quả đo ổn định trong môi trường áp suất khác nhau (3~9bar) và nhiệt độ (+20 ℃~+50 ℃) bằng cách bù nhiệt độ và thuật toán hiệu chuẩn áp suất. Giới hạn phát hiện 0,001mg/m³ của nó cho phép nắm bắt chính xác lượng dầu dư rất nhỏ trong khí nén và tránh rủi ro quá trình do kiểm tra rò rỉ.

　　2. Phù hợp với nhiều cảnh:AQ 500M hỗ trợ nhiều cấu hình di động, cố định và di động, hệ thống lấy mẫu di động được trang bị ống PTFE 2m và khớp nối nhanh không dầu mỡ, có thể linh hoạt kết nối các điểm chính như ổ cắm máy nén, đầu sau của bộ lọc than hoạt tính; Thiết kế mô-đun cho phép người dùng tùy chọn bộ đếm hạt (PC 400, phát hiện hạt cấp 0,1 µm), cảm biến độ ẩm dư (DS 400) theo nhu cầu, để đạt được phát hiện đồng bộ hóa nhiều thông số như dư lượng dầu, hạt, độ ẩm.

　　3. Vận hành và bảo trì thông minh:Thiết bị tích hợp đầu ra analog 4~20mA với giao diện kỹ thuật số Modbus RTU, hỗ trợ tạo báo cáo trực quan thông qua phần mềm phân tích CS Base Edition (dữ liệu đọc USB/Ethernet); Bộ cảm biến hỗ trợ thay thế nhanh chóng tại chỗ và xác minh hiệu suất bằng nút kiểm tra chức năng tích hợp, giảm thời gian chết.

　　B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

Trong sản xuất chất bán dẫn, AQ 500M có thể theo dõi lượng dầu còn lại của khí nén cho các thiết bị như máy khắc quang học, máy khắc và các thiết bị khác trong thời gian thực để tránh ô nhiễm dầu dẫn đến ngắn mạch chip hoặc giảm tỷ lệ tốt; Trong môi trường phòng sạch, phát hiện chính xác của nó đảm bảo độ sạch không khí của hệ thống cung cấp không khí phù hợp với tiêu chuẩn ISO và bảo vệ các thiết bị chính xác khỏi sự xói mòn của sương mù dầu; Trong vận hành và bảo trì máy nén khí không dầu, giảm chi phí bảo trì bằng cách thường xuyên kiểm tra hàm lượng dầu dư ở đầu sau của bộ lọc than hoạt tính để xác minh hiệu quả lọc và thay thế vật tư tiêu hao kịp thời.

AQ 500M phát hiện đo lường chất lượng khí nén dư lượng dầu, với các đặc tính kỹ thuật "độ chính xác cao, đa kịch bản và thông minh", nó trở thành "người gác cổng" của kiểm soát dầu dư trong hệ thống khí nén, cung cấp sự đảm bảo vững chắc cho hoạt động an toàn của sản xuất tiên tiến và quy trình sạch.